空气净化方法和其所采用的空气净化装置制造方法及图纸

本发明专利技术的空气净化方法具有加湿步骤，在该加湿步骤中，通过加湿机构，对具有化学污染物质的空气加湿，将该空气中的气体状化学污染物质的一部分获取到过量的水分中，从该空气中将其去除；除湿步骤，在该除湿步骤中，在加湿步骤后，通过冷凝机构对已加湿的空气进行除湿，将未通过上述加湿步骤去除而残留的气体状化学污染物质获取到冷凝水中，将其去除，上述加湿机构或上述冷凝机构中的一者或两者采用前后两面和上下两面开口而设置的斜式蜂窝，从该斜式蜂窝的前面开口部送入空气，并且从顶面开口部供给水。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用水清洗空气中的化学污染物质而净化空气的空气净化方法，以及用于该方法的装置。更具体地说，本专利技术涉及给半导体，液晶装置的制造工厂、制药工厂、生命科学相关设备等的净化室提供的空气的空气净化方法和其所采用的空气净化装置。
技术介绍
在半导体，液晶装置的制造工厂、制药工厂、生命科学相关设备等中，为了提高产品合格率或确保质量，最好，不但去除过去的细微颗粒状的污染物质，而且还去除气体状化学污染物质。作为这样的化学污染物质，例举有，比如，钠、钾、钙、硼等的无机金属元素；氟离子、氯化物离子、硝酸离子、亚硝酸离子、硫酸离子、亚硫酸离子等的阳离子类；氨离子等的阴离子类型等。过去的细微颗粒状的污染物质可通过ULPA过滤器等的集尘过滤器去除，但是，这些化学污染物质无法通过ULPA过滤器等去除。由此，在过去，空气中的化学污染物质通过采用称为所谓的“水喷淋”的水滴的喷淋方法，或采用可以吸附除去化学成分的化学过滤器的方法去除。在这里，采用前者的水喷淋器的方法为通过水滴的喷雾，去除具有化学污染物质的空气的方法。但是，在前者的采用水喷淋器的方法中，由于被处理空气与水的接触效率差，故化学污染物质的去除效率较低。由此，具有下述的问题，即，由水喷淋装置形成的加湿机构的长度也必须要求达到数m，要求较宽大的设置空间，并且压力损失也增加。另外，作为水喷淋器的处理水通常采用高价的脱离子水(DIW)，但是，由于需要大量的处理水量，故具有成本增加的问题。另外，为了降低成本，通常，DIW循环使用，以便降低成本，但是，具有暂时吸收的化学污染物质容易产生再次扩散的问题。此外，采用后者的化学过滤器的方法具有下述问题，即，由于化学过滤器本身的价格较高，且吸附能力是有寿命的，故成本增加。于是，本专利技术的目的在于提供一种空气处理方法，通过该空气处理方法，空气中的化学污染物质的去除效率高，可降低成本，另外，本专利技术的还一目的在于提供一种空气净化装置，该空气净化装置整体紧凑，压力损失小，能够实现低成本处理。
技术实现思路
针对上述的实际情况，本专利技术进行了深入的分析，其结果是，发现在加湿机构或冷凝机构中的一者，或两者采用斜式蜂窝，如果从该斜式蜂窝的前面开口部送入空气，并且从顶面开口部供给水，则送入到斜式蜂窝的空气与所供给的水有效地接触，在加湿机构中可有效地提高空气中的湿度，并且在冷凝机构中，将气体状化学污染物质有效地获取到冷凝水中，将其去除，由此完成了本专利技术。即，本专利技术(1)提供一种空气净化方法，该空气净化方法具有加湿步骤，在该加湿步骤中，将前后两面和上下两面开口而设置的斜式蜂窝用于加湿机构，从该斜式蜂窝的前面开口部送入具有化学污染物质的空气，从顶面开口部供给水，由此，将该空气加湿到规定湿度，并且将该空气中的化学污染物质的至少一部分获取到过量的水分中，从该空气中将其去除；本专利技术(2)提供一种空气净化方法，该空气净化方法具有除湿步骤，在该除湿步骤中，将前后两面和上下两面开口而设置的斜式蜂窝用于冷凝机构，从该斜式蜂窝的前面开口部送入具有化学污染物质的空气，从顶面开口部供给水，由此，将该空气除湿到规定湿度，并且将该空气中的化学污染物质获取到冷凝水中，将其去除；另外，本专利技术(3)提供一种空气净化方法，该空气净化方法具有加湿步骤和除湿步骤，在该加湿步骤中，将前后两面和上下两面开口而设置的斜式蜂窝用于加湿机构，从该斜式蜂窝的前面开口部送入具有化学污染物质的空气，从顶面开口部供给水，由此将该空气加湿到规定湿度，并且将该空气中的化学污染物质的一部分获取到多余的水分中，从该空气中将其去除；在该除湿步骤中，将前后两面和上下两面开口而设置且比前述加湿步骤的温度更低的斜式蜂窝用于冷凝机构，从该后段