一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与水洗箱的出口连接，碱洗进路与碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与水洗箱的进口连接，碱洗出路与碱洗箱的进口连接。该回收处理装置可以对外延生长设备用滤芯进行清洗和对滤芯上沉积的MO源进行回收处理，回收处理效率高，利于节能环保。

A Mo source recovery and treatment device for filter element of epitaxial growth equipment

【技术实现步骤摘要】
一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置
本技术涉及一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置。
技术介绍
目前，LED产业处于快速发展阶段，外延芯片需求量成倍数增长。外延工厂在利用MOCVD(金属有机物化学气相外延)法制备LED外延芯片时，会产生危害较大的尾气，这些尾气一般需要通过过滤器进行过滤处理。而过滤器内的滤芯上所沉积的黑色固体颗粒是由MO源转变而来。现有技术没有很好的处理方式对这些黑色固体颗粒进行回收处理，仅仅是作为废料处理掉。但随着LED的快速发展，此废料会越来越多，不仅不利于环保，而且会造成MO源的浪费。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，利用该回收处理装置可以对外延生长设备用滤芯进行清洗和对滤芯上沉积的MO源进行回收处理，回收处理效率高，利于节能环保。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与所述外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与所述水洗箱的出口连接，碱洗进路与所述碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与所述水洗箱的进口连接，碱洗出路与所述碱洗箱的进口连接，所述水洗进路上设有水洗进路阀，所述碱洗进路上设有碱洗进路阀，水洗出路上设有水洗出路阀，碱洗出路上设有碱洗出路阀。作为本技术上述技术方案的进一步改进，所述碱洗进路与所述清洗总进路之间还并联连接有清洗液回收进路，该清洗总进路与所述碱洗出路之间并联连接有清洗液回收出路。作为本技术上述技术方案的更进一步改进，所述清洗液回收进路上设有第一清洗液回收阀，所述清洗液回收出路上设有第二清洗液回收阀。作为本技术上述技术方案的更进一步改进，清洗总进路的与所述清洗液回收出路并联的部分处设有清洗控制阀。作为本技术上述技术方案的更进一步改进，所述水洗箱内设有水洗收集滤芯，碱洗箱内设有碱洗收集滤芯。作为本技术上述技术方案的更进一步改进，所述水洗箱的底部和碱洗箱的底部均设有收集桶。作为本技术上述技术方案的更进一步改进，所述清洗总进路通过一软管与所述外延生长设备过滤器连接。作为本技术上述技术方案的更进一步改进，所述水洗箱的出口处设有出口阀。本技术的有益效果是：该回收处理装置具有两个模块，一个是水洗循环模块，一个是碱洗循环模块；该回收处理装置通过不同的管路和阀门的配合实现水洗循环模块和碱洗循环模块的切换，从而实现水洗过程和碱洗过程。该回收处理装置先通过水洗循环模块使得外延生长设备过滤器的滤芯上的一部分沉积物质发生反应，以避免浓度太高的沉积物质在回收处理过程中产生的安全风险；然后，再通过碱洗循环模块对滤芯进行碱洗处理，以使沉积物质溶解；最后，水洗处理后的混合物质回到水洗箱内进行沉淀，碱洗处理后的混合物质回到碱洗箱内进行沉淀，实现对外延生长设备用滤芯的清洗处理和MO源回收。本技术不仅回收处理效率高，而且安全可靠，利于节能环保。附图说明图1为本技术用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图1所示，本技术实施例提供的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括电泵1、水洗箱2、碱洗箱3和外延生长设备过滤器4，水洗箱2内装有清水，碱洗箱3内装有碱液，该电泵1的进口与一分叉进路连接，电泵1的出口与一清洗总进路5连接，清洗总进路5通过一软管6与所述外延生长设备过滤器4连接，该外延生长设备过滤器4又通过一清洗总出路7与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路8和碱洗进路9；水洗进路8与所述水洗箱2的出口连接，水洗进路8上设有接近水洗箱2出口的出口阀16；碱洗进路9与所述碱洗箱3的出口连接；分叉出路包括水洗出路10和碱洗出路11，水洗出路10与所述水洗箱1的进口连接，碱洗出路11与所述碱洗箱3的进口连接；所述水洗进路8上设有水洗进路阀12，所述碱洗进路9上设有碱洗进路阀13，水洗出路10上设有水洗出路阀14，碱洗出路11上设有碱洗出路阀15。