温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供即使成膜室发生变形或在成膜室的内外产生振动，对准机构的动作也难以受到影响，而且轻量的成膜装置的成膜装置、制造系统、有机EL面板的制造系统。成膜装置(100)具备：真空腔室；对准驱动部(15)，配置于真空腔室的外部，对配置于真空腔室...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。