原物料信息标签读取机台制造技术

本实用实用新型专利技术提出一种原物料信息标签读取机台，包括：身分信息标签、第一料品信息标签、第二料品信息标签、第三料品信息标签、可携式电子装置、换料区及数据采集设备；身分信息标签置于操作人员身分卡上；第一料品信息标签设置于第一料品容置器上；第二料品信息标签设置于料品运送工具上；第三料品信息标签设置于第二料品容置器上；机台信息标签设置于机台上；换料区供第一料品容置器、料品运送工具、第二料品容置器与机台放置；数据采集设备耦接显示设备，通过显示接口实现数据显示；可携式电子装置壳体外表面设置有读取器及控制开关，其于换料区读取身分信息标签、第一料品信息标签、机台信息标签、第二料品信息标签与/或第三料品信息标签。

【技术实现步骤摘要】
原物料信息标签读取机台
本技术是关于半导体制程的
，尤指一种原物料信息标签的读取机台，用于协助集成电路制造厂(ICfoundry)的操作人员能够在后端的数据采集设备的辅助下完成各种原物料的入库、出库(退回)、使用、与回收。
技术介绍
原物料(Rawmaterial)，一般是指直接投入生产作业的主要原料、零件、或组件。依作业方式进行分类，物料管理可分为事务性的管理与现场管理，其特征在于，事务性的管理包括：物料计划、物料预算、存量控制、质量控制、价格控制、购买手续、料帐整理等，而现场管理则包括：入库、物料验收、出库、退回、检验测试作业、盘点与仓储管理、取货等。由上所列出的分类细目可以发现，事务性的管理与现场管理同时包括了存量控制(盘点与仓储管理)与质量控制(物料验收与检验测试作业)，因此，一旦事务性管理的执行人员与现场管理的执行人员并同一人，则很有可能在物料的存量控制与质量控制上出现作业误差。举例而言，研磨液(polishingslurry)或其他化学液与滤材(滤心)被大量地使用于半导体制程的化学机械研磨(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)设备之中，且以特制钢瓶盛装的特用气体(例如:NH3或SiH4)亦被大量地使用于半导体制程的扩散设备、化学气相沉积(chemicalvapordeposition，CVD)设备、原子层沉积(atomiclayerdeposition，ALD)设备、蚀刻设备、掺杂设备、离子布植设备、与溅镀设备之中。可想而知，研磨液或其他化学液、滤材与特用气体的料品容置器势必经常性地被执行物料入库、物料检验、物料退回、与物料领取使用等作业。是以，一旦物料入库、物料检验、物料退回、与物料领取使用等作业未与物料的存量控制相互沟通，则有很大的机会发生物料存量不足的情况。然而，根据集成电路制造厂(ICfoundry)所提供的实务操作经验可以得知，目前集成电路制造厂的原物料的库存与使用上的管理是存在着重大缺陷；即，原物料的入库作业、出库(退回)作业、使用作业、与回收作业的执行与历史大部分是通过纸本记录。虽然纸本记录内容已经涵盖了料品入库时间、料品出库时间、操作人员姓名、操作人员工号、操作时间、更换品料号、料品上机时间、与料品下机时间等重要信息；然而，肇因于作业执行与纸本记录同时由人力完成，一旦在执行程序的过程中发生人为操作异常，例如操作人员以料号不符的原物料进行料品更换作业，类似这种的人为操作错误势必导致集成电路制造厂(ICfoundry)与其客户的重大损失。由上述说明可知，将各种原物料的入库作业、出库(退回)作业、更换使用作业、与回收作业的操作与历史记录同步进行电子化，这对于集成电路制造厂而言是亟迫切的。有鉴于此，本技术的创作人是极力加以研究创作，而终于研发完成本技术的一种原物料信息标签读取机台。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种原物料信息标签读取机台，其是包括：多组身分信息标签、多组第一料品信息标签、多组第二料品信息标签、多组第三料品信息标签、多组机台信息标签、多台可携式电子装置、多个换料区以及至少一数据采集设备。