电容式压力检测装置及传感器制造方法及图纸

一种电容式压力检测装置及传感器。所述装置包括：差分电容(1)；检测模块(2)，用于输出检测信号至差分电容(1)，并根据差分电容(1)两端的电压变化计算第一电压；调整模块(3)，用于对第一电压进行线性化调整，得到第二电压；放大模块(4)，用于对第二电压进行放大，得到输出电压；温度补偿模块(5)，连接放大模块(4)的输入端与输出端，以对输出电压进行温度补偿，温度补偿后的输出电压与差分电容(1)所处环境的压力线性相关。实时进行温度补偿，减小检测装置输出电压的温度漂移，提高的输出电压与所处环境压力之间的线性程度，节约温度补偿成本。

Capacitive pressure detection device and sensor

【技术实现步骤摘要】
电容式压力检测装置及传感器
本公开涉及压力检测领域，具体地，涉及一种电容式压力检测装置及传感器。
技术介绍
差分电容式压力检测装置的原理是通过检测一对高精度差分电容的微小变化来获得被测环境的压力。理想情况下，根据高精度差分电容的微小变化输出的电压与被测环境线性相关。实际应用中，环境温度变化会影响差分电容的电容值，从而影响装置输出的电压，破坏输出电压与被测环境之间线性相关程度。相关技术中，通常利用软硬件相结合的方法进行温度补偿，具体地，利用温度传感器测量当前被测环境温度，通过检测电路和主控芯片查表等方法对输出电压进行温度补偿。相关技术中引入主控芯片及其外围电路，提高了硬件成本及复杂度，软件查询也会带来系统误差。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题有鉴于此，本公开提供了一种实时进行温度补偿、节约温度补偿成本的电容式压力检测装置及传感器。(二)技术方案本公开一方面提供一种电容式压力检测装置，用于检测差分电容1所处环境的压力，所述装置包括：差分电容1；检测模块2，用于输出检测信号至所述差分电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式压力检测装置，所述装置包括：/n差分电容(1)；/n检测模块(2)，用于输出检测信号至所述差分电容(1)，并根据所述差分电容(1)两端的电压变化计算第一电压；/n调整模块(3)，用于对所述第一电压进行线性化调整，得到第二电压；/n放大模块(4)，用于对所述第二电压进行放大，得到输出电压；/n温度补偿模块(5)，连接所述放大模块(4)的输入端与输出端，以对所述输出电压进行温度补偿，温度补偿后的输出电压与所述差分电容(1)所处环境的压力线性相关。/n

【技术特征摘要】
1.一种电容式压力检测装置，所述装置包括：
差分电容(1)；
检测模块(2)，用于输出检测信号至所述差分电容(1)，并根据所述差分电容(1)两端的电压变化计算第一电压；
调整模块(3)，用于对所述第一电压进行线性化调整，得到第二电压；
放大模块(4)，用于对所述第二电压进行放大，得到输出电压；
温度补偿模块(5)，连接所述放大模块(4)的输入端与输出端，以对所述输出电压进行温度补偿，温度补偿后的输出电压与所述差分电容(1)所处环境的压力线性相关。


2.根据权利要求1所述的电容式压力检测装置，其中，所述放大模块(4)包括运算放大器、电阻R2和反馈电阻RF，所述运算放大器、电阻R2和反馈电阻RF形成反相放大电路。


3.根据权利要求2所述的电容式压力检测装置，其中，所述温度补偿模块(5)包括热敏电阻RT和电阻R1，所述热敏电阻RT设置在所述电容式压力检测装置的表面，所述热敏电阻RT的一端和所述电阻R1的一端连接。


4.根据权利要求3所述的电容式压力检测装置，其中，所述热敏电阻RT的另一端连接所述基准电压US1，所述电阻R1的另一端连接所述运算放大...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑旭，林琳，远雁，张心强，王迪，郜晨希，刘瑞琪，靳毅，陈林，李超波，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，川北真空科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11