下载气体换装系统与方法的技术资料

文档序号:24252292

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本发明提出一种气体换装系统及方法,特别于操作人员的身分卡、气体钢瓶、钢瓶容置机柜皆贴置有特别设计的信息携载单元。以一可携式电子装置读取这些信息携载单元所携载的基础信息之后,后端的中央监控系统CSRC便可以在确认操作人员是否具有机台操作权限之...
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