【技术实现步骤摘要】
一种细晶铌钛合金的制备方法
本专利技术属于难熔合金靶材制备方法
，具体涉及一种细晶铌钛合金的制备方法。
技术介绍
近年来，随着溅射靶材与溅射技术的日益发展，溅射靶材的重要性在溅射技术中越发显现出来，靶材的质量会直接影响镀膜的质量。而随着金属互连线的特征尺寸向纳米级方向发展，金属互连线的宽度不断减小，金属互连线的层数不断增加，传统的单金属靶材工艺已经无法满足当前的需要，所以对于合金靶材的需求越来越大。Nb-Ti合金由于具有良好的导热导电性、高熔点、耐腐蚀等物理性能，被广泛应用靶材原料合金。而合金靶材的性能主要由合金的致密度、晶粒尺寸、微观结构等决定。因此提高Nb-Ti合金的致密度、成分的均匀性、减少其晶粒尺寸，可以大大改善镀膜的质量。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种细晶铌钛合金的制备方法，制备得到的Nb-Ti合金结合较好且晶粒细小、致密度高、组织均匀且富Ti相少。本专利技术所采用的技术方案是，一种细晶铌钛合金的制备方法，具体操作步骤如下：步骤1，将Nb粉球磨；步骤2，...
【技术保护点】
1.一种细晶铌钛合金的制备方法，其特征在于，具体操作步骤如下：/n步骤1，将Nb粉球磨；/n步骤2，将球磨后的Nb粉与TiH
【技术特征摘要】
1.一种细晶铌钛合金的制备方法，其特征在于，具体操作步骤如下：
步骤1，将Nb粉球磨；
步骤2，将球磨后的Nb粉与TiH2粉末混合均匀，得到混合粉末；
步骤3，将步骤2得到的混合粉末压制成生坯；
步骤4，将步骤3压制的生坯经过烧结，得到致密Nb-Ti合金。
2.根据权利要求1所述的一种细晶铌钛合金的制备方法，其特征在于，步骤1所述球磨具体如下：将Nb粉放入球磨罐中，并加入酒精作为分散剂，按球料比为10～30:1加入不锈钢球，然后球磨罐抽真空后冲入氩气，将密封好的球磨罐放入球磨机中以400r/min的转速球磨10～20h。
3.根据权利要求1所述的一种细晶铌钛合金的制备方法，其特征在于，步骤2具体如下：
使用TiH2粉作为原料，将步骤1球磨后的Nb粉和TiH2粉在V型混料机上混粉4h，其中Nb粉质量占45～50％，剩余为TiH2...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨卿，王争争，孙瑞康，石浩，邹军涛，梁淑华，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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