真空系统中的动态离子束分布测量系统及测量方法技术方案

本申请提供一种真空系统中的动态离子束分布测量系统及测量方法，动态离子束分布测量系统包括：若干法拉第式离子接收器，安装在任意法拉第筒内；信号采集装置安装在伞片的背侧，接收法拉第式离子接收器实时采集的采样信号；信号透传装置包括信号收发模块和信号接口模块，信号收发模块与信号接口模块穿透真空腔体保持通信连接，信号接口模块供外部主机进行通信连接，信号收发模块与信号采集装置保持无线通信连接，接收信号采集装置通过无线通信发送的采样信号，并传输给信号接口模块，信号接口模块将采样信号转发给外部主机，实现实时动态离子束分布测量。通过巧妙的无线通信传输方案，克服真空避障，能够实时实现真空系统中离子束分布的动态测量。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及射频离子束测量，具体而言，涉及一种真空系统中的动态离子束分布测量系统及测量方法。

技术介绍

1、目前，真空系统中的射频离子束测量，主要通过有线连接进行，这些连接线通过真空法兰连接到真空室外。然而，这种有线连接的方式存在明显的局限性，由于连接线的存在，当需要动态实时测量射频离子束时，连接线就成了限制因素，导致测量无法进行，因此无法实现动态测量。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种真空系统中的动态离子束分布测量系统及测量方法，以通过巧妙的无线通信传输方案，克服真空避障，能够实时实现真空系统中离子束分布的动态测量。

2、为了实现上述目的，本申请的实施例通过如下方式实现：

3、第一方面，本申请实施例提供一种真空系统中的动态离子束分布测量系统，真空系统包括真空腔体，离子发生装置的发射端贯穿且密封设置于真空腔体内的第一侧壁上，真空腔体内的第二侧壁上设有旋转轴，伞片背侧与旋转轴传动连接，伞片正面朝向离子发生装置的发射端，伞片背侧布设多个法拉第筒，动态离子束分布测量系统包括：若本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，真空系统包括真空腔体，离子发生装置的发射端贯穿且密封设置于真空腔体内的第一侧壁上，真空腔体内的第二侧壁上设有旋转轴，伞片背侧与旋转轴传动连接，伞片正面朝向离子发生装置的发射端，伞片背侧布设多个法拉第筒，动态离子束分布测量系统包括：

2.根据权利要求1所述的真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，信号采集装置包括采集装置壳体、安装脚、集成电路板，

3.根据权利要求2所述的真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，采集装置壳体为环状，环内空心部分大于伞片背侧与旋转轴连接的部分。</p>

4.根据...

【技术特征摘要】

1.一种真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，真空系统包括真空腔体，离子发生装置的发射端贯穿且密封设置于真空腔体内的第一侧壁上，真空腔体内的第二侧壁上设有旋转轴，伞片背侧与旋转轴传动连接，伞片正面朝向离子发生装置的发射端，伞片背侧布设多个法拉第筒，动态离子束分布测量系统包括：

2.根据权利要求1所述的真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，信号采集装置包括采集装置壳体、安装脚、集成电路板，

3.根据权利要求2所述的真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，采集装置壳体为环状，环内空心部分大于伞片背侧与旋转轴连接的部分。

4.根据权利要求3所述的真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，安装脚分布在采集装置壳体底面四周，且每个安装脚具有与伞片背侧匹配的弧度，安装脚内设有安装槽，用于将安装脚固定安装在伞片背侧，以固定信号采集装置。

5.根据权利要求3所述的真空系统中的动态离子束分布测量系统，其特征在于，集成电路板上还集成有定位信号发送模块，信号收发模块包括无线信号收发单元和定位信号接收单元，定位信号发送模块向外发射定位信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明，陈子璨，
申请(专利权)人：常州鑫立离子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：