一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法技术

本发明专利技术实施例提供了一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法，该方法先将衬底置于过滤篮底部，再将过滤篮浸入前驱体溶液中，向前驱体溶液表面滴加微球溶液，然后向上提升过滤篮至过滤篮底部离开前驱体溶液，取出衬底并加热，得到前驱体薄膜，将前驱体薄膜升温后烧结，即得所述阵列式多孔氧化物薄膜。该制备方法通过更换微球溶液中的微球，采用不同粒径大小的微球即可实现对氧化物薄膜上孔径大小的调节，适用于单一金属氧化物多孔薄膜，也可以适用于多元金属氧化物多孔薄膜，适用范围广，无需昂贵的设备和精确的控制即可制备，工艺简单，生产成本低。

A preparation method of array porous oxide film

【技术实现步骤摘要】
一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法
本专利技术属于氧化物薄膜制备
，具体涉及一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法。
技术介绍
阵列式氧化物多孔薄膜具有比表面积大、化学性能稳定、光电性能优异等优点，可广泛应用于光催化、光电探测器、气敏传感器和生物传感器等领域。制备阵列式氧化物多孔薄膜的常用方法之一是使用聚苯乙烯(Polystyrene，缩写为PS)微球。现有技术中，第一种方法是先将PS微球均匀的平铺一层在衬底上，然后将衬底浸入前驱体溶液，再提拉溶液，利用毛细管力在PS微球和衬底之间吸附一层薄的前驱体溶液，之后再高温退火去除PS微球，并使前驱体溶液转变为多孔氧化物薄膜。如CN109813768A公开了一种单层多孔气敏膜、其制备方法及用途，该专利申请文件披露的方法首先在整片传感器基底上平铺单层有机微球作为掩膜板，然后沉积氧化物气敏薄膜，最后去除单层有机微球掩膜板，得到单层多孔气敏膜。该专利技术的方法将传统致密的二维薄膜切割成多孔网状结构，其比表面积大，增加了孔隙率、提高了薄膜与气体之间的相互作用面积，进而增加了灵敏度，然而重复性较差。第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，步骤包括：/nS1：将衬底置于过滤篮底部，再将过滤篮浸入前驱体溶液中；/nS2：向前驱体溶液表面滴加微球溶液；/nS3：向上提升过滤篮至过滤篮底部离开前驱体溶液，取出衬底并加热，得到前驱体薄膜；/nS4：将前驱体薄膜升温后烧结，即得所述阵列式多孔氧化物薄膜；/n所述过滤篮具有底板及围绕所述底板形成的侧壁，所述底板上分布有过滤孔，所述侧壁与所述底板之间的夹角为90～150°。/n

【技术特征摘要】
1.一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，步骤包括：
S1：将衬底置于过滤篮底部，再将过滤篮浸入前驱体溶液中；
S2：向前驱体溶液表面滴加微球溶液；
S3：向上提升过滤篮至过滤篮底部离开前驱体溶液，取出衬底并加热，得到前驱体薄膜；
S4：将前驱体薄膜升温后烧结，即得所述阵列式多孔氧化物薄膜；
所述过滤篮具有底板及围绕所述底板形成的侧壁，所述底板上分布有过滤孔，所述侧壁与所述底板之间的夹角为90～150°。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述前驱体溶液为金属硝酸盐溶液、金属醋酸盐溶液、金属硫酸盐溶液和金属碳酸盐溶液中的一种。


3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述前驱体溶液的浓度为0.001～0.5mol/L。


4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，过滤篮浸入前驱体溶液后，衬底距离前驱体溶液液...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨为家，王凤鸣，贺鹏宇，何鑫，王忆，
申请(专利权)人：五邑大学，
类型：发明
国别省市：广东;44