光检测模块及其制备方法、光检测基板技术

本发明专利技术提供一种光检测模块，包括开关晶体管和用于感光的感光器件，所述开关晶体管包括栅极、有源层、第一电极和第二电极，所述感光器件包括层叠设置的供电电极、感光层和输出电极，所述输出电极与所述第一电极连接，所述光检测模块还包括：与所述输出电极同层设置的对应所述有源层位置的阻挡部，与所述输出电极同层设置，且连接在所述输出电极与所述阻挡部之间的隔离部；其中，所述输出电极和所述阻挡部由导电的金属材料构成，所述隔离部由所述金属材料氧化得到的绝缘的金属氧化物材料构成。本发明专利技术提供的光检测模块中的开关晶体管受X光影响小，能够稳定、精确地进行X光检测。本发明专利技术还提供一种光检测基板、光检测模块的制备方法。

Optical detection module and its preparation method, optical detection substrate

【技术实现步骤摘要】
光检测模块及其制备方法、光检测基板
本专利技术涉及电子设备领域，具体地，涉及一种光检测模块及其制备方法、光检测基板。
技术介绍
随着医疗设备行业的飞速发展，动态DR(DDR，DynamicDigitalRadiography)设备在疾病诊断中展现出了优异的效果。动态DR设备主要包括一动态平板探测器，相比于静态平板探测器，动态平板探测器在保证画像质量的前提下，还能够实时成像，以实现临床病灶的快速定位和精细诊断。平板探测器上具有阵列分布的、能够检测X光的感光器件，且每个感光器件均连接一个薄膜晶体管(TFT)的源极。每一行感光器件所对应的薄膜晶体管的栅极与同一条控制线连接，每一列感光器件所对应的薄膜晶体管的漏极与同一条输出线连接，从而在控制线的控制下将各个感光器件对X光的检测结果逐行输出，进而实现实时检测人体各处组织透过的X光强度。图1是平板探测器上的一个光电二极管与薄膜晶体管相连接的结构示意图，感光器件的输出电极10a与薄膜晶体管的第一电极51(例如可以是源极)连接。如图1所示，在现有技术中，为了防止X光对薄膜晶体管的有源层4(沟道本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光检测模块，包括开关晶体管和用于感光的感光器件，所述开关晶体管包括栅极、有源层、第一电极和第二电极，所述感光器件包括层叠设置的供电电极、感光层和输出电极，所述输出电极与所述第一电极连接，其特征在于，所述光检测模块还包括：/n与所述输出电极同层设置的阻挡部，所述阻挡部至少设于对应所述有源层的位置，且所述阻挡部与所述有源层绝缘；/n与所述输出电极同层设置，且连接在所述输出电极与所述阻挡部之间的隔离部；/n其中，所述输出电极和所述阻挡部由导电的金属材料构成，所述隔离部由所述金属材料氧化得到的绝缘的金属氧化物材料构成。/n

【技术特征摘要】
1.一种光检测模块，包括开关晶体管和用于感光的感光器件，所述开关晶体管包括栅极、有源层、第一电极和第二电极，所述感光器件包括层叠设置的供电电极、感光层和输出电极，所述输出电极与所述第一电极连接，其特征在于，所述光检测模块还包括：
与所述输出电极同层设置的阻挡部，所述阻挡部至少设于对应所述有源层的位置，且所述阻挡部与所述有源层绝缘；
与所述输出电极同层设置，且连接在所述输出电极与所述阻挡部之间的隔离部；
其中，所述输出电极和所述阻挡部由导电的金属材料构成，所述隔离部由所述金属材料氧化得到的绝缘的金属氧化物材料构成。


2.根据权利要求1所述的光检测模块，其特征在于，所述金属材料包括铝和/或钛；
所述金属氧化物材料包括氧化铝和/或氧化钛。


3.根据权利要求1所述的光检测模块，其特征在于，
在从所述阻挡部指向所述输出电极的方向上，所述隔离部的尺寸小于或等于3μm。


4.根据权利要求1所述的光检测模块，其特征在于，所述光检测模块还包括：
基底；
设于所述第一电极与所述输出电极之间的至少一个绝缘层；
所述输出电极设于所述第一电极远离所述基底的一侧，并通过所述绝缘层中的过孔与所述第一电极连接；
所述隔离部的至少一部分与所述过孔的孔壁接触。


5.根据权利要求4所述的光检测模块，其特征在于，
所述输出电极设于所述感光层靠近所述基底的一侧。


6.根据权利要求1至5中任意一项所述的光检测模块，其特征在于，所述阻挡部和所述栅极分别位于所述有源层的两侧。


7.根据权利要求1至5中任意一项所述的光检测模块，其特征在于，
所述感光器件为光电二极管。


8.一种光检测基板，其特征在于，
所述光检测基板包括多个权利要求1至7中任意一项所述的光检测模块；所述光检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫奎，段献学，张志海，刘天真，崔海峰，侯学成，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11