一种宽带束束流二维检测的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术阐述了一种宽带束束流二维检测的方法与装置，装置包括移动法拉第(1)，通道选择板(27)，信号转换板(28)，上位机(29)，电机1、2及传动装置(30)。移动法拉第(1)包含法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。通道选择板(27)包含通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)。本发明专利技术特征：上位机(29)指令通过总线(35)控制通道选择板(27)的通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)的状态，选择输出束流信号，信号经过信号转换板(28)的处理，通过总线(35)传送至上位机。利用这些装置，通过电机1、2及传动装置(30)驱动移动法拉第(1)两方向移动，检测出宽带束二维束流大小。

A method and device for two-dimensional detection of broadband beam

【技术实现步骤摘要】
一种宽带束束流二维检测的方法与装置
本专利技术涉及离子注入机的宽带束束流二维检测。通过束流二维检测，得到束流二维数据。
技术介绍
超大集成电路的设计和生产工艺几乎按着“摩尔定律”不断地加大半导体器件的集成度，而超大型芯片在“线宽”上也以倍数的形式进行着细微化。自2000年起集成电路的线宽也从“微米级”进入了“纳米级”。2010年起我国先进的半导体生产工艺也从45nm延伸至28nm以及更小的线宽。超大规模集成电路的生产工艺，从“微米级”到“纳米级”发生了许多根本的变化。离子注入机是45～22nm工艺装备中的关键装备，高品质的束流是研发离子注入机的目标，这就对量测系统提出了更高的要求。
技术实现思路
为了精确检测宽带束束流品质，本专利技术设计并开发了二维束流检测系统。二维移动法拉第由25个法拉杯子组成的法拉第阵列和运动部分及束流采集部分组成。具体结构如图1所示，法拉第阵列在电机丝杠传动下，沿水平和竖直两个方向运动，运动垂直于束流。将每个法拉第杯子采集到的束流与其所处的实时位置对应起来，即可得到束流在所测位置处的束剖面的形状及流强密度分布。二维移动法拉第在移动过程中，采集指定位置的束流值。位置用X表示，束流值用Y表示，束流信息为(X，Y)。本专利技术图2中的2～26为25路信号输入通道，输入通道的信息是束流的电流值，图1中的27通道选择板上的31、32、33、34为输出通道选择开关，图1中的28为信号转换板，其作用是将束流的电流值高精度的转换为电压值。31通道的采集束流信息为(X1，Y1)，32通道的采集束流信息为(X2，Y2)，33通道的采集束流信息为(X3，Y3)，34通道的采集束流信息为(X4，Y4)。通过移动8次二维移动法拉第，切换通道选择开关，可以采集一遍全部束流信息。本专利技术通过以下技术方案实现：1.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)上共用了25个法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。2.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：此束流检测是采用了运动控制器的位置触发采集数据的方式。3.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：采集的25路信号通过通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)选择输出。4.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)移动八次即可采集出宽带束二维束流数据。本专利技术具有如下显著优点：1.检测精度高。2.多通道复用，成本低。3.结构简单，拆装维护方便。附图说明图1宽带束二维束流检测装置总装图图2束流检测系统结构图具体实施方式下面结合附图1、附图2对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。二维移动法拉第在移动过程中，采集指定位置的束流值。位置用X表示，束流值用Y表示，束流信息为(X，Y)。本专利技术图2中的2～26为25路信号输入通道，输入通道的信息是束流的电流值，图2中的27通道选择板上的31、32、33、34为输出通道选择开关，图2中的28为信号转换板，其作用是将束流的电流值高精度的转换为电压值。31通道的采集束流信息为(X1，Y1)，32通道的采集束流信息为(X2，Y2)，33通道的采集束流信息为(X3，Y3)，34通道的采集束流信息为(X4，Y4)。通过移动8次二维移动法拉第，切换通道选择开关，可以采集一遍全部束流信息。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)上共用了25个法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。/n

【技术特征摘要】
1.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)上共用了25个法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。


2.一种宽带束束流二...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海财，张喻召，方加晔，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11