【技术实现步骤摘要】
由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法
本专利技术涉及化学合成及光刻材料领域，具体是一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法。
技术介绍
光刻技术是指利用光刻材料(特指光刻胶)在可见光、紫外线、电子束等作用下的化学敏感性，通过曝光、显影、刻蚀等工艺过程，将设计在掩膜版上的图形转移到衬底上的图形微细加工技术。光刻技术的发展离不开光刻材料的发展，光刻材料的发展在一定程度上决定了光刻技术的发展与应用。光刻材料(特指光刻胶)，又称光致抗蚀剂，是光刻技术中涉及的最关键的功能性化学材料，其主要成分是树脂、光酸产生剂(PhotoAcidGenerator，PAG)、以及相应的添加剂和溶剂。光酸产生剂是一种光敏感的化合物，在光照下分解产生酸，所产生的酸可使酸敏树脂发生分解或者交联反应，从而使光照部分与非光照部分在显影液中溶解反差增大，可以用于图形微细加工
近年来随着大规模和超大规模集成电路的发展，大大促进了光刻胶的研究开发和应用。随着集成电路特征尺寸的逐渐减小，边缘粗糙度的影响会越来越显著，光酸产生...
【技术保护点】
1.一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂，其特征在于，所述磺酸锍盐类光酸产生剂的结构通式为式I：/n
【技术特征摘要】
1.一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂，其特征在于，所述磺酸锍盐类光酸产生剂的结构通式为式I：
式中，R1为中的一种；R2为共价键、烷基、环烷基、含酯基的烷基和含氟烷基中的一种。
2.根据权利要求1所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂，其特征在于，所述磺酸锍盐类光酸产生剂的结构式为式II、式III和式IV中的一种：
3.一种如权利要求1～2中任一项所述的由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：
将柏木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体；
将所述中间体与(环己-1,5-二烯基氧基)-三甲基-硅烷、四亚甲基亚砜、三氟乙酸酐进行反应，得到所述磺酸锍盐类光酸产生剂。
4.根据权利要求3所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羧基的磺酸盐；所述将柏木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：
将柏木醇与含羧基的磺酸盐进行酯化反应，得到中间体；所述中间体为含有柏木醇酯基的磺酸盐。
5.根据权利要求3所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羟基的磺酸盐；所述将柏木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：
将柏木醇与含羟基的磺酸盐进行反应...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭颖，潘惠英，喻珍林，李嫚嫚，王尹卓，
申请(专利权)人：上海博栋化学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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