弹性波装置制造方法及图纸

在抑制频率特性的下降的同时进一步提高耐电力性。第1IDT电极(7A)以及第2IDT电极(7B)通过相互共有的公共汇流条(70)而相互串联连接。关于第1声阻抗层(4A)以及第2声阻抗层(4B)各自，至少一个高声阻抗层(41)以及至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层。第1声阻抗层(4A)中的导电层的至少一部分和第2声阻抗层(4B)中的导电层的至少一部分在从压电体层(5)的厚度方向的俯视下不与公共汇流条(70)重复。第1声阻抗层(4A)中的导电层和第2声阻抗层(4B)中的导电层被电绝缘。

Elastic wave device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术普遍涉及弹性波装置，更详细地，涉及具备压电体层的弹性波装置。
技术介绍
以往，作为弹性波装置，已知有使用了板波的弹性波装置(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波装置具备：支承基板、声反射层(声阻抗层)、压电体层、和IDT(InterdigitalTransducer，叉指换能器)电极。在专利文献1记载的弹性波装置的声反射层具有：低声阻抗层、和声阻抗比低声阻抗层高的高声阻抗层。在专利文献1记载了如下的主旨，即，为了在声反射层中使弹性波高效地反射，希望高声阻抗层的声阻抗与低声阻抗层的声阻抗之比即声阻抗比大。此外，在专利文献1，作为声阻抗比最大的材料的组合，公开了W(钨)和SiO2(氧化硅)的组合。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2012/086441号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在具备IDT电极的弹性波装置的领域中，希望在维持良好的频率特性的同时进一步提高耐电力性。本专利技术的目的在于，提供一种能够在抑制频率特性的下降的同时进一步提高耐电力性的弹性波装置。用于解决课题的手段本专利技术的一个方式涉及的弹性波装置具备：基板、第1声阻抗层以及第2声阻抗层、压电体层、第1IDT电极、和第2IDT电极。所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层形成在所述基板上。所述压电体层形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上。所述第1IDT电极形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，一部分与所述第1声阻抗层重复。所述第2IDT电极形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，一部分与所述第2声阻抗层重复。所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极通过相互共有的公共汇流条而相互串联连接。所述第1IDT电极包含：相互对置的第1汇流条以及所述公共汇流条、与所述第1汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指、和与所述公共汇流条连接且朝向所述第1汇流条延伸的多个电极指。所述第2IDT电极包含：相互对置的所述公共汇流条以及第2汇流条、与所述公共汇流条连接且朝向所述第2汇流条延伸的多个电极指、和与所述第2汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指。所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：至少一个高声阻抗层、和声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低的至少一个低声阻抗层。关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述至少一个高声阻抗层以及所述至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层。所述第1声阻抗层中的所述导电层的至少一部分和所述第2声阻抗层中的所述导电层的至少一部分在从所述厚度方向的俯视下不与所述公共汇流条重复。所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。专利技术效果在本专利技术的一个方式涉及的弹性波装置中，能够在抑制频率特性的下降的同时进一步提高耐电力性。附图说明图1是本专利技术的一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2涉及同上的弹性波装置，是图1的A-A线剖视图。图3是比较例1涉及的弹性波装置的俯视图。图4涉及同上的弹性波装置，是图3的A-A线剖视图。图5是本专利技术的一实施方式涉及的弹性波装置以及比较例1涉及的弹性波装置各自的阻抗的频率特性图。图6是本专利技术的一实施方式的变形例1涉及的弹性波装置的俯视图。图7是同上的弹性波装置的等效电路图。图8是本专利技术的一实施方式的变形例2涉及的弹性波装置的俯视图。图9涉及同上的弹性波装置，是图8的A-A线剖视图。图10是比较例2涉及的弹性波装置的俯视图。图11涉及同上的弹性波装置，是图10的A-A线剖视图。图12是本专利技术的一实施方式的变形例2涉及的弹性波装置以及比较例2涉及的弹性波装置各自的阻抗的频率特性图。图13是本专利技术的一实施方式的变形例3涉及的弹性波装置的一部分切除后的俯视图。图14是本专利技术的一实施方式的变形例4涉及的弹性波装置的一部分切除后的俯视图。图15是本专利技术的一实施方式的变形例5涉及的弹性波装置的剖视图。图16是本专利技术的一实施方式的变形例6涉及的弹性波装置的一部分切除后的俯视图。图17是本专利技术的一实施方式的变形例7涉及的弹性波装置的一部分切除后的俯视图。图18是本专利技术的一实施方式的变形例8涉及的弹性波装置的一部分切除后的俯视图。图19是本专利技术的一实施方式的变形例9涉及的弹性波装置的一部分切除后的俯视图。图20是本专利技术的一实施方式的变形例10涉及的弹性波装置的剖视图。图21是本专利技术的一实施方式的变形例11涉及的弹性波装置的一部分切除后的剖视图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式涉及的弹性波装置进行说明。在以下的实施方式等中参照的图1～4、6～11、13～21均为示意性的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比不一定反映了实际的尺寸比。(实施方式)(1)弹性波装置的整体结构以下，参照附图对实施方式涉及的弹性波装置1进行说明。实施方式涉及的弹性波装置1是利用板波的弹性波装置。如图1以及2所示，弹性波装置1具备：基板2、第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B、压电体层5、和第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B。第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B形成在基板2上。压电体层5形成在第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B上。