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本实用新型公开了一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与外延生长设备过滤器连接，该外延生长设...
该专利属于苏州普耀光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州普耀光电材料有限公司授权不得商用。

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