特别地，操作人员在使用所述可携式电子装置读取所述多个信息标签所携载的基础信息之后，后端人员能于数据采集设备的显示设备上显示上述基础信息，后端人员便可以在确认操作人员的权限、机台的状态与原物料的数据是否正确之后，令操作人员依循标准作业程序操作人员进行一原物料入库作业、一原物料出库作业、一物料使用作业、或一回收作业。如此方式，是能够确保所有作业皆在电子化的设备之下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免在执行原物料的相关作业的程序过程中发生人为操作异常。为了达成上述本技术的主要目的，本技术的创作人是提供所述原物料信息标签读取机台的一实施例，是包括：多组身分信息标签，是分别设置于多张操作人员身分卡之上；多组第一料品信息标签，是分别设置于多组第一料品容置器之上；多组第二料品信息标签，是分别设置于多辆料品运送工具之上；多组第三料品信息标签，是分别设置于多组第二料品容置器之上；多组机台信息标签，是设置于多组机台之上；多台可携式电子装置，所述可携式电子装置的壳体外表面设置有一读取器及一控制开关；多个换料区，是用以供所述第一料品容置器、所述料品运送工具、所述第二料品容置器与所述机台放置；以及至少一数据采集设备，是与所述多台可携式电子装置相互沟通，所述数据采集设备电性耦接一显示设备，所述显示设备能够通过一显示接口实现数据显示；通过所述多台可携式电子装置于所述多个换料区读取所述身分信息标签、所述第一料品信息标签、所述机台信息标签、所述第二料品信息标签与/或所述第三料品信息标签。所述的原物料信息标签读取机台，其中，更包括：多组阀门保护装置，是分别装设于多组切换阀器之上。所述的原物料信息标签读取机台，其中，更包括：一第一收发装置，所述第一收发装置设置有至少一第一收发天线，所述第一收发装置与所述可携式电子装置通信连接，用以接收所述可携式电子装置所发出的信号；以及一控制器，所述控制器设有一输入端及一第二收发装置，所述控制器与所述机台、所述多组阀门保护装置连接，通过所述第二收发装置发送信号于所述机台及所述多组阀门保护装置，当所述机台接收到所述第二收发装置的信号时，用以控制所述机台上的开关阀；又当所述多组阀门保护装置接收到所述第二收发装置的信号时，用以控制所述阀门保护装置。所述的原物料信息标签读取机台，其中，所述第一料品容置器内是容置有一特定料品，且所述特定料品可为下列任一者：化学流体抛光液、研磨液或其他化学液滤材、化学液体、或化学气体。所述的原物料信息标签读取机台，其中，所述第二料品容置器内是容置有一特定料品，且所述第二料品容置器为一化学流体容置槽或一化学气体容置槽；所述料品运送工具则为一化学槽车。所述的原物料信息标签读取机台，其中，所述第一料品容置器可为下列任一者：化学流体抛光液的储液桶、研磨液或其他化学液滤材的容置壳、或气体钢瓶。所述的原物料信息标签读取机台，其中，所述多组机台包括：至少一研磨液或其他化学液供应系统、至少一研磨液或其他化学液过滤系统、至少一化学液体供应装置、至少一化学气体供应装置、至少一储液桶摇晃机台、与至少一管制门。所述的原物料信息标签读取机台，其中，所述身分信息标签、所述第一料品信息标签、所述第二料品信息标签、所述第三料品信息标签、与所述机台信息标签皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1Dbarcode)、二维条形码(2Dbarcode)、汉信码(Chinese-sensiblecode)、QR码、矩阵条形码(Maxicode)、RFID卷标、NFC卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。