斜式蜂窝的前面开口部送入在上述加湿步骤被加湿的空气，从顶面开口部供给水，由此，对已加湿的空气进行除湿，将未通过加湿步骤去除而残留的气体状化学污染物质获取到冷凝水中并将其去除；此外，本专利技术(4)提供一种空气净化方法，该空气净化方法具有加湿步骤和除湿步骤，在该加湿步骤中，将前后两面和上下两面开口而设置的斜式蜂窝用于加湿机构，从该斜式蜂窝的前面开口部送入具有化学污染物质的空气，从顶面开口部供给水，由此，将该空气加湿到规定湿度，并且将该空气中的化学污染物质的一部分获取到过量的水分中，从该空气中将其去除；在该除湿步骤中，通过冷凝机构，将通过上述加湿步骤加湿的空气除湿到规定的湿度，将未通过加湿步骤去除而残留的气体状化学污染物质获取到冷凝水中，将其去除；还有，本专利技术(5)提供一种空气净化方法，该空气净化方法具有加湿步骤和除湿步骤，在该加湿步骤中，通过加湿机构将具有化学污染物质的空气加湿到规定的湿度，将该空气中的化学污染物质的一部分获取到多余的水分中，从该空气中将其去除；在该除湿步骤中，将前后两面和上下两面开口而设置且比上述加湿步骤的温度更低的斜式蜂窝用于冷凝机构，从该斜式蜂窝的前面开口部送入通过上述加湿步骤加湿的空气，从顶面开口部供给水，由此，将该已加湿的空气除湿到规定湿度，将未通过加湿步骤去除而残留的气体状化学污染物质获取到冷凝水中，将其去除；另外，本专利技术(6)提供一种空气净化方法，该空气净化方法进行如下的加湿步骤，即，从前后两面和上下两面开口而设置的斜式蜂窝的前面开口部送入空气，同时从顶面开口部供给水，将上述斜式蜂窝中的前段部作为将空气加湿到规定的湿度并且获得过量的水分的加湿部，并且将上述斜式蜂窝中的后段部作为将空气除湿到规定的湿度并且获得冷凝水的冷凝部，由此，通过上述加湿部对具有化学污染物质的空气进行加湿，同时将该空气中的化学污染物质的一部分获取到上述过量的水分中，由此从该空气中将其去除；接着该空气净化方进行如下的除湿步骤，即，通过上述除湿部将通过上述加湿步骤加湿的空气除湿，将未通过加湿部去除而残留的气体状化学污染物质获取到上述冷凝水中，将其去除。另外，本专利技术(7)提供一种空气净化装置，该空气净化装置包括加湿部和冷凝部，该加湿部包括第1空气送入口，第1供水机构，通过由上述第1供水机构供给的水加湿从上述第1空气送入口送入的空气的加湿机构，排出该被加湿的空气的第1空气排出口，将滞留于系统内的水排出到系统之外的第1水排出机构；该冷凝部包括连接于该第1空气排出口的第2空气送入口，第2供水机构，通过由上述第2供水机构供给的水冷凝从上述第2空气送入口送入的空气中的水分的冷凝机构，排出该冷凝后的空气的第2空气排出口，将在系统内已冷凝的水排到系统之外的第2水排出机构，在上述加湿机构和上述冷凝机构中设有前后两面和上下两面开口的斜式蜂窝，该斜式蜂窝的前面分别朝向上述第1空气送入口和上述第2空气送入口侧，并且被送入的空气通过该斜式蜂窝，另外，在该斜式蜂窝的上方，设置有上述第1供水机构和上述第2供水机构；另外，本专利技术(8)提供一种包括加湿部的空气净化装置，该加湿部具有第1空气送入口，第1供水机构，通过由上述第1供水机构供给的水加湿从上述第1空气送入口送入的空气的加湿机构，排出该被加湿的空气的第1空气排出口，将滞留于系统内的水排出到系统之外的第1水排出机构，在上述加湿机构中设有前后两面和上下两面开口的斜式蜂窝，该斜式蜂窝的前面朝向上述第1空气送入口侧，并且被送入的空气通过该斜式蜂窝，另外，在该斜式蜂窝的上方设置上述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气净化方法，其特征在于，该空气净化方法具有加湿步骤，在该加湿步骤中，将前后两面和上下两面开口而设置的斜式蜂窝用于加湿机构，从该斜式蜂窝的前面开口部送入含有化学污染物质的空气，同时从顶面开口部供给水，由此将该空气加湿到规定湿度，同时将该空气中的化学污染物质的至少一部分获取到过量的水分中，将其从该空气中去除。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：寺田功，田中实，松村裕司，小林贞雄，森直树，伊藤宏，若山惠英，末永修，
申请(专利权)人：霓佳斯株式会社，东京毅力科创株式会社，大成建设株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]