一种等离子体淋浴器电源控制方法技术

本发明专利技术公开了一种等离子体淋浴器电源控制方法，稳定弧流和灯丝电流，以此获得最佳发射电流。本方法涉及离子注入机，属于半导体器件制造领域。灯丝电源(3)用来加热灯丝(7)，当灯丝温度达到电子的逸出功时，就会释电子；弧压电源(2)用来加速灯丝所释放的电子，向弧室(5)运动，最终在弧室上形成弧流；进入弧室的电子在磁铁(6)作用下轰击由气源(4)导入弧室的气体，用于产生使晶圆呈电中性的二次电子；电源控制器(1)是将弧压电源和灯丝电源进行闭环控制，通过将弧流与设定值A进行比较，将其偏差值再与设定值B进行比较来调节灯丝电流，直到弧流稳定在设定值A附近；同时使灯丝电流在限值设定值B以下，保护灯丝不会熔断。

A power control method of plasma shower

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体淋浴器电源控制方法
本专利技术涉及一种等离子体淋浴器电源控制方法，应用到离子注入机中，属于半导体器件制造领域。
技术介绍
等离子体淋浴器，实际上是一个直接加热式离子源。在半导体制造工艺装备离子注入机中，该部件对保障晶圆合格率起着至关重要的作用。等离子体淋浴器，是利用加热的灯丝发出的自由电子在弧电压及磁场的驱动下，轰击气体分子产生二次电子，并在弧室内形成等离子体。等离子体里的二次电子会被经过的正离子束吸取出弧室，而低能的正离子会被离子束排除在外。从而二次电子就会与离子束一同到达晶圆，阻止了由于离子注入而形成的正离子体的产生，使得晶圆表面呈电中性，进而防止了尖端放电的出现。弧流的大小将直接影响二次电子的发射电流，发射电流是确保晶圆表面呈电中性的关键。弧流的大小是我们的控制目标。本专利技术是通过电源控制器将弧压电源与灯丝电源进行闭环控制，实现弧流在设定值附近的自动稳定，以此来最佳稳定二次电子的发射电流；同时可使灯丝电流在设定限值以下，以保护灯丝不会由于过电流而熔断。
技术实现思路
如图1所示，等离子体淋本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体淋浴器电源控制方法，包括：电源控制器(1)、弧压电源(2)、灯丝电源(3)、气源(4)、弧室(5)、磁铁(6)及灯丝(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子体淋浴器电源控制方法，包括：电源控制器(1)、弧压电源(2)、灯丝电源(3)、气源(4)、弧室(5)、磁铁(6)及灯丝(7)。


2.一种等离子体淋浴器电源控制方法，其特征在于：灯丝电源(1)用来给等离子体淋浴器的灯丝(7)加热，当被加热的灯丝(7)温度达到电子的逸出功时，就会释放自由电子；弧压电源(2)用来加速灯丝(7)所释放的自由电子，向弧室(5)运动，最终吸附到弧室(5)上形成弧流；进入...

【专利技术属性】
技术研发人员：金洲，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11