弹性波滤波器装置制造方法及图纸

抑制衰减量的下降。弹性波滤波器装置(1)具备基板、第1声阻抗层(4A)、第2声阻抗层(4B)、压电体层(5)、第1IDT电极(7A)、第2IDT电极(7B)、输入端子(15)、输出端子(16)、多个接地端子(17、18)、串联臂电路(12)及并联臂电路(13、14)。第1IDT电极(7A)在俯视下至少一部分与第1声阻抗层(4A)相重叠。第2IDT电极(7B)在俯视下至少一部分与第2声阻抗层(4B)相重叠。串联臂电路(12)设置在将输入端子(15)和输出端子(16)连结的第1路径上，具有第1IDT电极(7A)及第2IDT电极(7B)。第1声阻抗层(4A)中的导电层和第2声阻抗层(4B)中的导电层被电绝缘。

Elastic wave filter device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波滤波器装置
本专利技术一般涉及弹性波滤波器装置，更详细地，涉及具备压电体层的弹性波滤波器装置。
技术介绍
以往，作为用于谐振器、带通滤波器(弹性波滤波器装置)等的弹性波装置，已知一种利用了板波的弹性波装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的弹性波装置具备：支承基板、声反射层(声阻抗层)、压电体层、和IDT(InterdigitalTransducer，叉指换能器)电极。专利文献1所记载的弹性波装置的声反射层具有：低声阻抗层、和声阻抗比低声阻抗层高的高声阻抗层。在专利文献1记载了如下主旨，即，通过增大高声阻抗层的声阻抗和低声阻抗层的声阻抗之比即声阻抗比，从而能够有效地反射板波，能够得到良好的滤波器特性。此外，在专利文献1中，作为声阻抗比成为最大的材料的组合，公开了W(钨)和SiO2(氧化硅)的组合。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2012/086441号
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在具备声反射层(声阻抗层)的弹性波滤波器装置中，在作为声反射层的材料而采用了W等金属的情况下，存在通带外的衰减量会下降的问题。本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制衰减量的下降的弹性波滤波器装置。用于解决课题的手段本专利技术的一个方式涉及的弹性波滤波器装置具备：基板、第1声阻抗层以及第2声阻抗层、压电体层、第1IDT电极、第2IDT电极、输入端子、输出端子、接地端子、串联臂电路、和并联臂电路。第1声阻抗层以及第2声阻抗层形成在所述基板上。所述压电体层形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上。所述第1IDT电极形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第1声阻抗层相重叠。所述第2IDT电极形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第2声阻抗层相重叠。所述输入端子形成在所述压电体层上。所述输出端子形成在所述压电体层上。所述接地端子形成在所述压电体层上。所述串联臂电路设置在将所述输入端子和所述输出端子连结的第1路径上，具有所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极。所述并联臂电路设置在将所述第1路径上的节点和所述接地端子连结的第2路径上。所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：至少一个高声阻抗层、和声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低的至少一个低声阻抗层。关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述至少一个高声阻抗层以及所述至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层。所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。专利技术效果在本专利技术的一个方式涉及的弹性波滤波器装置中，能够抑制衰减量的下降。附图说明图1是本专利技术的实施方式1涉及的弹性波滤波器装置的俯视图。图2涉及与上述相同的弹性波滤波器装置，是图1的A-A线剖视图。图3的A是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第1IDT电极(或第2IDT电极)的俯视图。图3的B是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第3IDT电极的俯视图。图4是与上述相同的弹性波滤波器装置的电路图。图5是比较例的弹性波滤波器装置的主要部分剖视图。图6是本专利技术的实施方式2涉及的弹性波滤波器装置的部分破断的俯视图。图7涉及与上述相同的弹性波滤波器装置，是图6的X1-X1线剖视图。图8的A是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第1IDT电极(或第2IDT电极)以及各反射器的俯视图。图8的B是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第3IDT电极以及各反射器的俯视图。图9是与上述相同的弹性波滤波器装置的电路图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式涉及的弹性波滤波器装置进行说明。在以下的实施方式等中参照的图1、图2、图3的A、图3的B、图5、图6、图7、图8的A以及图8的B均为示意性的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比未必一定反映了实际的尺寸比。(实施方式1)(1)弹性波滤波器装置的整体结构以下，参照附图对实施方式涉及的弹性波滤波器装置1进行说明。实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1是梯型滤波器。如图1以及图4所示，弹性波滤波器装置1具备：输入端子15、输出端子16、多个(两个)接地端子17、18、串联臂电路12、和多个并联臂电路13、14。串联臂电路12设置在将输入端子15和输出端子16连结的第1路径上。