【技术实现步骤摘要】
真空腔室的真空控制结构
本技术专利涉及真空控制结构的
，具体而言，涉及真空腔室的真空控制结构。
技术介绍
在制造加工中，许多加工产品对加工的环境具有特殊要求，比如真空环境。利用真空控制结构将容器内的空气抽取出来，使得容器内部气压减小，形成真空腔室，将工件放入真空腔室内进行加工，使产品符合加工要求。现有的真空控制结构包括真空泵、主干管道以及分流管道，主干管道连通真空泵，分流管道连通主干管道，分流管道连通腔室，阀门设置在主干管道上，启动真空泵后可以抽取真空腔室内的空气。上述的真空控制结构，阀门设置在主干管道上，且不抽真空时真空泵处于关闭状态。当需要进行抽真空操作时，需要先启动真空泵，真空泵将真空腔室、主干管道以及分流管道内的空气抽取后，才能使真空腔室的气压减小到设计要求，导致真空腔室的抽真空操作所需时间长。
技术实现思路
本技术的目的在于提供真空腔室的真空控制结构，旨在解决现有技术中，真空腔室的抽真空操作所需时间长的问题。本技术是这样实现的，真空腔室的真空控制结构，包括处于常开状态的...
【技术保护点】
1.真空腔室的真空控制结构，其特征在于，包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道，所述真空泵与所述主干管道连接，多个所述分流管道分别与所述主干管道连通，所述分流管道连通有腔室，所述分流管道上设置有阀门。/n
【技术特征摘要】
1.真空腔室的真空控制结构，其特征在于，包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道，所述真空泵与所述主干管道连接，多个所述分流管道分别与所述主干管道连通，所述分流管道连通有腔室，所述分流管道上设置有阀门。
2.如权利要求1所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述主干管道包括多个弯折段，所述弯折段呈圆弧状。
3.如权利要求2所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述弯折段呈90°布置。
4.如权利要求3所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述主干管道包括横向段和纵向段，所述横向段与所述纵向段通过所述弯折段连通。
5.如权利要求4所述的真空腔室的真空控制结构，其特征在于，所述横向段与...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄奕宏，刘驰，秦超，尹国伟，刘瑶林，方明登，韩宁宁，曹术，陈锦杰，杨杰，庄庆波，林锋，邓慧建，黄露，徐星明，温业锋，陈浩，林伟龙，
申请(专利权)人：深圳市深科达智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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