一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法技术方案

本发明专利技术公开了一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法，包括：光源模块；光斑均匀机构，用于将光源模块输出光斑均匀化；空间光调制器，将数字信号转化为光信号；光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；第一分光反射镜，用于将图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出；数据采集装置，与第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像。通过设置分光反射镜将图像分成反射输出和透射输出，透射输出继承原有曝光功能，反射输出配合数据采集装置实时检测成像质量、成像效果，并可利用采集图像比对原始图像并进行判断，从而形成激光直接成像的闭环控制。

A closed-loop real-time detection system and closed-loop real-time detection method for laser direct imaging

【技术实现步骤摘要】
一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法
本专利技术涉及激光直接成像(LDI)设备应用领域，特别涉及一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法。
技术介绍
激光直接成像LDI设备，LDI是用激光扫描的方法直接将图像在pcb上成像，比传统方法的图像更精细，通常工作方式为：光源发出的光斑依次经过：光束整形系统、DMD空间光调制器图形处理、光刻物镜，最后再作用材料表面。整个系统中图形处理DMD及成像系统决定成像到材料表面的像质，但图像是否正确、像质质量如何，存在不确定因素。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法，可实时检测成像质量、成像效果。根据本专利技术第一方面实施例的一种激光直接成像闭环实时检测系统，包括：光源模块；光斑均匀机构，用于将所述光源模块输出光斑均匀化；空间光调制器，将数字信号转化为光信号；光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；第一分光反射镜，用于将所述图像分成一路作用于待曝光材料的透本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，包括：/n光源模块；/n光斑均匀机构，用于将所述光源模块输出光斑均匀化；/n空间光调制器，用于把数字信号转化成光信号；/n光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；/n第一分光反射镜，用于将所述图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出；/n数据采集装置，与所述第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像、亮度数据，并生成图形文件信号；/n图形处理服务器，用于将所述图形文件信号转换成空间光调制器工作数据并输出至所述空间光调制器。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，包括：
光源模块；
光斑均匀机构，用于将所述光源模块输出光斑均匀化；
空间光调制器，用于把数字信号转化成光信号；
光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；
第一分光反射镜，用于将所述图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出；
数据采集装置，与所述第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像、亮度数据，并生成图形文件信号；
图形处理服务器，用于将所述图形文件信号转换成空间光调制器工作数据并输出至所述空间光调制器。


2.根据权利要求1所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述光源模块采用由一个或多个一字排列的光源组成的多光谱光源。


3.根据权利要求2所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述光斑均匀机构包括全反射镜以及一个或多个第二分光反射镜，所述第二分光反射镜与所述光源一一对应，所述全反射镜设置在所述一个或多个第二分光反射镜与空间光调制器之间。


4.根据权利要求1所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述数据采集装置为线阵CCD。


5.一种激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，包括：
光源模块；
光斑均匀机构，用于将所述光源模块输出光斑均匀化；
空间光调制器，用于把数字信号转化成光信号；
第一分光反射镜，用于将调制后的光斑分成一路透射输出、另一路反射输出；
第一光刻物镜，作为成像元件将所述第一分光反射镜透射输出的光斑生成...

【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞，梅文辉，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44