一种宽带束束流二维检测的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术阐述了一种宽带束束流二维检测的方法与装置，装置包括移动法拉第(1)，通道选择板(27)，信号转换板(28)，上位机(29)，电机1、2及传动装置(30)。移动法拉第(1)包含法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。通道选择板(27)包含通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)。本发明专利技术特征：上位机(29)指令通过总线(35)控制通道选择板(27)的通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)的状态，选择输出束流信号，信号经过信号转换板(28)的处理，通过总线(35)传送至上位机。利用这些装置，通过电机1、2及传动装置(30)驱动移动法拉第(1)两方向移动，检测出宽带束二维束流大小。

A method and device for two-dimensional detection of broadband beam

【技术实现步骤摘要】
一种宽带束束流二维检测的方法与装置
本专利技术涉及离子注入机的宽带束束流二维检测。通过束流二维检测，得到束流二维数据。
技术介绍
超大集成电路的设计和生产工艺几乎按着“摩尔定律”不断地加大半导体器件的集成度，而超大型芯片在“线宽”上也以倍数的形式进行着细微化。自2000年起集成电路的线宽也从“微米级”进入了“纳米级”。2010年起我国先进的半导体生产工艺也从45nm延伸至28nm以及更小的线宽。超大规模集成电路的生产工艺，从“微米级”到“纳米级”发生了许多根本的变化。离子注入机是45～22nm工艺装备中的关键装备，高品质的束流是研发离子注入机的目标，这就对量测系统提出了更高的要求。
技术实现思路
为了精确检测宽带束束流品质，本专利技术设计并开发了二维束流检测系统。二维移动法拉第由25个法拉杯子组成的法拉第阵列和运动部分及束流采集部分组成。具体结构如图1所示，法拉第阵列在电机丝杠传动下，沿水平和竖直两个方向运动，运动垂直于束流。将每个法拉第杯子采集到的束流与其所处的实时位置对应起来，即可得到束流在所测位置处的束剖面的形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)上共用了25个法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。/n

【技术特征摘要】
1.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)上共用了25个法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。


2.一种宽带束束流二...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海财，张喻召，方加晔，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11