一种半导体生产装置的稳固机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体生产装置的稳固机构包括安装板，所述安装板的顶部设置有检测装置本体，所述检测装置本体的底部与安装板的顶部接触，所述检测装置本体两侧的底部均固定连接有两个套筒，所述套筒内壁的顶部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的底部固定连接有竖杆。本实用新型专利技术通过设置安装板、检测装置本体、套筒、第一弹簧、竖杆、横块、竖块、卡块、第二弹簧、推块、横板、第三弹簧和固定块的配合使用，解决了现有的检测装置在固定的过程中，无法对检测装置的位置进行固定，容易导致检测装置晃动的问题，该半导体生产装置的稳固机构，具备稳固性好的优点，提高了检测装置的实用性。

A stable mechanism of semiconductor production device

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产装置的稳固机构
本技术涉及半导体生产
，具体为一种半导体生产装置的稳固机构。
技术介绍
半导体材料很多，按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类，锗和硅是最常用的元素半导体；化合物半导体包括第Ⅲ和第Ⅴ族化合物(砷化镓、磷化镓等)、第Ⅱ和第Ⅵ族化合物(硫化镉、硫化锌等)、氧化物(锰、铬、铁、铜的氧化物)，以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体(镓铝砷、镓砷磷等)，除上述晶态半导体外，还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。在半导体生产的过程中，需要用到检测装置对半导体进行检测，但是现有的检测装置在固定的过程中，无法对检测装置的位置进行固定，容易导致检测装置晃动，降低了检测装置的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体生产装置的稳固机构，具备稳固性好的优点，解决了现有的检测装置在固定的过程中，无法对检测装置的位置进行固定，容易导致检测装置晃动的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产装置的稳固机构，包括安装板，所述安装板的顶部设置有检测装置本体，所述检测装置本体的底部与安装板的顶部接触，所述检测装置本体两侧的底部均固定连接有两个套筒，所述套筒内壁的顶部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的底部固定连接有竖杆，所述竖杆的底部延伸至套筒的内部固定连接有横块，所述安装板顶部两侧的前侧和后侧均开设有第一凹槽，第一凹槽的内部通过转轴活动连接有竖块，所述竖块的顶部贯穿至横块的顶部，所述横块内部靠近检测装置本体的一侧开设有第一放置槽，第一放置槽的内部设置有卡块，所述卡块的顶部和底部均与第一放置槽的内壁滑动连接，所述卡块的外侧贯穿至竖块的内部，所述卡块的内侧固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的内侧与第一放置槽的内壁固定连接，所述卡块的正面和背面均固定连接有推块，所述横块的正面和背面均贯穿至横块的外侧，所述套筒内侧的底部固定连接有横板，所述横板的内侧与检测装置本体的外侧固定连接，所述横板的内部开设有第二放置槽，第二放置槽内壁远离套筒的一侧固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧的外侧固定连接有固定块，所述固定块的外侧贯穿至竖杆的内部，所述固定块的顶部贯穿至横板的顶部。优选的，所述横块的底部固定连接有防滑垫，所述防滑垫的底部与安装板的顶部接触，所述横块的顶部和防滑垫的底部均开设有与竖块配合使用的竖孔。优选的，所述竖块的内侧开设有与卡块配合使用的卡槽，所述横块的正面和背面均开设有与推块配合使用的通孔。优选的，所述竖杆的正面开设有与固定块配合使用的固定孔，所述套筒的内壁开设有与固定块配合使用的固定槽。优选的，所述横板的顶部开设有与固定块配合使用的活动孔，所述固定块的形状为L字型，第一凹槽内壁的底部固定连接有定位块，所述竖块的背面开设有与定位块配合使用的定位槽。优选的，所述竖杆的两侧均固定连接有滑块，所述套筒的内壁开设有与滑块配合使用的滑槽。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过设置安装板、检测装置本体、套筒、第一弹簧、竖杆、横块、竖块、卡块、第二弹簧、推块、横板、第三弹簧和固定块的配合使用，解决了现有的检测装置在固定的过程中，无法对检测装置的位置进行固定，容易导致检测装置晃动的问题，该半导体生产装置的稳固机构，具备稳固性好的优点，提高了检测装置的实用性。2、本技术通过防滑垫的设置，能够防止横块出现打滑的现象，通过竖块和竖孔的配合使用，能够对横块的位置起到了限位的作用，通过卡块和卡槽的配合使用，能够对横块的位置起到了限位的作用，通过通孔的设置，能够减少固定块和横板的摩擦，延长了固定块的使用寿命，通过固定孔和固定槽的设置，能够防止竖杆在不需要移动时移动，同时对竖杆的位置起到了限位的作用，通过活动孔的设置，能够减少固定块和横板的摩擦，延长了固定块的使用寿命，通过定位块和定位槽的配合使用，能够对竖块起到了定位的作用，通过滑块和滑槽的配合使用，能够减少竖杆和套筒的摩擦，延长了竖杆的使用寿命，同时对竖杆起到了限位的作用。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术图1中A的结构放大图；图3为本技术图1中套筒结构右视剖面图；图4为本技术图1中竖块结构左视图。