多轴机构装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种多轴机构装置，所述多轴机构装置包括：基座模块、第一移动模块、第二移动模块、第三移动模块、反应模块、倾斜模块以及转动模块。第一移动模块相对于活动承载台进行第一轴向移动，以带动反应模块相对于活动承载台位移。第二移动模块相对于第一移动模块进行第二轴向移动，以带动反应模块相对于第一移动模块位移。第三移动模块驱使活动承载台相对于模块本体进行第三轴向移动，以带动反应模块相对于模块本体位移。反应模块通过倾斜模块的驱动而进行倾斜动作。反应模块通过转动模块的驱动而相对于中心轴进行旋转动作。借此，本实用新型专利技术的多轴机构装置通过上述技术方案，可起到多轴向移动以及倾斜的技术效果。

Multi axis mechanism

【技术实现步骤摘要】
多轴机构装置
本技术涉及一种多轴机构装置，特别是涉及一种具有多轴向移动以及倾斜的功能的多轴机构装置。
技术介绍
真空镀膜法是一种在触控面板、太阳能电池等等的光电产业、半导体产业常见的镀膜技术，已知真空镀膜法包含物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)等方式。以薄膜太阳能电池的制程为例，需要利用真空镀膜方式于一基板镀上透明导电薄膜电极、光电转换层等膜层，又或者，例如铜铟镓薄膜太阳能电池制作时，则需要先于基板镀上铜薄膜、铟薄膜后再进行硒化处理。目前现有的真空镀膜设备在对物件进行镀膜程序时，或者在镀膜程序后而要对物件进行检测、观看时，如果要使物件倾斜，则是通过设置真空马达，来起到让物件倾斜的效果。然而，真空马达容易产生过热、运转不顺等问题，进而导致检测程序或镀膜程序麻烦。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种多轴机构装置，以解决现有技术的缺失。为了解决上述的技术问题，本技术所采用的其中一技术方案是，提供一种多轴机构装置，包括：基座模块、第一移动模块、第二移动模块、第三移动模块、反应模块、倾斜模块以及转动模块。所述基座模块包括模块本体以及能活动地连接于所述模块本体的活动承载台。所述第一移动模块能活动地设置于所述活动承载台上。所述第二移动模块能活动地设置于所述第一移动模块上。所述第三移动模块位于所述模块本体，并能活动地连接于所述活动承载台。所述反应模块穿设于所述基座模块、所述第一移动模块以及所述第二移动模块，所述反应模块具有中心轴。所述倾斜模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块。所述转动模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块。其中，所述第一移动模块相对于所述活动承载台进行第一轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述活动承载台位移。其中，所述第二移动模块相对于所述第一移动模块进行第二轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述第一移动模块位移。其中，所述第三移动模块驱使所述活动承载台相对于所述模块本体进行第三轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述模块本体位移。其中，所述反应模块通过所述倾斜模块的驱动而进行倾斜动作。其中，所述反应模块通过所述转动模块的驱动而相对于所述中心轴进行旋转动作。优选地，所述第一移动模块包括能活动地设置于所述活动承载台的第一移动单元以及第一驱动单元，所述第一驱动单元能活动地穿设于所述第一移动单元，并设置于所述活动承载台；其中，在所述第一驱动单元转动时，所述第一移动单元受所述第一驱动单元驱动而相对于所述活动承载台进行所述第一轴向移动。优选地，所述第二移动模块包括能活动地设置于所述第一移动模块的第二移动单元以及第二驱动单元，所述第二驱动单元能活动地穿设于所述第二移动单元，并设置于所述第一移动模块；其中，在所述第二驱动单元转动时，所述第二移动单元受所述第二驱动单元驱动而相对于所述第一移动模块进行所述第二轴向移动。优选地，所述第三移动模块包括能活动地连接于所述活动承载台与所述模块本体的第三移动单元以及第三驱动单元，所述第三驱动单元能活动地连接于所述第三移动单元，并设置于所述模块本体；其中，在所述第三驱动单元转动时，所述第三移动单元受所述第三驱动单元的驱动而带动所述活动承载台相对于所述模块本体进行所述第三轴向移动。优选地，所述反应模块包括：壳体单元、支撑单元、摆动单元以及活动单元。所述壳体单元穿设于所述基座模块、所述第一移动模块以及所述第二移动模块。所述支撑单元位于所述壳体单元中。所述摆动单元连接于所述壳体单元，所述摆动单元具有容置空间。所述活动单元能活动地连接于所述支撑单元，并位于所述容置空间，所述活动单元接触所述摆动单元。优选地，所述倾斜模块包括第四驱动单元以及连接于所述第四驱动单元的导引单元，所述导引单元穿设于所述壳体单元，并能活动地连接于所述摆动单元；其中，所述第四驱动单元通过驱使所述导引单元进行所述第三轴向移动，以带动所述摆动单元进行所述倾斜动作，且所述摆动单元带动所述活动单元进行所述倾斜动作。优选地，所述摆动单元包括：第一部件、活动件以及第二部件。所述第一部件连接于所述壳体单元。所述活动件连接于所述第一部件。所述第二部件连接于所述活动件，所述第二部件具有接合部。其中，所述导引单元具有引导部，所述引导部能活动地连接于所述接合部。其中，所述导引单元进行所述第三轴向移动且通过所述引导部带动接合部动作，以驱使所述第二部件进行所述倾斜动作，进而使部分所述活动件呈压缩状态，另一部分所述活动件呈伸展状态。优选地，所述反应模块还进一步包括：加热单元，所述加热单元连接于所述活动单元，并位于所述活动单元与所述第二部件之间。优选地，所述转动模块包括第五驱动单元以及能活动地连接于所述第五驱动单元的连动单元，所述连动单元穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块的连接部；其中，所述第五驱动单元通过驱使所述连动单元转动且所述连动单元带动所述连接部动作，以使所述反应模块相对于所述中心轴进行所述旋转动作。优选地，所述基座模块还包括限位单元，所述限位单元穿设于所述活动承载台，并设置于所述模块本体。本技术的有益效果在于，本技术所提供的多轴机构装置，能通过“所述多轴机构装置包括：基座模块、第一移动模块、第二移动模块、第三移动模块、反应模块、倾斜模块以及转动模块”、“一基座模块，所述基座模块包括模块本体以及能活动地连接于所述模块本体的活动承载台”、“所述第一移动模块能活动地设置于所述活动承载台上”、“所述第二移动模块能活动地设置于所述第一移动模块上”、“所述第三移动模块位于所述模块本体，并能活动地连接于所述活动承载台”、“所述反应模块穿设于所述基座模块、所述第一移动模块以及所述第二移动模块，所述反应模块具有中心轴”、“所述倾斜模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块”、“所述转动模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块”以及“所述第一移动模块相对于所述活动承载台进行第一轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述活动承载台位移；所述第二移动模块相对于所述第一移动模块进行第二轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述第一移动模块位移；所述第三移动模块驱使所述活动承载台相对于所述模块本体进行第三轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述模块本体位移；所述反应模块通过所述倾斜模块的驱动而进行倾斜动作；所述反应模块通过所述转动模块的驱动而相对于所述中心轴进行旋转动作”的技术方案，以起到多轴向移动以及倾斜的技术效果。为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本技术加以限制。附图说明图1为本技术第一实施例的多轴机构装置的立体示意图。图2为本技术第二实施例的多轴机构装置的立体示意图。图3为本技术第三实施例的多轴机构装置的部份立体示意图。图4为图3的IV部分的剖面示意图。图5为本技术第三实施例的多轴机构装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多轴机构装置，其特征在于，所述多轴机构装置包括：/n基座模块，所述基座模块包括模块本体以及能活动地连接于所述模块本体的活动承载台；/n第一移动模块，所述第一移动模块能活动地设置于所述活动承载台上；/n第二移动模块，所述第二移动模块能活动地设置于所述第一移动模块上；/n第三移动模块，所述第三移动模块位于所述模块本体，并能活动地连接于所述活动承载台；/n反应模块，所述反应模块穿设于所述基座模块、所述第一移动模块以及所述第二移动模块，所述反应模块具有中心轴；/n倾斜模块，所述倾斜模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块；以及/n转动模块，所述转动模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块。/n