第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B形成在压电体层5上。即，在弹性波装置1中，包含第1IDT电极7A和第2IDT电极7B的功能电极6形成在压电体层5上。第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B通过相互共有的公共汇流条70而相互串联连接。第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B在与基板2的厚度方向D1(以下，也称为第1方向D1)正交的第2方向D2上排列。以下，将与第1方向D1和第2方向D2正交的方向称为第3方向D3。第3方向D3是沿着弹性波(在本实施方式中为板波)的传播方向的方向。此外，弹性波装置1还具备：在第3方向D3上在第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B各自的一侧各配置有一个的两个反射器9、和在另一侧各配置有一个的两个反射器10。在图1中，对第1IDT电极7A、第2IDT电极7B、各反射器9以及各反射器10标注有点的影线，但这些影线并不表示剖面，只不过为了使第1IDT电极7A、第2IDT电极7B、各反射器9以及各反射器10与第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B的关系容易理解而标注。(2)弹性波装置的各构成要素其次，参照附图对弹性波装置1的各构成要素进行说明。(2.1)基板如图2所示，基板2对包含第1声阻抗层4A、第2声阻抗层4B、压电体层5、第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B的层叠体进行支承。以下，将层叠体之中的包含第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B且介于基板2与压电体层5之间的层称为中间层3。基板2具有在其厚度方向D1上彼此本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：/n基板；/n第1声阻抗层以及第2声阻抗层，形成在所述基板上；/n压电体层，形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上；/n第1IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，一部分与所述第1声阻抗层重复；和/n第2IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，一部分与所述第2声阻抗层重复，/n所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极通过相互共有的公共汇流条而相互串联连接，/n所述第1IDT电极包含：/n相互对置的第1汇流条以及所述公共汇流条；/n与所述第1汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指；和/n与所述公共汇流条连接且朝向所述第1汇流条延伸的多个电极指，/n所述第2IDT电极包含：/n相互对置的所述公共汇流条以及第2汇流条；/n与所述公共汇流条连接且朝向所述第2汇流条延伸的多个电极指；和/n与所述第2汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指，/n所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：/n至少一个高声阻抗层；和/n至少一个低声阻抗层，声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低，/n关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述至少一个高声阻抗层以及所述至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层，/n所述第1声阻抗层中的所述导电层的至少一部分和所述第2声阻抗层中的所述导电层的至少一部分在从所述厚度方向的俯视下不与所述公共汇流条重复，/n所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170927 JP 2017-1867341.一种弹性波装置，具备：
基板；
第1声阻抗层以及第2声阻抗层，形成在所述基板上；
压电体层，形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上；
第1IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，一部分与所述第1声阻抗层重复；和
第2IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，一部分与所述第2声阻抗层重复，
所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极通过相互共有的公共汇流条而相互串联连接，
所述第1IDT电极包含：
相互对置的第1汇流条以及所述公共汇流条；
与所述第1汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指；和
与所述公共汇流条连接且朝向所述第1汇流条延伸的多个电极指，
所述第2IDT电极包含：
相互对置的所述公共汇流条以及第2汇流条；
与所述公共汇流条连接且朝向所述第2汇流条延伸的多个电极指；和
与所述第2汇流条连接且朝向所述公共汇流条延伸的多个电极指，
所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：
至少一个高声阻抗层；和
至少一个低声阻抗层，声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低，
关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述至少一个高声阻抗层以及所述至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层，
所述第1声阻抗层中的所述导电层的至少一部分和所述第2声阻抗层中的所述导电层的至少一部分在从所述厚度方向的俯视下不与所述公共汇流条重复，
所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。


2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述至少一个高声阻抗层包含多个高声阻抗层，
所述至少一个低声阻抗层包含多个低声阻抗层，
所述多个高声阻抗层和所述多个低声阻抗层在所述厚度方向上每隔一层交替地排列。


3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，
所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自中的所述多个高声阻抗层包含...

【专利技术属性】
技术研发人员：大村正志，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP