一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置制造方法及图纸

一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，包括可放置在镀膜机内的载片台，所述载片台上设置有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置所述片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述片子的厚度设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。本实用新型专利技术结构简单，加工成本低，实用性高，可靠性强，操作简单方便，可辅助金属镀膜时片子表面的散热，解决镀膜过程中因散热不良导致的皱胶裂胶问题，良品率提高，适合推广。

A device for auxiliary heat dissipation on the surface of metal film

【技术实现步骤摘要】
一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置
本技术涉及一种辅助散热装置，具体涉及一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置。
技术介绍
目前，光通信网络采用光作为信号传输的载体，相比于采用铜缆作为传输介质的电通信网络，信息互联的速度、容量和抗干扰能力得到显着提高，因而得到广泛应用。半导体激光器是光通信网络的主要光源，光通信用半导体激光器的制备，代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向，得到了国际上各个国家的高度重视。光通信用的半导体激光器是光纤通信的核心。目前光通信用半导体激光器主要应用INP衬底片进行外延生长及后端加工，在后端加工中金属镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序。金属镀膜，就是在片子表面镀上相应的金属膜层，为了方便金属镀膜后的剥离，会在镀金属前做匀胶曝光工艺，镀膜是片子放在镀膜夹具上，然后进行金属镀膜，由于金属镀膜是电子束蒸镀，在镀膜过程会产生大量的热量，会堆积在片子表面，如果热量没有及时散发出去，胶层受热会硬化，从而引起皱胶裂胶问题，严重影响良品率，为了改善金属镀膜过程中片子表面的散热问题，设计了一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置。
技术实现思路
为克服上述现有技术中的不足，本技术目的在于提供一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供的技术方案是：一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，包括可放置在镀膜机内的载片台，所述载片台上设置有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置所述片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述片子的厚度设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。优选的技术方案为：所述盖板的形状与所述载片台的形状彼此对应设置。优选的技术方案为：所述放片槽的外侧设置有若干第一螺纹孔，所述盖板上对应所述第一螺纹孔的位置均设置有第二螺纹孔，上下对应的第一螺纹孔与第二螺纹孔内设有一可拆卸的螺栓。优选的技术方案为：所述放片槽的深度与所述片子的厚度之差为40~60μm。优选的技术方案为：所述载片台与所述盖板的材料均为不锈钢。优选的技术方案为：所述盖板的厚度为1.5~2.5mm。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有的优点是：本技术结构简单，加工成本低，实用性高，可靠性强，操作简单方便，可辅助金属镀膜时片子表面的散热，解决镀膜过程中因散热不良导致的皱胶裂胶问题，良品率提高，适合推广。附图说明图1为载片台俯视图。图2为载片台正视图。图3为盖板俯视图。图4为盖板正视图。以上附图中，载片台1，放片槽101，镀膜孔102，第一螺纹孔103，盖板2，第二螺纹孔201。具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1~图4。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。实施例：如图1~图4所示，一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，包括可放置在镀膜机内的载片台1，载片台1上设置有盖板2，载片台1与盖板2可拆卸式紧固连接；载片台1的中部开设有用于放置片子的放片槽101，放片槽101的深度低于片子的厚度设置；放片槽101的下端开设有用于镀膜的镀膜孔102。盖板2的形状与载片台1的形状彼此对应设置，当片子为圆形时，放片槽101可设置为圆形，便于片子的放置。放片槽101的外侧设置有若干第一螺纹孔103，盖板2上对应第一螺纹孔103的位置均设置有第二螺纹孔201，上下对应的第一螺纹孔103与第二螺纹孔201内设有一可拆卸的螺栓。优选的实施方式为：放片槽101的深度与片子的厚度之差为40~60μm。保证载片台1与盖板2之间通过螺栓锁紧后，片子与盖板2贴合紧密，放片槽101的深度一般低于片子厚度50μm时最佳。优选的实施方式为：载片台1与盖板2的材料均为不锈钢。不易生锈、耐腐蚀、不易损坏，使用寿命长。优选的实施方式为：盖板2的厚度为1.5~2.5mm。盖板2形状与载片台1形状加工成一致，厚度为2mm最佳。加工：载片台1材料可选用不锈钢，其形状可以按镀膜机的需求来定；如图1所示，载片台1以圆形为例，圆形尺寸可以按镀膜设备规定的尺寸定义，放片槽101的尺寸可以按待镀膜的片子的尺寸定义，放片槽101的槽深根据片子厚度来定义，槽深一般低于片子厚度50um；盖板2材料可选用不锈钢，形状与载片台1一致，如图2所示，盖板2厚度一般为2mm。装配：将待镀膜的片子放在载片台1的放片槽101内，片子会略高于放片槽101的边缘，然后盖上盖板2，用螺栓锁紧，此时片子与盖板2贴合紧密，镀膜过程堆积在片子上的热量会通过盖板2快速地散发出去，实现散热。本技术结构简单，加工成本低，实用性高，可靠性强，操作简单方便，可辅助金属镀膜时片子表面的散热，解决镀膜过程中因散热不良导致的皱胶裂胶问题，良品率提高，适合推广。上述实施例仅例示性说明本技术的原理及其功效，而非用于限制本技术。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本技术的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本技术所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本技术的权利要求所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：包括可放置在镀膜机内的载片台，所述载片台上设置有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置所述片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述片子的厚度设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：包括可放置在镀膜机内的载片台，所述载片台上设置有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置所述片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述片子的厚度设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。


2.根据权利要求1所述的一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：所述盖板的形状与所述载片台的形状彼此对应设置。


3.根据权利要求2所述的一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：所述放片槽的外侧设置有若干...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，张永，单智发，
申请(专利权)人：苏州全磊光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32