一种化学换装系统及方法技术方案

本发明专利技术公开一种化学换装系统及方法，所述化学换装系统包括：至少一身分信息携载单元、至少一料品信息携载单元、至少一机台信息携载单元、以及至少一可携式电子装置。特别地，在所述可携式电子装置以其读取单元读取所述多个信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统便可以在确认操作人员是否具有机台操作权限以及所述料品容置器所盛装的料品的品名、批号、有效日期、与序号是否正确之后，自动地解除机台的柜门，令操作人员接着进行相关料品的去旧换新作业。如此方式，能够确保所有机台的料品更换皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免在执行料品的去旧换新的程序过程中发生人为操作异常。

A chemical changing system and method

【技术实现步骤摘要】
一种化学换装系统及方法
本专利技术是关于半导体制程的
，尤指用于协助集成电路制造厂(ICfoundry)能够通过在线检核的方式安全地完成化学储液桶(Chemicalcontainer)的更换作业。
技术介绍
化学机械研磨/化学液(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)/(Chemicalfluid)目前已被广泛地用于半导体IC制造程序之中的全面性平坦化制程。执行CMP制程时，必须将晶圆放置在一晶圆承载体(Carrier/Head)与表面铺有抛光垫的一旋转工作台之间。并且，以具有抛光垫的所述旋转工作台对晶圆执行全面性平坦化的过程中，一化学流体抛光液(Chemicalmechanicalpolishingslurry)会通过一喷注管不断地喷向晶圆表面。可想而知，抛光垫与化学流体抛光液(简称“研磨液”)或其他化学液为CMP制程之中或其他制程的耗材，必须通过现场操作人员定时或定期进行更换。必须补充说明的是，随着半导体IC制造技术的线宽不断地微缩，制程技术也跟着改变。例如，传统上应用于全面性平坦化制程的化学机械研磨技术也被转用于高介电质金属闸极(High-Kmetalgate)的制造程序中。然而，由于金属闸极的线宽多为16奈米以下，因此在注入研磨液或其他化学液至相关制造平台之前，必须先以过滤器对研磨液或其他化学液进行过滤程序，通过此方式去除研磨液或其他化学液所带有的尺寸大于100奈米的颗粒。可想而知，过滤器的滤心或滤材自然也是CMP制程之中的耗材，必须由现场操作人员定时或定期进行更换。<br>然而，根据集成电路制造厂(ICfoundry)所提供的实务操作经验，可以发现目前使用的研磨液与/或滤心更换程序存在着一个重大缺陷，说明如下。研磨液或其他化学液或其他化学液与/或滤心的更换作业与历史是通过纸本记录，且纸本记录内容至少包括：更换人员姓名、更换人员工号、更换时间、更换品料号、品料上机时间、与品料下机时间等。然而，肇因于更换作业与纸本记录同时由人力完成，一旦在执行程序的过程中发生人为操作异常，例如操作人员以料号不符的研磨液或其他化学液进行换装，类似这种的人为操作错误势必导致集成电路制造厂(ICfoundry)与其客户的重大损失。由上述说明可知，将研磨液或其他化学液与/或滤心的物料管理、更换作业、程序步骤与记录同步电子化对于集成电路制造厂而言是亟迫切的。如此，集成电路制造厂的厂管便能够通过中心控制系统而完整、全面性地监控研磨液或其他化学液与/或滤心的更换料号是否正确以及操作人员是否具备换装权限。有鉴于此，本案的专利技术人极力加以研究创作，而终于研发完成本专利技术的一种化学换装系统与方法。
技术实现思路
集成电路制造厂(ICfoundry)所提供的实务操作经验指出，研磨液或其他化学液与/或滤心的更换作业与历史通常仅通过纸本记录。然而，肇因于更换作业与纸本记录皆由人力所完成，一旦在执行程序的过程中发生人为操作异常，例如：操作人员以料号不符的研磨液或其他化学液进行化学换装，类似这种的人为操作错误势必导致集成电路制造厂(ICfoundry)与其客户的重大损失。本专利技术的主要目的在于提供一种化学换装系统与方法，所述化学换装系统包括：至少一身分信息携载单元、至少一料品信息携载单元、至少一机台信息携载单元、以及至少一可携式电子装置。特别地，在所述可携式电子装置以其读取单元读取所述多个信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统便可以在确认操作人员是否具有机台操作权限以及所述料品容置器所盛装的料品的品名、批号、有效日期、与序号是否正确之后，自动地解除机台的柜门，令操作人员接着进行相关料品的去旧换新作业。如此方式，是能够确保所有机台的料品更换皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免在执行料品的去旧换新的程序过程中发生人为操作异常。为了达成上述本专利技术的主要目的，本案专利技术人提供所述化学换装系统的一实施例，包括：至少一身分信息携载单元，是置于至少一操作人员身分卡之上；至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器容置有一特定料品；至少一机台信息携载单元，是设置于至少一机台之上，且所述机台是用以预处理或直接使用所述特定料品；以及至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；其中，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述机台信息携载单元的方式确认所述机台的类型与其运作状态；同时，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有操作所述机台的权限；其中，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认所述料品容置器所容置的所述特定料品的多个基础信息，以确保所述料品容置器于所述特定料品处于一正常状态之下被装入正确的所述机台中。