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一种电容式压力检测装置及传感器。所述装置包括:差分电容(1);检测模块(2),用于输出检测信号至差分电容(1),并根据差分电容(1)两端的电压变化计算第一电压;调整模块(3),用于对第一电压进行线性化调整,得到第二电压;放大模块(4),用于...该专利属于中国科学院微电子研究所;川北真空科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所;川北真空科技(北京)有限公司授权不得商用。