本实用新型专利技术公开了一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，具体涉及MO源回收处理领域，包括工作台、外延长设备过滤器、水洗箱、碱洗箱、电泵、收集桶，所述外延长设备过滤器设置在工作台的顶部，所述水洗箱和碱洗箱分别设置在工作台的两侧，所述电泵的数量为两个，分别设置在水洗箱和碱洗箱的顶部。本实用新型专利技术首先通过启动双轴电机带动转动板旋转，可以依次使震动板产生上下震动，并通过连接杆带动第一支撑板上下震动，从而将震动力传递到外延长设备过滤器的内部，使外延长设备过滤器产生震动，从而使外延长设备过滤器内部的沉淀物质通过震动扩散，提高液体对外延长设备过滤器内部沉淀物质的溶解效率，提高使用效果。提高使用效果。提高使用效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置
[0001]本技术涉及MO源回收处理
，更具体地说，本技术涉及一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置。
技术介绍
[0002]目前，LED产业处于快速发展阶段，外延芯片需求量成倍数增长。外延工厂在利用MOCVD(金属有机物化学气相外延)法制备LED外延芯片时，会产生危害较大的尾气，这些尾气一般需要通过过滤器进行过滤处理，而过滤器内的滤芯上所沉积的黑色固体颗粒是由MO源转变而来，MO源即高纯金属有机化合物，是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，因此就需要一种对的MO源进行回收处理的装置。
[0003]针对现有公开申请号为CN201921221640.X的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与水洗箱的出口连接，碱洗进路与碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与水洗箱的进口连接，碱洗出路与碱洗箱的进口连接。
[0004]但是该结构在实际使用时，通过水洗后降低浓度后再碱洗的方式使过滤器内部的沉积物质溶解，实现清理的作用，容易因固体沉淀物质过多，导致溶解不彻底，影响溶解清理的效率和使用效果。<br/>
技术实现思路
[0005]本技术技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案。为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的通过水洗后降低浓度后再碱洗的方式使过滤器内部的沉积物质溶解，实现清理的作用，容易因固体沉淀物质过多，导致溶解不彻底，影响溶解清理的效率和使用效果的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括工作台、外延长设备过滤器、水洗箱、碱洗箱、电泵、收集桶，所述外延长设备过滤器设置在工作台的顶部，所述水洗箱和碱洗箱分别设置在工作台的两侧，所述电泵的数量为两个，分别设置在水洗箱和碱洗箱的顶部，所述收集桶的数量为两个，分别设置在水洗箱和碱洗箱的底部，所述工作台的顶部设置有第一支撑板，所述第一支撑板的顶部两侧对称设置有夹持固定机构；
[0007]所述第一支撑板的底部正中设置有气囊，所述工作台的顶部四周固定连接有第一限位板，所述第一限位板的内腔顶部固定连接有缓冲垫，所述第一支撑板的顶部四周固定
连接有连接杆，所述工作台的底部设置有震动板，所述工作台和震动板之间设置有震动驱动机构。
[0008]优选地，所述电泵的顶部通过管道与外延长设备过滤器的顶部相连接，所述碱洗箱和水洗箱的一侧通过连接管与外延长设备过滤器的底部两侧相连通，所述水洗箱和碱洗箱的中部均设置有收集滤芯，所述外延长设备过滤器设置在第一支撑板的顶部，所述第一限位板设置在第一支撑板的三侧，所述缓冲垫设置在第一支撑板的顶部，所述气囊的一侧连接有进气阀，所述连接杆贯穿工作台的壁体与震动板的壁体固定连接，所述夹持固定机构包括第二限位板，所述第二限位板固定在第一支撑板的顶部两侧，所述第二限位板的一侧固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端贯穿第二限位板的壁体并固定连接有夹板，所述夹板设置在第二限位板靠近外延长设备过滤器的一侧，所述夹板远离外延长设备过滤器的一次额固定连接有限位杆，所述限位杆贯穿第二限位板的中部，所述震动驱动机构包括双轴电机，所述双轴电机固定在工作台的底部，所述双轴电机的两端输出轴均固定套设有转动板，所述震动板的顶部固定连接有四个固定卡块，所述工作台的底部两侧对称固定连接有第二支撑板，所述双轴电机的两端输出轴延伸至第二支撑板的中部，所述转动板的两侧对称开设有环形卡槽，所述环形卡槽与固定卡块相对应，所述固定卡块的一端延伸至环形卡槽的内部。