所述的化学换装系统，其中，更包括：一中央监控系统，通过一收发装置与所述可携式电子装置沟通，并通过一控制装置监视与控制所述机台的运作状态。所述的化学换装系统，其中，所述特定料品为一化学流体抛光液、一化学研磨液、一化学液体、一相关耗用材料、一O型环、一垫片或一滤材其中之一。所述的化学换装系统，其中，所述身分信息携载单元、所述料品信息携载单元与所述机台信息携载单元皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1Dbarcode)、二维条形码(2Dbarcode)、汉信码(Chinese-sensiblecode)、QR码、矩阵条形码(Maxicode)、RFID卷标、NFC卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。所述的化学换装系统，其中，所述可携式电子装置可为下列任一者：智能型手机、个人数字助理、笔记本电脑、平板计算机、智能眼镜、或智慧手表；所述读取单元可为下列任一者：RFID卷标读取器、NFC卷标读取器、影像辨识器、一维条形码读取器、二维条形码读取器、汉信码读取器、QR码读取器、或矩阵条形码读取器。所述的化学换装系统，其中，所述读取单元为一影像撷取器，且所述可携式电子装置更具有一影像辨识单元；其中，通过配合使用所述读取单元与所述影像辨识单元，所述可携式电子装置可完成所述身分信息携载单元、所述料品信息携载单元、与/或所述机台信息携载单元的读取。所述的化学换装系统，其中，通过所述料品信息携载单元所携载的所述多个基础信息系包括：品名、批号、有效日期、与序号，且相邻两个基础信息之间插入有一信息分隔符(Centralseperatingcharacter)。所述的化学换装系统，其中，所述正常状态可为下列任一者：所述特定料品的品名正确、所述特定料品的批号未被禁用、所述特定料品的批号具有入库纪录、或所述特定料品的保存日未超过有效日期。所述的化学换装系统，其中，更包括：一电子权杖单元(Electronictokenunit)，是用于与所述可携式电子装置相互沟通；于所述可携式电子装置完成所述身分信息携载单元的读取之后，所述电子权杖装置是用于重复确本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学换装系统，包括：/n至少一身分信息携载单元，是设置于至少一操作人员身分卡之上；/n至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器是容置有一特定料品；/n至少一机台信息携载单元，是设置于至少一机台之上，且所述机台是用以预处理或直接使用所述特定料品；以及/n至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；/n其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述机台信息携载单元的方式确认所述机台的类型与其运作状态；同时，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡之一操作人员是否具有操作所述机台的权限；/n通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认所述料品容置器所容置的所述特定料品的多数个基础信息，以确保所述料品容置器于所述特定料品处于一正常状态之下被装入正确的所述机台中。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学换装系统，包括：
至少一身分信息携载单元，是设置于至少一操作人员身分卡之上；
至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器是容置有一特定料品；
至少一机台信息携载单元，是设置于至少一机台之上，且所述机台是用以预处理或直接使用所述特定料品；以及
至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；
其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述机台信息携载单元的方式确认所述机台的类型与其运作状态；同时，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡之一操作人员是否具有操作所述机台的权限；
通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认所述料品容置器所容置的所述特定料品的多数个基础信息，以确保所述料品容置器于所述特定料品处于一正常状态之下被装入正确的所述机台中。


2.根据权利要求1所述的化学换装系统，其特征在于，更包括：
一中央监控系统，通过一收发装置与所述可携式电子装置沟通，并通过一控制装置监视与控制所述机台的运作状态。


3.根据权利要求1所述的化学换装系统，其特征在于，所述特定料品为一化学流体抛光液、一化学研磨液、一化学液体、一相关耗用材料、一O型环、一垫片或一滤材其中之一。


4.根据权利要求1所述的化学换装系统，其特征在于，所述身分信息携载单元、所述料品信息携载单元与所述机台信息携载单元皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1Dbarcode)、二维条形码(2Dbarcode)、汉信码(Chinese-sensiblecode)、QR码、矩阵条形码(Maxicode)、RFID卷标、NFC卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。


5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元凯，熊天林，林清海，
申请(专利权)人：宇辰系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71