一种物料管理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的主要目的在于提供一种物料管理装置，包括第一感测器。第一感测器包括接收器与发射器，第一料品容置器、第二料品容置器与第三料品容置器皆包含壳体，且内部皆容置特定料品，且接收器与发射器设置于壳体内表面，接收器用以侦测第一料品容置器、第二料品容置器与第三料品容置器内所容置的特定料品液面，当任一特定料品液面接近或等于欲定义的换料液面准位时，发射器即发出警示通知。

【技术实现步骤摘要】
一种物料管理装置
本技术是关于物料管理的
，尤指一种用于协助集成电路制造厂(ICfoundry)并有高效率、更安全等优点的物料管理装置。
技术介绍
物料(Rawmaterial)，一般是指直接投入生产作业的主要原料、零件、或组件。依作业方式进行分类，物料管理可分为事务性的管理与现场管理，其特征在于，事务性的管理包括：物料计划、物料预算、存量控制、质量控制、价格控制、购买手续、料帐整理等，而现场管理则包括：入库、物料验收、出库、退回、检验测试作业、盘点与仓储管理、取货等。特别地，操作人员常常在物料的存量控制上出现作业误差，举例而言，研磨液(polishingslurry)或其他化学液与滤材(滤心)被大量地使用于半导体制程的化学机械研磨(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)设备之中，且以特制钢瓶盛装的特用气体(例如:NH3或SiH4)亦被大量地使用于半导体制程的扩散设备、化学气相沉积(chemicalvapordeposition，CVD)设备、原子层沉积(atomiclayerdeposition，ALD本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物料管理装置，其特征在于，包括：/n多个第一感测器，包括一接收器与一发射器，多个第一料品容置器、多个第二料品容置器与多个第三料品容置器皆包含一壳体，且内部皆容置一特定料品，且所述接收器与所述发射器设置于所述壳体内表面；/n所述接收器用以侦测所述多个第一料品容置器、所述多个第二料品容置器与所述多个第三料品容置器内所容置的特定料品液面，当任一特定料品液面接近或等于欲定义的换料液面准位时，所述发射器即发出一警示通知。/n

【技术特征摘要】
1.一种物料管理装置，其特征在于，包括：
多个第一感测器，包括一接收器与一发射器，多个第一料品容置器、多个第二料品容置器与多个第三料品容置器皆包含一壳体，且内部皆容置一特定料品，且所述接收器与所述发射器设置于所述壳体内表面；
所述接收器用以侦测所述多个第一料品容置器、所述多个第二料品容置器与所述多个第三料品容置器内所容置的特定料品液面，当任一特定料品液面接近或等于欲定义的换料液面准位时，所述发射器即发出一警示通知。


2.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述第一料品容置器所容置的特定料品，为下列任一者：化学流体抛光液、一化学液体、一化学研磨液。


3.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述第二料品容置器容置有一特用气体，所述特用气体为SiH4、NH3、B2H6、H2、CF4、CHF3、O2、SF6任一者。


4.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述第三料品容置器所容置的特定料品为...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元凯，熊天林，林清海，
申请(专利权)人：宇辰系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71