[0009]本技术的技术效果和优点：
[0010]1、本技术首先通过启动双轴电机带动转动板旋转，可以通过与固定卡块的配合，使震动板产生上下震动，并通过连接杆带动第一支撑板上下震动，从而将震动力传递到外延长设备过滤器的内部，使外延长设备过滤器产生震动，从而使外延长设备过滤器内部的沉淀物质通过震动扩散，提高液体对外延长设备过滤器内部沉淀物质的溶解效率，进而提高使用效果，并通过设置的第一限位板对第一支撑板进行限位，提高第一支撑板震动的稳定性；
[0011]2、本技术还通过启动电动推杆带动夹板对外延长设备过滤器进行挤压固定，可以在第一支撑板带动外延长设备过滤器震动时，提高外延长设备过滤器的稳定性，并通过设置的限位杆使夹板移动时更加稳定，并哦退给你过缓冲垫和气囊的配合，起到缓冲的作用，避免第一支撑板产生碰撞，提高使用效果；
[0012]综上，通过上述多个作用的相互影响，可以使外延长设备过滤器在清理时，对外延长设备过滤器进行震动，提高清理效果，避免清理不彻底，出现残留的情况。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体结构示意图。
[0014]图2为本技术图1中A处的局部放大结构示意图。
[0015]图3为本技术转动板和固定卡块的结构示意图。
[0016]图4为本技术工作台的俯视结构示意图。
[0017]附图标记为：1、工作台；2、外延长设备过滤器；3、水洗箱；4、碱洗箱；5、电泵；6、收集桶；7、第一支撑板；8、气囊；9、第一限位板；10、缓冲垫；11、第二限位板；12、电动推杆；13、夹板；14、限位杆；15、连接杆；16、震动板；17、双轴电机；18、转动板；19、环形卡槽；20、第二支撑板；21、固定卡块；22、支撑背板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如附图1
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4所示的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括工作台1、外延长设备过滤器2、水洗箱3、碱洗箱4、电泵5、收集桶6，外延长设备过滤器2设置在工作台1的顶部，水洗箱3和碱洗箱4分别设置在工作台1的两侧，电泵5的数量为两个，分别设置在水洗箱3和碱洗箱4的顶部，收集桶6的数量为两个，分别设置在水洗箱3和碱洗箱4的底部，工作台1的顶部设置有第一支撑板7，第一支撑板7的顶部两侧对称设置有夹持固定机构；
[0020]第一支撑板7的底部正中设置有气囊8，工作台1的顶部四周固定连接有第一限位板9，第一限位板9的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括工作台(1)、外延长设备过滤器(2)、水洗箱(3)、碱洗箱(4)、电泵(5)、收集桶(6)，所述外延长设备过滤器(2)设置在工作台(1)的顶部，所述水洗箱(3)和碱洗箱(4)分别设置在工作台(1)的两侧，所述电泵(5)的数量为两个，分别设置在水洗箱(3)和碱洗箱(4)的顶部，所述收集桶(6)的数量为两个，分别设置在水洗箱(3)和碱洗箱(4)的底部，其特征在于：所述工作台(1)的顶部设置有第一支撑板(7)，所述第一支撑板(7)的顶部两侧对称设置有夹持固定机构；所述第一支撑板(7)的底部正中设置有气囊(8)，所述工作台(1)的顶部四周固定连接有第一限位板(9)，所述第一限位板(9)的内腔顶部固定连接有缓冲垫(10)，所述第一支撑板(7)的顶部四周固定连接有连接杆(15)，所述工作台(1)的底部设置有震动板(16)，所述工作台(1)和震动板(16)之间设置有震动驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述电泵(5)的顶部通过管道与外延长设备过滤器(2)的顶部相连接，所述碱洗箱(4)和水洗箱(3)的一侧通过连接管与外延长设备过滤器(2)的底部两侧相连通，所述水洗箱(3)和碱洗箱(4)的中部均设置有收集滤芯。3.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述外延长设备过滤器(2)设置在第一支撑板(7)的顶部，所述第一限位板(9)设置在第一支撑板(7)的三侧，所述缓冲垫(10)设置在第一支撑板(7)的顶部，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：金宇，茅嘉原，李敏，郑天增，
申请(专利权)人：苏州普耀光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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