基板保持器、镀敷装置及基板的镀敷方法制造方法及图纸

近年来，要求在单面镀敷与两面镀敷两者中可使用的基板保持器。本发明专利技术公开了一种基板保持器、镀敷装置及基板的镀敷方法，用于保持应被镀敷的基板，所述基板保持器包括：第一框架，具有用于使基板的其中一面露出的第一开口；以及第二框架，具有用于使基板的另一面露出的第二开口，基板由第一框架与第二框架夹持，所述基板保持器还包括伪基板，所述伪基板可装卸地配置于第一框架与基板之间，伪基板至少由实质上不流通直流电流的材质形成，伪基板的至少一部分与基板的其中一面的至少一部分接触，伪基板保护基板的其中一面免受镀敷液的影响。

Substrate holder, plating device and plating method of substrate

【技术实现步骤摘要】
基板保持器、镀敷装置及基板的镀敷方法
本专利技术涉及一种基板保持器、镀敷装置及基板的镀敷方法。
技术介绍
在用于对硅晶片等基板进行镀敷的镀敷装置中，使用用于保持基板的基板保持器。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2018-40045号公报[专利文献2]日本专利特开2004-277815号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]镀敷加工大致可分为仅对基板的其中一面实施镀敷的单面镀敷、以及对基板的两个面实施镀敷的两面镀敷。近年来，要求在单面镀敷与两面镀敷两者中可使用的基板保持器。[解决问题的技术手段]作为一实施方式，本申请公开了一种基板保持器，用于保持应被镀敷的基板，所述基板保持器包括：第一框架，具有用于使基板的其中一面露出的第一开口；以及第二框架，具有用于使基板的另一面露出的第二开口，基板由第一框架与第二框架夹持，所述基板保持器还包括伪基板，所述伪基板可装卸地配置于第一框架与基板之间，伪基板至少由实质上不流通直流电流的材质形成，伪基板的至少一部分与基板的其中一面的至少一部分接触，伪基板保护基板的其中一面免受镀敷液的影响。附图说明图1A是镀敷装置的俯视图。图1B是镀敷装置的侧视图。图2A是基板保持器的正面图。图2B是基板保持器的剖面图。图2C是图2B中标注“A”的部位的放大分解图。图3是基板保持器的保持基板的部分的剖面图。图4是具有半锁定功能的夹持器的板的立体图。图5是与图4的板成对的钩部的立体图。图6是包括图4的板与图5的钩部的夹持器的剖面图。图7A是基板装卸装置的俯视图。图7B是基板装卸装置的侧视图。图8A是表示将基板安装到基板保持器时按压部的动作的第一图。图8B是表示将基板安装到基板保持器时按压部的动作的第二图。图8C是表示将基板安装到基板保持器时按压部的动作的第三图。图8D是表示将基板安装到基板保持器时按压部的动作的第四图。图8E是表示将基板安装到基板保持器时按压部的动作的第五图。图8F是表示将基板安装到基板保持器时按压部的动作的第六图。图9是包括伪基板的基板保持器的剖面图。图10A是表示使用伪基板时按压部的动作的第一图。图10B是表示使用伪基板时按压部的动作的第二图。图10C是表示使用伪基板时按压部的动作的第三图。图11A是从不朝向基板的面观察伪基板的图。图11B是图11A中的A-A的位置的剖面图。图12是从朝向基板的面观察伪基板的图。图13是从朝向基板的面观察伪基板的图。图14是包括切口的伪基板的图。图15是用于说明固定件的图。图16是包括没有开口的后框架的基板保持器的剖面图。图17是另一例的包括伪基板的基板保持器200的剖面图。图18是表示基板搬运机器人、基板与伪基板的立体图。图19是基板搬运机器人的卡爪的立体图。图20是具有致动器的基板搬运机器人与具有延伸部的伪基板的立体图。[符号的说明]100：镀敷装置110：装载端口120：基板搬运机器人130：干燥器140：基板装卸装置150：镀敷处理部151：前水洗槽152：前处理槽153：第一淋洗槽154：第一镀敷槽155：第二淋洗槽156：第二镀敷槽157：第三淋洗槽158：吹气槽160：运输机161：运输机臂162：臂上下移动机构163：水平移动机构170：暂存盒180：控制部190：保持器·伪基板清洗部200：基板保持器200a、200a'：前框架200b、200b'：后框架210a、210b：保持器臂220：肩部电极230a、230b：布线收纳部241a、241b：端口250、250SL：钩部251：钩基座252：钩主体253：轴254：杆260a、260b：开口270、270SL：板271：卡爪271a：锁定用卡爪271b：半锁用卡爪290、290SL：夹持器300：外密封件310：内密封件320：基板用电极700：保持器承受部701：保持器承受主体702：直动机构710：保持器倾动部711：保持器倾动部臂720：保持器搬运部721：保持器载体722：载体上下移动机构723：搬运部直动机构730：按压部731：载物台732：按压单元732op：按压单元开口801：下部基板支持件802：下部基板支持件上下移动机构803：上部基板支持件804：上部基板支持件上下移动机构900：伪基板901：第一部分902：第二部分903：第三部分1100：凹部1200：突起部1400：切口1500：固定件1800：卡爪1810：基板保持构件1900：安装部1910：杆1920：销2000：延伸部2100：致动器W：基板具体实施方式＜关于镀敷装置＞图1A至图1B是一实施方式的镀敷装置100的示意图。图1A是镀敷装置100的俯视图。图1B是镀敷装置100的侧视图。一实施方式的镀敷装置100包括：装载端口110、基板搬运机器人120、干燥器130、基板装卸装置140、镀敷处理部150、运输机(transporter)160及暂存盒170。进而，镀敷装置100也可包括用于控制镀敷装置100的各部的控制部180。再者，以下，以应被镀敷的基板为方形进行说明。但是，也可使用方形以外的形状的基板。装载端口110被设置用于将基板装载到镀敷装置100上并且从装置100拆卸基板。装载端口110可构成为能够放置正面开口标准箱(FrontOpeningUniversalPod，FOUP)等机构，或者可在与FOUP等机构之间搬运基板。由装载端口110装载的基板由基板搬运机器人120搬运到基板装卸装置140。基板装卸装置140是用于在基板保持器上安装基板及用于从基板保持器卸载基板的装置。需要将基板及基板保持器两者搬入基板装卸装置140。因此，基板装卸装置140被定位在基板搬运机器人120及运输机160两者能够接入的位置。镀敷处理部150是为了对基板进行镀敷加工而设置。镀敷处理部150包括一个或多个处理槽。一个或多个处理槽中至少一个是镀敷槽。作为一例，图1A至图1B的处理部150包括8个处理槽，即前水洗槽151、前处理槽15本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板保持器，用于保持应被镀敷的基板，所述基板保持器包括：/n第一框架，具有用于使基板的其中一面露出的第一开口；以及/n第二框架，具有用于使所述基板的另一面露出的第二开口，/n所述基板由所述第一框架与所述第二框架夹持，/n所述基板保持器还包括伪基板，所述伪基板可装卸地配置于所述第一框架与所述基板之间，所述伪基板至少由实质上不流通直流电流的材质形成，所述伪基板的至少一部分与所述基板的所述其中一面的至少一部分接触，所述伪基板保护所述基板的所述其中一面免受镀敷液的影响。/n