所述的原物料信息标签读取机台，其中，所述数据采集设备CSRC通过所述显示设备显示一原物料换装监控接口、一工作机台设定管理接口、一原物料换装纪录接口、一数据交换接口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种原物料信息标签读取机台，其特征在于，是包括：/n多组身分信息标签，是分别设置于多张操作人员身分卡之上；/n多组第一料品信息标签，是分别设置于多组第一料品容置器之上；/n多组第二料品信息标签，是分别设置于多辆料品运送工具之上；/n多组第三料品信息标签，是分别设置于多组第二料品容置器之上；/n多组机台信息标签，是设置于多组机台之上；/n多台可携式电子装置，所述可携式电子装置的壳体外表面设置有一读取器及一控制开关；/n多个换料区，是用以供所述第一料品容置器、所述料品运送工具、所述第二料品容置器与所述机台放置；以及/n至少一数据采集设备，是与所述多台可携式电子装置相互沟通，所述数据采集设备电性耦接一显示设备，所述显示设备能够通过一显示接口实现数据显示，所述数据采集设备的本体内包含一备用电源，所述备用电源分别电性连接一电量计量设备，所述电量计量设备用以提供电能，当停电时继续备用电源工作；/n多组阀门保护装置，是分别装设于多组切换阀器之上；/n一第一收发装置，所述第一收发装置设置有至少一第一收发天线，所述第一收发天线可为一根天线、多根天线、水平方向排布的线性阵列或长方形面阵列组成，所述第一收发装置与所述可携式电子装置通信连接，用以接收所述可携式电子装置所发出的信号；以及/n一控制器，所述控制器设有一输入端及一第二收发装置，所述控制器与所述机台、所述多组阀门保护装置连接，通过所述第二收发装置发送信号于所述机台及所述多组阀门保护装置，当所述机台接收到所述第二收发装置的信号时，用以控制所述机台上的开关阀；又当所述多组阀门保护装置接收到所述第二收发装置的信号时，用以控制所述阀门保护装置；/n通过所述多台可携式电子装置于所述多个换料区读取所述身分信息标签、所述第一料品信息标签、所述机台信息标签、所述第二料品信息标签与/或所述第三料品信息标签。/n...

【技术特征摘要】
1.一种原物料信息标签读取机台，其特征在于，是包括：
多组身分信息标签，是分别设置于多张操作人员身分卡之上；
多组第一料品信息标签，是分别设置于多组第一料品容置器之上；
多组第二料品信息标签，是分别设置于多辆料品运送工具之上；
多组第三料品信息标签，是分别设置于多组第二料品容置器之上；
多组机台信息标签，是设置于多组机台之上；
多台可携式电子装置，所述可携式电子装置的壳体外表面设置有一读取器及一控制开关；
多个换料区，是用以供所述第一料品容置器、所述料品运送工具、所述第二料品容置器与所述机台放置；以及
至少一数据采集设备，是与所述多台可携式电子装置相互沟通，所述数据采集设备电性耦接一显示设备，所述显示设备能够通过一显示接口实现数据显示，所述数据采集设备的本体内包含一备用电源，所述备用电源分别电性连接一电量计量设备，所述电量计量设备用以提供电能，当停电时继续备用电源工作；
多组阀门保护装置，是分别装设于多组切换阀器之上；
一第一收发装置，所述第一收发装置设置有至少一第一收发天线，所述第一收发天线可为一根天线、多根天线、水平方向排布的线性阵列或长方形面阵列组成，所述第一收发装置与所述可携式电子装置通信连接，用以接收所述可携式电子装置所发出的信号；以及
一控制器，所述控制器设有一输入端及一第二收发装置，所述控制器与所述机台、所述多组阀门保护装置连接，通过所述第二收发装置发送信号于所述机台及所述多组阀门保护装置，当所述机台接收到所述第二收发装置的信号时，用以控制所述机台上的开关阀；又当所述多组阀门保护装置接收到所述第二收发装置的信号时，用以控制所述阀门保护装置；
通过所述多台可携式电子装置于所述多个换料区读取所述身分信息标签、所述第一料品信息标签、所述机台信息标签、所述第二料品信息标签与/或所述第三料品信息标签。


2.根据权利要求1所述的原物料信息标签...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元凯，熊天林，林清海，
申请(专利权)人：宇辰系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71