一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座、中心膜片、芯体部件、隔离膜片，其特征在于：所述中心膜片为弹性膜片；所述隔离膜片、弹性膜片通过焊接方式实现与单压基座的连接；所述弹性膜片通过焊接方式实现与芯体部件的连接；所述弹性膜片包括合金钢膜片。本实用新型专利技术具有如下优点：①受到瞬时压力时，可以保护单晶硅压力传感器中的芯片不受损伤，增强单晶硅压力传感器的抗冲击性能；②本产品具有结构简单、安装方便、成本低廉等优点。

A monocrystalline silicon pressure sensor with elastic diaphragm

【技术实现步骤摘要】
一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器
本技术涉及敏感元器件
，具体为一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器。
技术介绍
现有单晶硅压力传感器，通常包括单压基座，中心膜片，芯体部件、隔离膜片等，所述中心膜片和隔离膜片均为非弹性膜片，上述产品在受到较大冲击力时，会造成芯体部件中芯片的损伤，进而影响压力传感器的性能。针对上述问题，我公司开发了一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述缺点，本技术旨在提出具有弹性膜片的单晶硅压力传感器；压力传感器中的中心膜片为弹性膜片，所述隔离膜片、弹性膜片通过焊接方式实现与单压基座的连接，所述弹性膜片通过焊接方式实现与芯体部件的连接。当传感器受到瞬时压力时，弹性膜片向压力方向一侧移动，从而使隔离膜片与单压基座中的硅油进入弹性膜片与单压基座中的腔室，使得更高的压力无法向单晶硅芯片传递，保护单晶硅压力传感器中的芯片不受损伤，增强单晶硅压力传感器的抗冲击性能。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座、中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座(1)、中心膜片(2)、芯体部件(3)、隔离膜片(4)，其特征在于，所述中心膜片(2)为弹性膜片(5)，所述弹性膜片(5)通过焊接方式实现与芯体部件(3)的连接，所述弹性膜片(5)包括合金钢膜片。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座(1)、中心膜片(2)、芯体部件(3)、隔离膜片(4)，其特征在于，所述中心膜片(2)为弹性膜片(5)，所述弹性膜片(5)通过焊接方式实现与芯体部件(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：高峰，马志强，
申请(专利权)人：南京沃天科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32