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本申请提供一种真空系统中的动态离子束分布测量系统及测量方法，动态离子束分布测量系统包括：若干法拉第式离子接收器，安装在任意法拉第筒内；信号采集装置安装在伞片的背侧，接收法拉第式离子接收器实时采集的采样信号；信号透传装置包括信号收发模块和信号...
该专利属于常州鑫立离子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州鑫立离子技术有限公司授权不得商用。

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