【技术特征摘要】
1.一种多轴机构装置，其特征在于，所述多轴机构装置包括：
基座模块，所述基座模块包括模块本体以及能活动地连接于所述模块本体的活动承载台；
第一移动模块，所述第一移动模块能活动地设置于所述活动承载台上；
第二移动模块，所述第二移动模块能活动地设置于所述第一移动模块上；
第三移动模块，所述第三移动模块位于所述模块本体，并能活动地连接于所述活动承载台；
反应模块，所述反应模块穿设于所述基座模块、所述第一移动模块以及所述第二移动模块，所述反应模块具有中心轴；
倾斜模块，所述倾斜模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块；以及
转动模块，所述转动模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块。


2.根据权利要求1所述的多轴机构装置，其特征在于，所述第一移动模块包括能活动地设置于所述活动承载台的第一移动单元以及第一驱动单元，所述第一驱动单元能活动地穿设于所述第一移动单元，并设置于所述活动承载台。


3.根据权利要求1所述的多轴机构装置，其特征在于，所述第二移动模块包括能活动地设置于所述第一移动模块的第二移动单元以及第二驱动单元，所述第二驱动单元能活动地穿设于所述第二移动单元，并设置于所述第一移动模块。


4.根据权利要求1所述的多轴机构装置，其特征在于，所述第三移动模块包括能活动地连接于所述活动承载台与所述模块本体的第三移动单元以及第三驱动单元，所述第三驱动单元能活动地连接于所述第三移动单元，并设置于所述模块本体。


5.根据权利要求1所述的多轴机构装置，其特征在于，所述反应模块包...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨楷，
申请(专利权)人：铠柏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71