上述技术方案中，水洗箱2、出口阀16、水洗进路8、水洗进路阀12、电泵1、清洗总进路5、外延生长设备过滤器4、清洗总出路7、水洗出路阀14和水洗出路10之间构成水洗循环模块；碱洗箱3、碱洗进路阀13、碱洗进路9、电泵1、清洗总进路5、外延生长设备过滤器4、清洗总出路7、碱洗出路阀15和碱洗出路11之间构成碱洗循环模块。另外，该回收处理装置还包括清洗液回收模块；具体的，所述碱洗进路9与所述清洗总进路5之间还并联连接有清洗液回收进路20，该清洗总进路5与所述碱洗出路11之间并联连接有清洗液回收出路21；清洗液回收进路20上设有第一清洗液回收阀22，所述清洗液回收出路21上设有第二清洗液回收阀23；清洗总进路5的与所述清洗液回收出路21并联的部分处设有清洗控制阀24。为了实现对水洗过程中和碱洗过程中所产生的混合物质的快速沉淀收集，水洗箱2内设有水洗收集滤芯17，碱洗箱3内设有碱洗收集滤芯18。水洗箱2的底部和碱洗箱3的底部均设有收集桶19，以对沉淀的MO源物质进行回收。利用上述MO源回收处理装置进行回收处理的具体过程为：首先，利用水洗循环模块进行水洗，具体为，打开出口阀16、水洗进路阀12、清洗控制阀24和水洗出路阀14，关闭其他阀门；水洗箱2中的清水在电泵1的作用下，通过出口阀16进入水洗进路8，然后再通过水洗进路阀12进入清洗总进路5，然后，清水进入外延生长设备过滤器4中，对外延生长设备过滤器4的滤芯进行清洗，使一部分沉积物质进行反应处理，清洗处理后，带有混合物质的水进入清洗总出路7，然后通过水洗出路阀14进入水洗出路10中，最后回到水洗箱2中，按照上述过程进入下一个水洗过程；整个水洗过程循环1小时。然后，利用碱洗循环模块进行碱洗；具体为：打开碱洗进路阀13、清洗控制阀24和碱洗出路阀15，关闭其他阀门；碱洗箱3中的碱液在电泵1的作用下，通过碱洗进路阀13进入碱洗进路9，再进入清洗总进路5，然后，碱液进入外延生长设备过滤器4中，对外延生长设备过滤器4的滤芯进行碱洗，使沉积物质溶解，碱洗处理后，带有混合物质的碱液进入清洗总出路7，然后通过碱洗出路阀15进入碱洗出路11中，最后回到碱洗箱3中，按照上述过程进入下一个碱洗过程；整个碱洗过程循环10小时。经过水洗过程和碱洗过程后，外延生长设备过滤器4被清理完毕后，可以更换下一个需要清洗的外延生长设备过滤器；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与所述外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与所述水洗箱的出口连接，碱洗进路与所述碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与所述水洗箱的进口连接，碱洗出路与所述碱洗箱的进口连接，所述水洗进路上设有水洗进路阀，所述碱洗进路上设有碱洗进路阀，水洗出路上设有水洗出路阀，碱洗出路上设有碱洗出路阀。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与所述外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与所述水洗箱的出口连接，碱洗进路与所述碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与所述水洗箱的进口连接，碱洗出路与所述碱洗箱的进口连接，所述水洗进路上设有水洗进路阀，所述碱洗进路上设有碱洗进路阀，水洗出路上设有水洗出路阀，碱洗出路上设有碱洗出路阀。


2.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述碱洗进路与所述清洗总进路之间还并联连接有清洗液回收进路，该清洗总进路与所述碱洗出路之间并联连接有清洗液回收出路。


3.根据权利要求2所述的一种用于外延生长设备用滤芯的...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾宏伟，茅嘉原，王士峰，刘纪亮，陈树彪，
申请(专利权)人：苏州普耀光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32