气体换装系统与方法技术方案

本发明专利技术提出一种气体换装系统及方法，特别于操作人员的身分卡、气体钢瓶、钢瓶容置机柜皆贴置有特别设计的信息携载单元。以一可携式电子装置读取这些信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统CSRC便可以在确认操作人员是否具有机台操作权限之后，要求操作人员先执行气体管线的吹净作业(Purge)，避免高危险气体(例如:NH3或SiH4)泄漏。之后，中央监控系统才会解除待更换的气体钢瓶的安全装置(Auto guard)，允许操作人员以新的气体钢瓶替换之。如此方式，能够确保所有机台的料品更换皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免在执行料品的去旧换新的程序过程中发生人为操作异常。

Gas exchange system and method

【技术实现步骤摘要】
气体换装系统与方法
本专利技术是设籍半导体制程的
，尤指用于协助集成电路制造厂(ICfoundry)能够通过在线检核的方式安全地完成气体钢瓶(Gascylinder)的更换作业。
技术介绍
高纯度气体与一些特用气体是半导体集成电路制造所不可或缺的原料。它们经常储存在钢瓶和储槽之中，并且供应到半导体制程所使用的制程设备，包括扩散设备、化学气相沉积(chemicalvapordeposition，CVD)设备、原子层沉积(atomiclayerdeposition，ALD)设备、蚀刻设备、掺杂设备、离子布植设备、与溅镀设备。目前，集成电路制造厂(ICfoundry)将需要使用的气体钢瓶放置于特别设计的防爆式气体钢瓶机柜之中。所述气体钢瓶机柜具有许多特别的安全防护机构，包括：火焰侦测器(Firesensor)、高温传感器(Hightemperaturesensor)、钢瓶接口的气阀守卫装置(Autoguard)、喷洒装置(Sprinkler)、防震探测器(Seismicdetector)、毒气侦测器(Gasleakdetector)。可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体换装系统，包括：/n至少一第一身分信息携载单元，设置于至少一操作人员身分卡之上；/n至少一料品信息携载单元，设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器容置有一特定料品；/n至少一机台信息携载单元，设置于至少一机台之上，且所述机台用以预处理或直接使用所述特定料品；以及/n至少一可携式电子装置，具有一读取单元；/n其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述机台信息携载单元的方式确认所述机台的类型与其运作状态；同时，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第一身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有操作所述机台的权限；/n通过所...

【技术特征摘要】
1.一种气体换装系统，包括：
至少一第一身分信息携载单元，设置于至少一操作人员身分卡之上；
至少一料品信息携载单元，设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器容置有一特定料品；
至少一机台信息携载单元，设置于至少一机台之上，且所述机台用以预处理或直接使用所述特定料品；以及
至少一可携式电子装置，具有一读取单元；
其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述机台信息携载单元的方式确认所述机台的类型与其运作状态；同时，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第一身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有操作所述机台的权限；
通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认所述料品容置器所容置的所述特定料品的多个基础信息，以确保所述料品容置器于所述特定料品处于一正常状态之下被装入正确的所述机台之中。


2.根据权利要求1所述的气体换装系统，其特征在于，更包括：
一中央监控系统，通过一收发装置路由器与所述可携式电子装置沟通，并通过一可编程控装置(Programmablelogiccontroller,PLC)监视与控制所述机台的运作状态。


3.根据权利要求1所述的气体换装系统，其特征在于，更包括：
一第二身分信息携载单元，设置于至少一检查人员身分卡之上；通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第二身分信息携载单元的方式确认持有所述检查人员身分卡的一检查人员是否对操作人员的操作完成相关检查。


4.根据权利要求1所述的气体换装系统，其特征在于，更包括：
一有线通讯模块，用以供所述可携式电子装置与所述机台沟通或进行数据传输。


5.根据权利要求1所述的气体换装系统，其特征在于，所述特定料...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元凯，熊天林，林清海，
申请(专利权)人：宇辰系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71