【技术特征摘要】
20181115 JP 2018-2144021.一种基板保持器，用于保持应被镀敷的基板，所述基板保持器包括：
第一框架，具有用于使基板的其中一面露出的第一开口；以及
第二框架，具有用于使所述基板的另一面露出的第二开口，
所述基板由所述第一框架与所述第二框架夹持，
所述基板保持器还包括伪基板，所述伪基板可装卸地配置于所述第一框架与所述基板之间，所述伪基板至少由实质上不流通直流电流的材质形成，所述伪基板的至少一部分与所述基板的所述其中一面的至少一部分接触，所述伪基板保护所述基板的所述其中一面免受镀敷液的影响。


2.根据权利要求1所述的基板保持器，其中所述第一框架及所述第二框架分别包括与所述基板或所述伪基板接触的内密封件，
所述第一框架及所述第二框架中的至少一者包括与另一框架接触的外密封件，
所述伪基板包括：
第一部分，作为所述伪基板的外缘部；
第二部分，作为比所述第一部分更靠内侧的部分且与所述内密封件接触；以及
第三部分，作为比所述第二部分更靠内侧的部分；
所述第二部分的厚度比所述第一部分的厚度或所述第三部分的厚度薄。


3.根据权利要求2所述的基板保持器，其中所述第二部分的厚度为0.1mm以上且2mm以下。


4.根据权利要求2或3所述的基板保持器，其中在所述第一部分设置有切口，所述切口用于使搬运所述基板的搬运装置的爪通过。


5.根据权利要求1至3中任一项所述的基板保持器，其中所述第三部分构成为所述第三部分的至少一部分插入所述第一开口。


6.根据权利要求1至3中任一项所述的基板保持器，其中在所述伪基板的朝向所述基板的面设置有突起部，所述突起部与所述基板接触。


7.根据权利要求6所述的基板保持器，其中所述突起部构成为仅...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本松太郎，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP