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本发明公开了一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该光酸产生剂的结构通式为：...
该专利属于上海博栋化学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海博栋化学科技有限公司授权不得商用。

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