一种流体填充与抽取系统与方法技术方案

本发明专利技术提出一种流体填充与抽取系统，包括：至少一第一身分信息携载单元、至少一第二身分信息携载单元、至少一料品信息携载单元、至少一槽区信息携载单元、至少一容置槽信息携载单元、以及至少一可携式电子装置。特别地，在所述可携式电子装置以其读取单元读取所述多个信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统便可以在确认操作人员是否具有执行流体填充作业与/或抽取(回收)作业的操作权限以及所述料品容置器3(即，化学品槽车)所盛装的料品的资处信息是否符合无误之后，允许操作人员执行流体填充作业与/或抽取(回收)作业。如此方式，是能够确保填充作业与抽取作业与相关纪录皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免任何人为操作异常或者以非符合标准作业程序的方式完成相关作业。

A fluid filling and extraction system and method

【技术实现步骤摘要】
一种流体填充与抽取系统与方法
本专利技术是关于半导体制程的
，尤指一种流体填充与抽取系统与方法，应用于协助集成电路制造厂(ICfoundry)的操作人员能够在后端的中央监控系统的监控下完成化学品容置槽(Chemicalcontainingtank)的填充与回收抽取作业。
技术介绍
半导体集成电路的制程包括薄膜沈积、扩散、微影蚀刻、离子植入等基本半导体制程；并且，在制作半导体集成电路的过程中，必须使用到大量的化学品来满足制程的需求。特别说明的是，半导体集成电路的制造必须时时刻刻保持生产流程不中断，因此，这些化学品的供应也必须被维持不中断。基于这样的理由，集成电路制造厂在进行厂区规划时，便会特别地规画至少一特定化学槽厂区，以作为设置各种大型化学品容置槽使用。目前，化学品供货商是利用大型化学品槽车装载完成制作的各种化学品。可想而知，集成电路制造厂于进行各类化学品的补充的时候，是令化学品槽车直接驶至化学槽厂区，进而直接地将化学品补充至指定的大型化学品容置槽之中，完成化学品的补充作业。然而，半导体制程所使用的化学品通常具有可燃性、毒性、氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体填充与抽取系统，包括：/n至少一第一身分信息携载单元，是设置于至少一操作人员身分卡之上；/n至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器是容置有一特定料品；/n至少一槽区信息携载单元，是设置于至少一槽区管制门之上；/n至少一容置槽信息携载单元，是设置于至少一流体容置槽之上，且所述至少一流体容置槽是设置在位于所述槽区管制门后方的至少一流体容置槽区之中；以及/n至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；/n其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认是否所述料品容置器所容置的所述特定料品需要被执行一填充作业，以将所述特...

【技术特征摘要】
1.一种流体填充与抽取系统，包括：
至少一第一身分信息携载单元，是设置于至少一操作人员身分卡之上；
至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器是容置有一特定料品；
至少一槽区信息携载单元，是设置于至少一槽区管制门之上；
至少一容置槽信息携载单元，是设置于至少一流体容置槽之上，且所述至少一流体容置槽是设置在位于所述槽区管制门后方的至少一流体容置槽区之中；以及
至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；
其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认是否所述料品容置器所容置的所述特定料品需要被执行一填充作业，以将所述特定料品自所述料品容置器填充至特定的所述流体容置槽区与特定的所述流体容置槽；
通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述槽区信息携载单元与所述容置槽信息携载单元的方式确认是否所述流体容置槽所容置的所述特定料品需要执行一抽取作业；
通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第一身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有执行所述填充作业与所述抽取作业的权限。


2.根据权利要求1所述的流体填充与抽取系统，其特征在于，更包括：
至少一第二身分信息携载单元，是设置于所述料品容置器的至少一运送人员身分卡之上；以及
至少一槽阀信息携载单元，是设置于至少一切换阀单元之上，且所述切换阀单元是用以切换所述流体容置槽的流体输入与流体出入。


3.根据权利要求1所述的流体填充与抽取系统，其特征在于，更包括：
至少一阀门保护装置，是装设于所述至少一切换阀单元之上；以及
一中央监控系统，是通过一收发装置与所述可携式电子装置沟通，并通过一控制装置监视与控制所述槽区管制门的门禁管理，并用以通过所述控制装置启用或解除所述阀门保护装置的启用与解除。


4.根据权利要求1所述的流体填充与抽取系统，其特征在于，所述特定料品为一化学流体，所述料品容置器为一化学品槽车，且所述流体容置槽为一化学品容置槽或一化学废品容置槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元凯，熊天林，林清海，
申请(专利权)人：宇辰系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71