下载复合基板以及使用其的弹性波元件的技术资料

文档序号:24134107

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本公开的复合基板具备:由钽酸锂晶体构成且欧拉角为(0、α、γ)的第1基板10;以及由与所述第1基板10接合的硅单晶构成且欧拉角为(‑45、‑54.7、β)的第2基板20,α为‑40°~‑60°或120°~140°,γ为0°或180°,并且满...
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