真空腔室的真空控制结构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空控制结构的技术领域，公开了真空腔室的真空控制结构，包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道，真空泵与主干管道连接，多个分流管道分别与主干管道连通，分流管道连通有腔室，分流管道上设置有阀门；由于真空泵处于常开状态，主干管道以及分流管道内始终处于真空状态，抽真空时，打开阀门，真空泵只需要抽取真空腔室内的气体，不需要抽取主干管道以及分流管道内的气体，减小了气体的抽取量，节约抽真空的时间，缩短真空腔室达到所需气压的时间，提高了抽真空的效率。

Vacuum control structure of vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
真空腔室的真空控制结构
本技术专利涉及真空控制结构的
，具体而言，涉及真空腔室的真空控制结构。
技术介绍
在制造加工中，许多加工产品对加工的环境具有特殊要求，比如真空环境。利用真空控制结构将容器内的空气抽取出来，使得容器内部气压减小，形成真空腔室，将工件放入真空腔室内进行加工，使产品符合加工要求。现有的真空控制结构包括真空泵、主干管道以及分流管道，主干管道连通真空泵，分流管道连通主干管道，分流管道连通腔室，阀门设置在主干管道上，启动真空泵后可以抽取真空腔室内的空气。上述的真空控制结构，阀门设置在主干管道上，且不抽真空时真空泵处于关闭状态。当需要进行抽真空操作时，需要先启动真空泵，真空泵将真空腔室、主干管道以及分流管道内的空气抽取后，才能使真空腔室的气压减小到设计要求，导致真空腔室的抽真空操作所需时间长。
技术实现思路
本技术的目的在于提供真空腔室的真空控制结构，旨在解决现有技术中，真空腔室的抽真空操作所需时间长的问题。本技术是这样实现的，真空腔室的真空控制结构，包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道，所述真空泵与所述主干管道连接，多个所述分流管道分别与所述主干管道连通，所述分流管道连通有腔室，所述分流管道上设置有阀门。进一步地，所述主干管道包括多个弯折段，所述弯折段呈圆弧状。进一步地，所述弯折段呈90°布置。进一步地，所述主干管道包括横向段和纵向段，所述横向段与所述纵向段通过所述弯折段连通。进一步地，所述横向段与地面平行布置。<br>进一步地，所述纵向段与地面平行布置。进一步地，所述主干管道包括与所述真空泵连通的上延段，所述上延段呈竖直布置。进一步地，所述上延段通过所述弯折段与所述纵向段连通。进一步地，所述真空泵的上表面具有外连接段，所述上延段与所述真空泵的外连接段连通。进一步地，所述主干管道以及所述分流管道的内壁面光滑布置。与现有技术相比，本技术提供的真空腔室的真空控制结构，由于真空泵处于常开状态，主干管道以及分流管道内始终处于真空状态，抽真空时，打开阀门，真空泵只需要抽取真空腔室内的气体，不需要抽取主干管道以及分流管道内的气体，减小了气体的抽取量，节约抽真空的时间，缩短真空腔室达到所需气压的时间，提高了抽真空的效率。附图说明图1是本技术提供的真空腔室的真空控制结构的前视图；图2是本技术提供的真空腔室的真空控制结构的俯视图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。以下结合具体实施例对本技术的实现进行详细的描述。本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。参照图1-2所示，为本技术提供的较佳实施例。本实施例提供的真空腔室的真空控制结构，可以运用在真空腔室中，当然，其也可以运用在其他真空装置中，不仅限制于本实施例中的运用。真空腔室的真空控制结构，包括处于常开状态的真空泵11、主干管道12以及多个分流管道13，真空泵11与主干管道12连接，多个分流管道13分别与主干管道12连通，分流管道13连通有腔室，分流管道13上设置有阀门14。上述的真空腔室的真空控制结构，由于真空泵11处于常开状态，主干管道12以及分流管道13内始终处于真空状态，抽真空时，打开阀门14，真空泵11只需要抽取真空腔室内的气体，不需要抽取主干管道12以及分流管道13内的气体，减小了气体的抽取量，节约抽真空的时间，缩短真空腔室达到所需气压的时间，提高了抽真空的效率。主干管道12包括多个弯折段15，弯折段15呈圆弧状。气体在主干管道12中流经弯折段15时，圆弧状的弯折段15使得气体流通更加顺畅。弯折段15呈90°布置，减小弯折段15的占据的空间。主干管道12包括横向段16和纵向段17，横向段16与纵向段17通过弯折段15连通，使得横向段16与纵向段17呈垂直布置，节约横向段16与纵向段17排布占据的空间。横向段16与地面平行布置，气体在横向段16中流动时，减少了气体与横向段16的内壁面的碰撞，使得气体流动更加顺畅，流速更快。纵向段17与地面平行布置，气体在纵向段17中流动时，减少了气体与纵向段17的内壁面的碰撞，使得气体流动更加顺畅，流速更快。主干管道12包括与真空泵11连通的上延段18，上延段18呈竖直布置，气体在上延段18中流动时，减少了气体与上延段18的内壁面的碰撞，使得气体流动更加顺畅，流速更快。上延段18通过弯折段15与纵向段17连通，由于弯折段15呈90°布置，上延段18与纵向段17垂直，因此上延段18与纵向段17以及横向段16呈三维立体布置，减小主干管道12占据的空间。真空泵11的上表面具有外连接段19，上延段18与真空泵11的外连接段19连通。外连接段19处于真空泵11的上表面，便于与呈竖直布置的上延段18连接。主干管道12以及分流管道13的内壁面光滑布置，减小气体与主干管道12以及分流管道13的内壁面的摩擦碰撞，降低了气体流动过程中受到的阻力，提高气体的流速。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空腔室的真空控制结构，其特征在于，包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道，所述真空泵与所述主干管道连接，多个所述分流管道分别与所述主干管道连通，所述分流管道连通有腔室，所述分流管道上设置有阀门。/n

【技术特征摘要】
1.真空腔室的真空控制结构，其特征在于，包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道，所述真空泵与所述主干管道连接，多个所述分流管道分别与所述主干管道连通，所述分流管道连通有腔室，所述分流管道上设置有阀门。


2.如权利要求1所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述主干管道包括多个弯折段，所述弯折段呈圆弧状。


3.如权利要求2所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述弯折段呈90°布置。


4.如权利要求3所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述主干管道包括横向段和纵向段，所述横向段与所述纵向段通过所述弯折段连通。


5.如权利要求4所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述横向段与...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄奕宏，刘驰，秦超，尹国伟，刘瑶林，方明登，韩宁宁，曹术，陈锦杰，杨杰，庄庆波，林锋，邓慧建，黄露，徐星明，温业锋，陈浩，林伟龙，
申请(专利权)人：深圳市深科达智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44