一种适用于PECVD设备的桨杆装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于PECVD设备的桨杆装置，包括：桨杆组件；以及固接于所述桨杆组件末端的承重杆夹紧组件；其中，所述承重杆夹紧组件末端固接有高度调节组件，所述高度调节组件可对所述承重杆夹紧组件末端高度微调。本实用新型专利技术具有采用增大接触面积及夹持组件之间材料硬度差异化的办法即增大了摩擦因数，适当减小装夹力，既能满足装夹要求，又可避免被夹持零件的损伤，调节组件即可微调推舟前端高度又可抑制推舟搬运石墨舟时产生的倾覆的有益效果。

A kind of paddle device suitable for PECVD equipment

【技术实现步骤摘要】
一种适用于PECVD设备的桨杆装置
本技术涉及管式PECVD石墨舟推舟领域。更具体地说，本技术涉及一种适用于PECVD设备的桨杆装置。
技术介绍
太阳能电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一种，PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物，其沉积温度低是其最突出的优点。PECVD的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性。随着PECVD设备的产能要求越来越高，由最初的单管240片发展到现在的432片，石墨舟的尺寸变的越来越大，PECVD设备也由当初的两管发展到现在的五管，单台设备中石墨舟使用频率也在增高，桨杆装置在取放石墨舟的过程中桨杆频繁受到石墨舟的重载冲击，导致桨杆紧固位置容易损坏并且出现紧固松动现象。以往的桨杆装置相对于水平面的角度固定后不可调节，各固定零件无法保证绝对的水平精度，并且桨杆装置在使用一段时间后会产生一定的形变，石墨舟在桨杆装置上放置时容易向较低一侧倾覆。桨杆因其材质较脆在推舟机构属于易损件，以往设计中桨杆为一段式设计，当桨杆损坏时需将整个桨杆更换，设备保养成本偏高。有鉴于此，实有必要开发一种适用于PECVD设备的桨杆装置，用以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本技术的目的是提供一种适用于PECVD设备的桨杆装置，其采用增大接触面积及夹持组件之间材料硬度差异化的办法即增大了摩擦因数，适当减小装夹力，既能满足装夹要求，又可避免被夹持零件的损伤，调节组件即可微调推舟前端高度又可抑制推舟搬运石墨舟时产生的倾覆。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种适用于PECVD设备的桨杆装置，包括：桨杆组件；以及固接于所述桨杆组件末端的承重杆夹紧组件；其中，所述承重杆夹紧组件末端固接有高度调节组件，所述高度调节组件可对所述承重杆夹紧组件末端高度微调。优选的是，所述桨杆组件包括：至少一个的桨杆，且两所述桨杆相互平行设置；固接于两所述桨杆前端的连接板；固接于两所述桨杆之间且位于所述桨杆中部的第一保持板；以及固接于两所述桨杆之间且位于所述桨杆末端的第二保持板。优选的是，两所述桨杆的末端还设有石墨舟导向板。优选的是，所述承重杆夹紧组件包括：承重杆；以及与所述承重杆相固接的至少一组的夹紧组件。优选的是，所述夹紧组件包括：上夹紧块；与所述上夹紧块相匹配的下夹紧块；以及设于所述上夹紧块及所述下夹紧块之间的上嵌块和下嵌块；其中，所述上夹紧块及所述下夹紧块之间预留间隙，所述上嵌块和所述下嵌块预留间隙。优选的是；所述承重杆通过连接卡箍和所述桨杆相固接。优选的是，所述高度调节组件包括：基准板；设于所述基准板末端的至少一根的调节螺栓；以及设于所述基准板末端的至少一根的限位螺栓。优选的是，所述调节螺栓上下端部分别与基准板及上夹紧块螺接，所述限位螺栓的底端与上夹紧块螺接，顶端与基准板接触连接。本技术至少包括以下有益效果：本技术提供了一种适用于PECVD设备的桨杆装置，其采用增大接触面积及夹持组件之间材料硬度差异化的办法即增大了摩擦因数，适当减小装夹力，既能满足装夹要求，又可避免被夹持零件的损伤，调节组件即可微调推舟前端高度又可抑制推舟搬运石墨舟时产生的倾覆。本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1为本技术的一实施例的结构示意图；图2为本技术的一实施例另一视角的结构示意图；图3为本技术的一实施例中承重杆夹紧组件及高度调节组件的结构示意图；图4为本技术的一实施例中承重杆夹紧组件及高度调节组件另一视角的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，本技术的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词为基于附图所示的方位或位置关系。特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接的关系，除非以其他方式明确地说明。作为本技术一实施例，参考图1～4，本技术提供了一种适用于PECVD设备的桨杆装置，其包括：桨杆组件111；以及固接于所述桨杆组件111末端的承重杆夹紧组件112；其中，所述承重杆夹紧组件112末端固接有高度调节组件113，所述高度调节组件113可对所述承重杆夹紧组件112末端高度微调。进一步，参考图1及图2，所述桨杆组件111包括：至少一个的桨杆1111，且两所述桨杆1111相互平行设置；固接于两所述桨杆1111前端的连接板1112，所述连接板1112可保持两所述桨杆1111前端间距不变；固接于两所述桨杆1111之间且位于所述桨杆1111中部的第一保持板1113，所述第一保持板1113可保持两所述桨杆1111中间部分间距不变；以及固接于两所述桨杆1111之间且位于所述桨杆1111末端的第二保持板1114，所述第二保持板1114可保持两所述桨杆1111末端间距不变。两所述桨杆1111的末端还设有石墨舟导向板1115。所述桨杆组件111可根据石墨舟支撑脚宽度设置两桨杆1111之间的间距，并通过连接板1112、第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，包括：桨杆组件(111)；以及/n固接于所述桨杆组件(111)末端的承重杆夹紧组件(112)；/n其中，所述承重杆夹紧组件(112)末端固接有高度调节组件(113)，所述高度调节组件(113)可对所述承重杆夹紧组件(112)末端高度微调。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，包括：桨杆组件(111)；以及
固接于所述桨杆组件(111)末端的承重杆夹紧组件(112)；
其中，所述承重杆夹紧组件(112)末端固接有高度调节组件(113)，所述高度调节组件(113)可对所述承重杆夹紧组件(112)末端高度微调。


2.如权利要求1所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，所述桨杆组件(111)包括：至少一个的桨杆(1111)，且两所述桨杆(1111)相互平行设置；
固接于两所述桨杆(1111)前端的连接板(1112)；
固接于两所述桨杆(1111)之间且位于所述桨杆(1111)中部的第一保持板(1113)；以及
固接于两所述桨杆(1111)之间且位于所述桨杆(1111)末端的第二保持板(1114)。


3.如权利要求2所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，两所述桨杆(1111)的末端还设有石墨舟导向板(1115)。


4.如权利要求1所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，所述承重杆夹紧组件(112)包括：承重杆(1121)；以及与所述承重杆相固接的至少一组的夹紧组件(1122)。


5.如权利要求4所述的适用于P...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉明，刘景博，陈晖，张庶，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32