两个并联臂电路13、14分别设置在将第1路径上的节点和两个接地端子17、18一对一连结的两个第2路径上。串联臂电路12具有多个(三个)串联臂谐振器S1。两个并联臂电路13、14各自具有并联臂谐振器P1。在弹性波滤波器装置1中，多个串联臂谐振器S1相互被串联连接。以下，为了说明的方便，也有时将三个串联臂谐振器S1按照靠近输入端子15的顺序称作串联臂谐振器S11、串联臂谐振器S12、串联臂谐振器S13。此外，将两个并联臂谐振器P1按照靠近输入端子15的顺序称作并联臂谐振器P11、并联臂谐振器P12。并联臂谐振器P11的一端连接于两个串联臂谐振器S11、S12的连接点(第1路径上的节点)。并联臂谐振器P11的另一端连接于接地端子17。并联臂谐振器P12的一端连接于两个串联臂谐振器S12、S13的连接点(第1路径上的节点)。并联臂谐振器P12的另一端连接于接地端子18。具体来说，如图1以及图2所示，弹性波滤波器装置1具备：基板2、第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B、压电体层5、输入端子15、输出端子16、多个(两个)接地端子17、18、第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B、和多个(两个)第3IDT电极8。第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B形成在基板2上。压电体层5形成在第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B上。输入端子15形成在压电体层5上。输出端子16形成在压电体层5上。多个接地端子17、18形成在压电体层5上。第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B形成在压电体层5上。第1IDT电极7A以及第2IDT电极7B是设置在将输入端子15和输出端子16连结的第1路径上的多个串联臂谐振器S1用的IDT电极。多个第3IDT电极8形成在压电体层5上。多个第3IDT电极8是分别设置于将第1路径上的节点和多个接地端子17、18连结的多个第2路径的多个并联臂谐振器P1用的IDT电极。(2)弹性波滤波器装置的各构成要素接着，参照附图对弹性波滤波器装置1的各构成要素进行说明。(2.1)基板如图2所示，基板2对包含第1声阻抗层4A、第2声阻抗层4B、压电体层5、第1IDT电极7A、第2IDT电极7B以及多个第3IDT电极8的层叠体进行支承。以下，将层叠体之中包含第1声阻抗层4A以及第2声阻抗层4B且介于基板2与压电体层5之间的层称为中间层3。基板2具有在其厚度方向D1上彼此处于相反侧的第1主面201以及第2主面202。第1主面201以及第2主面202相互背对。基板2的俯视形状(从厚度方向D1对基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波滤波器装置，具备：/n基板；/n第1声阻抗层以及第2声阻抗层，形成在所述基板上；/n压电体层，形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上；/n第1IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第1声阻抗层相重叠；/n第2IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第2声阻抗层相重叠；/n输入端子，形成在所述压电体层上；/n输出端子，形成在所述压电体层上；/n接地端子，形成在所述压电体层上；/n串联臂电路，设置在将所述输入端子和所述输出端子连结的第1路径上，具有所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极；和/n并联臂电路，设置在将所述第1路径上的节点和所述接地端子连结的第2路径上，/n所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：/n至少一个高声阻抗层；和/n至少一个低声阻抗层，声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低，/n关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述高声阻抗层以及所述低声阻抗层的至少一个为导电层，/n所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170927 JP 2017-1867351.一种弹性波滤波器装置，具备：
基板；
第1声阻抗层以及第2声阻抗层，形成在所述基板上；
压电体层，形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上；
第1IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第1声阻抗层相重叠；
第2IDT电极，形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第2声阻抗层相重叠；
输入端子，形成在所述压电体层上；
输出端子，形成在所述压电体层上；
接地端子，形成在所述压电体层上；
串联臂电路，设置在将所述输入端子和所述输出端子连结的第1路径上，具有所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极；和
并联臂电路，设置在将所述第1路径上的节点和所述接地端子连结的第2路径上，
所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：
至少一个高声阻抗层；和
至少一个低声阻抗层，声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低，
关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述高声阻抗层以及所述低声阻抗层的至少一个为导电层，
所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。


2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装置，其中，

【专利技术属性】
技术研发人员：大村正志，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP