气体换装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气体换装装置，包括料品容置器与柜体；料品容置器，包含第一控制阀和壳体，料品容置器上端连接开关，侧边连接第一出气管，其一端与料品容置器连接，且依序设置有压力表与第三控制阀，于压力表与第二控制阀之间连接第二出气管，第二出气管上设置有第二控制阀；柜体，其内设置有扣合槽，扣合槽连接施力件，通过控制施力件可驱动扣合槽与料品容置器顶端相连接。容置器顶端相连接。容置器顶端相连接。

【技术实现步骤摘要】
气体换装装置


[0001]本技术涉及半导体制程的
，尤指一种用于协助集成电路制造厂(ICfoundry)，且更安全的气体换装装置。

技术介绍

[0002]高纯度气体与一些特用气体是半导体集成电路制造所不可或缺的原料。它们经常储存在钢瓶和储槽之中，并且供应到半导体制程所使用的制程设备，包括扩散设备、化学气相沉积 (chemical vapor deposition，CVD)设备、原子层沉积(atomic layer deposition，ALD) 设备、蚀刻设备、掺杂设备、离子布植设备、与溅镀设备。目前，集成电路制造厂(IC foundry) 将需要使用的气体钢瓶放置于特别设计的防爆式气体钢瓶机柜之中。所述气体钢瓶机柜具有许多特别的安全防护机构，包括：火焰侦测器(Fire sensor)、高温传感器(High temperaturesensor)、钢瓶接口的气阀守卫装置(Auto guard)、喷洒装置(Sprinkler)、防震探测器 (Seismic detector)、毒气侦测器(Gas leak detector)。
[0003]可想而知，当特定的气体钢瓶用罄时，制造厂内的相关单位的操作人员必须依照标准作业程序(SOP)进行相关气体钢瓶的更换。举例而言，为了防止管线内仍残留气体，操作人员依照SOP必须在执行气体钢瓶的去旧换新之前先执行管线的吹净作业(Purge)。吹净作业的次数会根据气体的种类而有所不同，但至少是3次。完成吹净作业之后，操作人员才可以解除连接于气体钢瓶接口处的气阀守卫装置，并接着以新的气体钢瓶替换用罄的气体钢瓶。
[0004]然而，根据集成电路制造厂所提供的实务操作经验，可以发现目前使用的气体钢瓶更换程序存在着一个重大缺陷。换料人员常常在执行程序的过程中发生人为操作异常，例如：操作人员并未确实完成SOP所规定的吹净次数便径自解除气阀守卫装置或在替换气体钢瓶时，并未精准的将气体钢瓶装设在机柜之中，导致有料品液出的情况，类似这种的人为操作错误势必导致集成电路制造厂(IC foundry)与其客户的重大损失。尤其，集成电路制造厂经常使用到高危险性气体与有毒气体(如PH3与BF3)。高危险性气体例如NH3与SiH4，其特征在于NH3虽为不可燃，但当其在空气中的浓度超过15％便会有引发爆炸的危险。另一方面，SiH4是可燃气体，且与空气反应后会引发吸入者窒息。有毒气体则例如PH3与BF3。
[0005]由上述说明可知，特用气体钢瓶的更换作业安全化、快速化对于集成电路制造厂而言是非常迫切的，如此，操作人员能以更安全的气体换装装置，并依照标准的作业程序完成气体换装是非常重要的。有鉴于此，本案的创作人极力加以研究创作，而终于研发完成本技术的一种气体换装装置。

技术实现思路

[0006]集成电路制造厂(IC foundry)所提供的实务操作经验指出，气体钢瓶的更换作业过程中常常发生人为操作异常，例如：操作人员并未确实完成SOP所规定的吹净次数便径自解除气阀守卫装置或在替换气体钢瓶时，并未精准的将气体钢瓶装设在机柜之中，类似这
种的人为操作错误势必导致集成电路制造厂与其客户的重大损失。本技术的主要目的在于提供一种气体换装装置，使操作人员能安全的、快速的进行化学换装，为了达成上述本技术的主要目的，本案创作人提供所述气体换装装置的一实施例，其中，包括：
[0007]至少一料品容置器，包含一第一控制阀和一壳体，所述料品容置器上端连接一开关，侧边连接一第一出气管，所述第一出气管一端与所述料品容置器连接，且依序设置有一压力表与一第二控制阀，于所述压力表与所述第二控制阀之间连接一第二出气管，所述第二出气管上设置有所述第三控制阀；以及
[0008]至少一柜体，其内设置有至少一扣合槽，所述扣合槽连接一施力件，通过控制所述施力件可驱动所述扣合槽与所述料品容置器顶端相连接。
[0009]所述的气体换装装置，其中，更包含一抽气装置。
[0010]所述的气体换装装置，其中，所述柜体更包括一固定件，所述固定件设置于所述料品容置器侧边。
[0011]所述的气体换装装置，其中，所述料品容置器容置有一特定料品，所述特定料品为SiH4、 NH3、B2H6、H2、CF4、CHF3、O2、SF6等任一者。
[0012]所述的气体换装装置，其中，所述柜体顶侧上更装设有一气体处理装置。
[0013]所述的气体换装装置，其中，所述柜体内部更装设有一警报装置。
[0014]所述的气体换装装置，其中，所述柜体的底端装设有一换气口。
[0015]所述的气体换装装置，其中，所述柜体底部设有一升降装置。
[0016]所述的气体换装装置，其中，所述料品容置器上设置一料品信息标签；所述柜体上设置有一柜体信息标签。
[0017]所述的气体换装装置，其中，所述料品信息标签与所述柜体信息标签皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1D barcode)、二维条形码(2D barcode)、汉信码 (Chinese-sensible code)、QR码、矩阵条形码(Maxicode)、RFID标签、NFC卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。
附图说明
[0018]图1(a)为显示本技术的一种气体换装装置的示意图；
[0019]图1(b)为显示本技术的一种气体换装装置的示意图；
[0020]图2为显示部份元件结合示意图；
[0021]图3为显示本技术的一种气体换装装置另一实施示意图；
[0022]图4为显示可携式电子装置的立体图；
[0023]图4A为显示可携式电子装置的屏幕的正视图；
[0024]图4B为显示可携式电子装置的屏幕的正视图；
[0025]图4C为显示可携式电子装置的屏幕的正视图；以及
[0026]图4D为显示可携式电子装置的屏幕的正视图。
[0027]图例说明：
[0028]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
气体换装装置
[0029]2ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
抽气装置
[0030]3ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
料品容置器
可驱动所述扣合槽41与所述料品容置器3顶端相连接，其中，所述施力件42为一个手持部，如:握把、拉杆等。至少一料品容置器3，包含包含一第一控制阀32和一壳体38，所述料品容置器3上端连接一开关381，侧边连接一第一出气管31，所述第一出气管31一端与所述料品容置器3连接，且依序设置有一压力表33与一第二控制阀34，于所述压力表33与所述第二控制阀34之间连接一第二出气管35，所述第二出气管35上设置有所述第三控制阀36。其中，所述料品容置器3为气体钢瓶，所述第一控制阀32为气阀守卫装置，所述第二控制阀 34与所述第三控制阀36为排气阀。其中，数量上，料品容置器3可为一个或一个以上，在此，不加以限制，而是视厂内需求，适应性调整数量。
[0065]请继续参阅图2，当操作人员执行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体换装装置，其特征在于，包括：至少一料品容置器，包含一第一控制阀和一壳体，所述料品容置器上端连接一开关，侧边连接一第一出气管，所述第一出气管一端与所述料品容置器连接，且依序设置有一压力表与一第二控制阀，于所述压力表与所述第二控制阀之间连接一第二出气管，所述第二出气管上设置有一第三控制阀；以及至少一柜体，其内设置有至少一扣合槽，所述扣合槽连接一施力件，透过控制所述施力件可驱动所述扣合槽与所述料品容置器顶端相连接。2.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，更包含一抽气装置。3.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述柜体更包括一固定件，所述固定件设置于所述料品容置器侧边。4.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述料品容置器容置有一特定料品，所述特定料品为SiH4、NH3、B2H6、H2、CF4...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元凯，熊天林，林清海，
申请(专利权)人：宇辰系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：