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本发明公开了一种等离子体淋浴器电源控制方法，稳定弧流和灯丝电流，以此获得最佳发射电流。本方法涉及离子注入机，属于半导体器件制造领域。灯丝电源(3)用来加热灯丝(7)，当灯丝温度达到电子的逸出功时，就会释电子；弧压电源(2)用来加速灯丝所释放...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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