图中：1安装板、2检测装置本体、3套筒、4第一弹簧、5竖杆、6横块、7竖块、8卡块、9第二弹簧、10推块、11横板、12第三弹簧、13固定块、14防滑垫、15定位块、16滑块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，一种半导体生产装置的稳固机构，包括安装板1，检测装置本体2为市面上常见的检测装置，安装板1的顶部设置有检测装置本体2，检测装置本体2的底部与安装板1的顶部接触，检测装置本体2两侧的底部均固定连接有两个套筒3，套筒3内壁的顶部固定连接有第一弹簧4，第一弹簧4的底部固定连接有竖杆5，竖杆5的两侧均固定连接有滑块16，套筒3的内壁开设有与滑块16配合使用的滑槽，通过滑块16和滑槽的配合使用，能够减少竖杆5和套筒3的摩擦，延长了竖杆5的使用寿命，同时对竖杆5起到了限位的作用，竖杆5的底部延伸至套筒3的内部固定连接有横块6，安装板1顶部两侧的前侧和后侧均开设有第一凹槽，第一凹槽的内部通过转轴活动连接有竖块7，竖块7的顶部贯穿至横块6的顶部，横块6的底部固定连接有防滑垫14，防滑垫14的底部与安装板1的顶部接触，横块6的顶部和防滑垫14的底部均开设有与竖块7配合使用的竖孔，通过防滑垫14的设置，能够防止横块6出现打滑的现象，通过竖块7和竖孔的配合使用，能够对横块6的位置起到了限位的作用，横块6内部靠近检测装置本体2的一侧开设有第一放置槽，第一放置槽的内部设置有卡块8，卡块8的顶部和底部均与第一放置槽的内壁滑动连接，卡块8的外侧贯穿至竖块7的内部，卡块8的内侧固定连接有第二弹簧9，第二弹簧9的内侧与第一放置槽的内壁固定连接，卡块8的正面和背面均固定连接有推块10，横块6的正面和背面均贯穿至横块6的外侧，竖块7的内侧开设有与卡块8配合使用的卡槽，横块6的正面和背面均开设有与推块10配合使用的通孔，通过卡块8和卡槽的配合使用，能够对横块6的位置起到了限位的作用，通过通孔的设置，能够减少固定块13和横板11的摩擦，延长了固定块13的使用寿命，套筒3内侧的底部固定连接有横板11，横板11的内侧与检测装置本体2的外侧固定连接，横板11的内部开设有第二放置槽，第二放置槽内壁远离套筒3的一侧固定连接有第三弹簧12，第三弹簧12的外侧固定连接有固定块13，固定块13的外侧贯穿至竖杆5的内部，竖杆5的正面开设有与固定块13配合使用的固定孔，套筒3的内壁开设有与固定块13配合使用的固定槽，通过固定孔和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产装置的稳固机构，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部设置有检测装置本体(2)，所述检测装置本体(2)的底部与安装板(1)的顶部接触，所述检测装置本体(2)两侧的底部均固定连接有两个套筒(3)，所述套筒(3)内壁的顶部固定连接有第一弹簧(4)，所述第一弹簧(4)的底部固定连接有竖杆(5)，所述竖杆(5)的底部延伸至套筒(3)的内部固定连接有横块(6)，所述安装板(1)顶部两侧的前侧和后侧均开设有第一凹槽，第一凹槽的内部通过转轴活动连接有竖块(7)，所述竖块(7)的顶部贯穿至横块(6)的顶部，所述横块(6)内部靠近检测装置本体(2)的一侧开设有第一放置槽，第一放置槽的内部设置有卡块(8)，所述卡块(8)的顶部和底部均与第一放置槽的内壁滑动连接，所述卡块(8)的外侧贯穿至竖块(7)的内部，所述卡块(8)的内侧固定连接有第二弹簧(9)，所述第二弹簧(9)的内侧与第一放置槽的内壁固定连接，所述卡块(8)的正面和背面均固定连接有推块(10)，所述横块(6)的正面和背面均贯穿至横块(6)的外侧，所述套筒(3)内侧的底部固定连接有横板(11)，所述横板(11)的内侧与检测装置本体(2)的外侧固定连接，所述横板(11)的内部开设有第二放置槽，第二放置槽内壁远离套筒(3)的一侧固定连接有第三弹簧(12)，所述第三弹簧(12)的外侧固定连接有固定块(13)，所述固定块(13)的外侧贯穿至竖杆(5)的内部，所述固定块(13)的顶部贯穿至横板(11)的顶部。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产装置的稳固机构，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部设置有检测装置本体(2)，所述检测装置本体(2)的底部与安装板(1)的顶部接触，所述检测装置本体(2)两侧的底部均固定连接有两个套筒(3)，所述套筒(3)内壁的顶部固定连接有第一弹簧(4)，所述第一弹簧(4)的底部固定连接有竖杆(5)，所述竖杆(5)的底部延伸至套筒(3)的内部固定连接有横块(6)，所述安装板(1)顶部两侧的前侧和后侧均开设有第一凹槽，第一凹槽的内部通过转轴活动连接有竖块(7)，所述竖块(7)的顶部贯穿至横块(6)的顶部，所述横块(6)内部靠近检测装置本体(2)的一侧开设有第一放置槽，第一放置槽的内部设置有卡块(8)，所述卡块(8)的顶部和底部均与第一放置槽的内壁滑动连接，所述卡块(8)的外侧贯穿至竖块(7)的内部，所述卡块(8)的内侧固定连接有第二弹簧(9)，所述第二弹簧(9)的内侧与第一放置槽的内壁固定连接，所述卡块(8)的正面和背面均固定连接有推块(10)，所述横块(6)的正面和背面均贯穿至横块(6)的外侧，所述套筒(3)内侧的底部固定连接有横板(11)，所述横板(11)的内侧与检测装置本体(2)的外侧固定连接，所述横板(11)的内部开设有第二放置槽，第二放置槽内壁远离套筒(3)的一侧固定连接有第三弹簧(12)，所述第三弹簧(12)的外侧固定连接有固定块(13)，所述固定块(13)的外侧贯穿至竖杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，林旭斌，金修领，吉双平，郝小峰，刘彤辉，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32