复合基板以及使用其的弹性波元件制造技术

本公开的复合基板具备：由钽酸锂晶体构成且欧拉角为(0、α、γ)的第1基板10；以及由与所述第1基板10接合的硅单晶构成且欧拉角为(‑45、‑54.7、β)的第2基板20，α为‑40°～‑60°或120°～140°，γ为0°或180°，并且满足以下情况的任一者。(1)为β＝γ±20°以内以及其等效的取向，(2)γ+160°≤β≤γ+200°。

Composite substrate and elastic wave element using it

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】复合基板以及使用其的弹性波元件
本公开涉及复合基板以及使用其的弹性波元件。
技术介绍
以往，以改善电特性为目的，已知在将支承基板与压电基板贴合而成的复合基板上设置电极来制作弹性波元件。在此，弹性波元件例如被用作移动电话等通信设备中的带通滤波器。此外，在日本特开2006-319679号公报中，已知作为压电基板而使用铌酸锂、钽酸锂(以下，有时称为LT。)、作为支承基板而使用硅(Si)、石英、陶瓷等的复合基板。
技术实现思路
然而，近年来，在移动体通信中使用的便携终端装置要求小型化、轻量化，并且要求实现高通话品质。因此，需要具备更高电特性的弹性波元件。例如，为了降低输入输出信号向相邻信道的泄漏，要求通带外的特定频带中的衰减特性优异的弹性波元件。本公开是鉴于这样的课题而完成的，提供一种用于提供电特性优异的弹性波元件的复合基板以及使用该复合基板的弹性波元件。本公开的复合基板具备由钽酸锂(LT)基板构成的第1基板、和与所述第1基板接合的由硅单晶构成的第2基板。第1基板的欧拉角为(0°、α、γ)。第2基板的欧拉角为(-45本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合基板，其中具备：/n第1基板，由钽酸锂晶体构成且欧拉角为(0、α、γ)；以及/n第2基板，由与所述第1基板接合的硅单晶构成且欧拉角为(-45、-54.7、β)，α为-40°～-60°或120°～140°，γ为0°或180°，/n并且满足以下情况的任一者：/n(1)为β＝γ±20°以内以及其等效的取向/n(2)为γ+160°≤β≤γ+200°以内以及其等效的取向。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171024 JP 2017-2052121.一种复合基板，其中具备：
第1基板，由钽酸锂晶体构成且欧拉角为(0、α、γ)；以及
第2基板，由与所述第1基板接合的硅单晶构成且欧拉角为(-45、-54.7、β)，α为-40°～-60°或120°～140°，γ为0°或180°，
并且满足以下情况的任一者：
(1)为β＝γ±20°以内以及其等效的取向
(2)为γ+160°≤β≤γ+200°以内以及其等效的取向。


2.一种复合基板，其中，具备：
第1基板，由钽酸锂晶体构成且欧拉角为(0、α、γ)；以及
第2基板，由与所述第1基板接合的硅单晶构成且欧拉角为(-45、-54.7、β)，α为-40°～-60°或120°～140°，γ为0°或180°，
并且满足以下情况的任一者：
(1)为β＝0°±20°以内以及其等效的取向
(2)为β＝60°±20°以内以及其等效的取向。


3.根据权利要求1或2所述的复合基板，其中，
所述第1基板比所述第2基板薄。


4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤干，岸野哲也，野添惣一朗，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP