摇摇机台操作系统与方法技术方案

本发明专利技术提出一种摇摇机台操作系统与方法，其特征在于所述系统包括：至少一身分信息携载单元、至少一料品信息携载单元、至少一第一机台信息携载单元、至少一第二机台信息携载单元、以及至少一可携式电子装置。特别地，在所述可携式电子装置以其读取单元读取所述些信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统便可以在确认操作人员是否具有机台操作权限以及所述料品容置器所盛装的料品的品名、批号、有效日期、与序号是否正确之后，允许操作人员操作第一机台与/或第二机台。如此方式，是能够确保研磨液或其他化学液或其他化学液储液桶的摇晃作业与相关纪录皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免任何人为操作异常或者以非符合标准作业程序的方式完成相关作业。

Operation system and method of shaking machine

【技术实现步骤摘要】
摇摇机台操作系统与方法
本专利技术是关于半导体制程的
，尤指一种摇摇机台操作系统与方法，用于协助集成电路制造厂(ICfoundry)的操作人员能够在后端的中央监控系统的监控下完成化学储液桶(Chemicalcontainer)的定期摇晃作业(Shakingoperation)。
技术介绍
化学机械研磨(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)目前已被广泛地用于半导体IC制造程序之中的全面性平坦化制程。执行CMP制程时，必须将晶圆放置在一晶圆承载体(Carrier/Head)与表面铺有抛光垫的一旋转工作台之间。并且，以具有抛光垫的所述旋转工作台对晶圆执行全面性平坦化的过程中，一化学流体抛光液(Chemicalmechanicalpolishingslurry)会通过一喷注管不断地喷向晶圆表面。可想而知，抛光垫与化学流体抛光液(简称“研磨液”)为CMP制程之中的耗材，必须由现场操作人员定时或定期进行更换。必须补充说明的是，研磨液主要是由研磨剂(Abrasive)、表面活性剂、PH缓冲胶、氧化剂、与防腐剂组成；其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种摇摇机台操作系统，是包括：/n至少一身分信息携载单元，是设置于至少一操作人员身分卡之上；/n至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器是容置有一特定料品；/n至少一第一机台信息携载单元，是设置于至少一第一机台之上，且所述第一机台是用以使用所述特定料品；/n至少一第二机台信息携载单元，是设置于至少一第二机台之上，且所述第二机台是用以预处理所述特定料品；以及/n至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；/n其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认是否所述料品容置器所容置的所述特定料品需要以所述第二机台对其执行预处理；...

【技术特征摘要】
1.一种摇摇机台操作系统，是包括：
至少一身分信息携载单元，是设置于至少一操作人员身分卡之上；
至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器是容置有一特定料品；
至少一第一机台信息携载单元，是设置于至少一第一机台之上，且所述第一机台是用以使用所述特定料品；
至少一第二机台信息携载单元，是设置于至少一第二机台之上，且所述第二机台是用以预处理所述特定料品；以及
至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；
其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认是否所述料品容置器所容置的所述特定料品需要以所述第二机台对其执行预处理；
通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有操作所述第一机台与所述第二机台的权限；
通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第一机台信息携载单元与所述第二机台信息携载单元的方式确认所述第一机台与所述第二机台的运作状态。


2.根据权利要求1所述的摇摇机台操作系统，其特征在于，更包括：
一中央监控系统，是通过一收发装置与所述可携式电子装置沟通，并通过一控装置监视与控制所述第一机台与所述第二机台的运作状态。


3.根据权利要求1所述的摇摇机台操作系统，其特征在于，所述特定料品为一化学流体抛光液，所述第一机台为一研磨液或其他化学液供应系统，且所述第二机台为一储液桶的摇摇机台。


4.根据权利要求1所述的摇摇机台操作系统，其特征在于，所述身分信息携载单元、所述料品信息携载单元、所述第一机台信息携载单元、与所述第二机台信息携载单元皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1Dbarcode)、二维条形码(2Dbarcode)、汉信码(Chinese-sensiblecode)、QR码、矩阵条形码(Maxicode)、RFID...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元凯，熊天林，林清海，
申请(专利权)人：宇辰系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71