一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机，包括镀膜机机箱，所述镀膜机机箱的内部设有真空腔，所述真空腔的一端外侧设有密封凹槽，所述密封凹槽的四周均安装有第一电动伸缩杆，该镀膜机的密封门通过第二电动伸缩杆实现开启和关闭，稳定性能强，在密封门开启的过程中能将镀膜件抽拉出来，便于工作人员对镀膜件进行拆装，在密封的时候，通过密封凹槽四周的第一电动伸缩杆将固定板伸出，从而让固定板上的硅胶气囊挤压密封门上的密封卡销，从而实现对密封门进行密封，通过压力表内的压力传感器感应硅胶气囊在挤压时的气压，从而得知密封门的气密性，实现对密封门的气密性进行实时检测，保障密封门的气密性。

An optical vacuum coating machine which can automatically detect air tightness

【技术实现步骤摘要】
一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机
本技术涉及真空镀膜领域，具体为一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜需要真空镀膜机进行镀膜，而真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现有的真空镀膜机在密封性能上存在很多缺陷，1：现有的镀膜机在密封门上不能对密封门的气密性进行检测，而密封门长时间使用，会出现密封性能降低的现象，造成真空室内不能快速抽成真空，影响镀膜；2：现有的镀膜机密封门大多采用密封垫进行密封，密封比较单一，密封性能差，而且密封垫容易老化脱落，更换十分繁琐复杂；3：现有的镀膜机的密封门都是通过法兰与镀膜机连接的，不能实现自动开启或关闭密封门，也不能在打开密封门的同时将镀膜件抽拉出来，不便于工作人员对镀膜件进行拆装。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种可自动检测气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机，包括镀膜机机箱（1），其特征在于：所述镀膜机机箱（1）的内部设有真空腔（2），所述真空腔（2）的一端外侧设有密封凹槽（12），所述密封凹槽（12）的四周均安装有第一电动伸缩杆（5），所述第一电动伸缩杆（5）的一端安装有固定板（21），所述固定板（21）上安装有硅胶气囊（22），所述硅胶气囊（22）上连接有输气管（24），所述镀膜机机箱（1）的底端和顶端的两侧均安装有第二电动伸缩杆（6），所述第二电动伸缩杆（6）的一端安装有密封门（3），所述密封门（3）的一侧设有密封卡销（15），所述镀膜机机箱（1）的顶端安装有抽真空装置（7），所述镀膜机机箱（1）的一...

【技术特征摘要】
1.一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机，包括镀膜机机箱（1），其特征在于：所述镀膜机机箱（1）的内部设有真空腔（2），所述真空腔（2）的一端外侧设有密封凹槽（12），所述密封凹槽（12）的四周均安装有第一电动伸缩杆（5），所述第一电动伸缩杆（5）的一端安装有固定板（21），所述固定板（21）上安装有硅胶气囊（22），所述硅胶气囊（22）上连接有输气管（24），所述镀膜机机箱（1）的底端和顶端的两侧均安装有第二电动伸缩杆（6），所述第二电动伸缩杆（6）的一端安装有密封门（3），所述密封门（3）的一侧设有密封卡销（15），所述镀膜机机箱（1）的顶端安装有抽真空装置（7），所述镀膜机机箱（1）的一端安装有加热器（8），所述加热器（8）的底端安装有冷凝箱（9），所述冷凝箱（9）的底端安装有控制箱（25），所述镀膜机机箱（1）的一侧安装有可视窗（10），所述可视窗（10）的底端安装有气压表（23），所述气压表（23）的底端安装有电源开关（11），所述镀膜机机箱（1）的背面安装有电子枪（4）。


2.根据权利要求1所述的一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机，其特征在于：所述密封门（3）的另一侧安装有齿轮箱（13），所述齿轮箱（13）的顶端安装有电机（14），所述齿轮箱（13）的一侧连接有镀膜件固定架（16），所述镀膜件固定架（16）的两侧均螺纹连接有螺纹杆（17），所述螺纹杆（17）的一端焊接有固定块（18），另一端焊接有螺纹杆把手（20），所述镀膜件固定架（16）的底端设有坩埚固定板（19）。


3.根据权利要求2所述的一种可自动检测气密性的光学真空镀膜机，其特征在于：所述齿轮箱（13）通过螺栓固定在所述密封门（3）上，所述电机（14）的转轴与所述齿轮箱（13）内的齿轮啮合相连，所述镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓东，
申请(专利权)人：常州鑫立离子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32