成膜装置、制造系统、有机EL面板的制造系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供即使成膜室发生变形或在成膜室的内外产生振动，对准机构的动作也难以受到影响，而且轻量的成膜装置的成膜装置、制造系统、有机EL面板的制造系统。成膜装置(100)具备：真空腔室；对准驱动部(15)，配置于真空腔室的外部，对配置于真空腔室之中的掩模与基板的相对位置进行调整；以及框体，经由配置在真空腔室的侧壁(1S)之上的腿部(22)固定在真空腔室之上，框体具有与真空腔室的侧壁平行的多个梁(23、24、25)，在固定于多个梁且与真空腔室的顶板隔开间隔地被支承的支承板(21)上，固定有对准驱动部(15)。

Film forming device, manufacturing system, manufacturing system of organic EL panel

【技术实现步骤摘要】
成膜装置、制造系统、有机EL面板的制造系统
本专利技术涉及成膜装置、制造系统、有机EL面板的制造系统。特别是涉及具备真空腔室和基板与掩模的对准机构的成膜装置。
技术介绍
近年来，在自发光型中，视角、对比度、响应速度优异的有机EL元件被广泛地应用于以壁挂式电视机为代表的各种显示装置。有机EL元件的制造大多通过如下方法进行：将基板搬入被减压了的腔室内，将基板与掩模高精度地位置对合(对准)，隔着掩模在基板上形成规定图案的有机膜。图9是表示以往的成膜所使用的成膜装置的结构的示意性的剖视图。作为能够减压的气密容器的成膜室由外壁110和与外壁的一部分110a接合的顶板110b构成，在成膜室内配置有基板111、成膜用掩模113、有机材料的蒸镀源116。基板111被基板支承体112从两侧(或4边)支承，成膜用掩模113被掩模支承体114从两侧(或4边)支承。基板支承体112及掩模支承体114的各轴经由未图示的金属波纹管在确保气密性的状态下能够上下移动地与大气侧连通。在顶板110b上的大气侧设置有对准机构115和对准照相机132。对准照相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，其特征在于，/n该成膜装置具备：/n真空腔室；/n对准驱动部，配置于所述真空腔室的外部，对配置于所述真空腔室之中的掩模与基板的相对位置进行调整；以及/n框体，经由配置在所述真空腔室的侧壁之上的腿部固定在所述真空腔室之上，/n所述框体具有与所述真空腔室的侧壁平行的多个梁，/n在固定于所述多个梁且与所述真空腔室的顶板隔开间隔地被支承的支承板上，固定有所述对准驱动部。/n

【技术特征摘要】
20181107 JP 2018-2100471.一种成膜装置，其特征在于，
该成膜装置具备：
真空腔室；
对准驱动部，配置于所述真空腔室的外部，对配置于所述真空腔室之中的掩模与基板的相对位置进行调整；以及
框体，经由配置在所述真空腔室的侧壁之上的腿部固定在所述真空腔室之上，
所述框体具有与所述真空腔室的侧壁平行的多个梁，
在固定于所述多个梁且与所述真空腔室的顶板隔开间隔地被支承的支承板上，固定有所述对准驱动部。


2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述框体是连接与所述真空腔室的侧壁平行的多个梁而成的梯子形的框体。


3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，
所述框体所具有的多个梁是沿与长度方向正交的方向剖切而成的截面为H字形或I字形的梁。


4.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，
由所述对准驱动部、所述支承板和所述框体构成的组在所述真空腔室之上配置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：姫路俊明，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP