下载一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器的技术资料

文档序号:24094743

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本实用新型公开了一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器,包括单压基座、中心膜片、芯体部件、隔离膜片,其特征在于:所述中心膜片为弹性膜片;所述隔离膜片、弹性膜片通过焊接方式实现与单压基座的连接;所述弹性膜片通过焊接方式实现与芯体部件的连接;所述弹...
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