一种用于靶材背板的精密矫直工艺制造技术

本发明专利技术属于金属板矫直技术领域，涉及一种用于靶材背板的精密矫直工艺，步骤包括：①准备靶材背板，且加工至需求厚度Y；②让靶材背板的长边垂直于多辊矫直机的入口方向进入，入口辊的高度设定为Y‑(Y*4～8％)，出口辊高度参数设定为Y+(Y*4％)；③将第一次辊压后的靶材背板正反面对调，重新从多辊矫直机的入口方向进入；④重复步骤③直至靶材背板达到需求的平面度和硬度。本发明专利技术能够让背板的厚度变化控制在0.9％以内，辊压后的硬度达到Hv70以上，平面度可达0.1mm以内。

A precise straightening technology for target back plate

【技术实现步骤摘要】
一种用于靶材背板的精密矫直工艺
本专利技术涉及金属板矫直
，特别涉及一种用于靶材背板的精密矫直工艺。
技术介绍
溅镀靶材(sputtertarget)是现代薄膜科技常用的一种镀膜材料。靶材在高真空、高电压的环境中，经高能量电子束轰击后，靶材表面的电子发生游离，并沈积在基板上形成薄膜。大多数溅射靶材主要由靶坯、背板等机构组成，视使用情况及需求来设计成一体式或是多拼组合式，结合不同材质之合金背板，并且溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程，机台内部为高电压、高真空环境，因此，背板主要起到固定溅射靶材的作用，另外在溅射过程中靶材稳度不可过高，所以多数背板需搭配设备结构紧贴着系统冷却装置，需要具备良好的导电、导热性能、机械性质以及平面度要求也较高。一般来说，金属背板需要经过锻造、延压、加工、铣床及磨床等多道制程，加工到成品规格，并且在常温环境下存放一段时间后，原本平面度良好的金属背板会逐渐产生翘曲，此现象为未去除金属背板的内部残留应力所导致。残留应力是指在定温及无外力作用与束缚下，为达到力平衡而存在于物体内的弹性应力，金属内部组织在加工过程中发生了不均匀的体积变化，以及冷加工及热加工等等，此时会在材料内部产生内应力。具有内部残留应力的工件，其内部组织会随时间温度逐渐恢复到较低内应力的稳定平衡状态，对于工件的形状尺寸也产生变化(如变形翘曲)，进而失去原有需要的精度尺寸。因此，为确保并维持成品金属背板的尺寸稳定性，并提升金属背板硬度，极需要开发一种用于靶材背板的精密矫直工艺。r>
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种用于靶材背板的精密矫直工艺，能够让靶材背板较快地达到需求的平面度和硬度。本专利技术通过如下技术方案实现上述目的：一种用于靶材背板的精密矫直工艺，步骤包括：①准备靶材背板，且加工至需求厚度Y；②让靶材背板的长边垂直于多辊矫直机的入口方向进入，入口辊的高度设定为Y-(Y*4～8％)，出口辊高度参数设定为Y+(Y*4％)；③将第一次辊压后的靶材背板正反面对调，重新从多辊矫直机的入口方向进入；④重复步骤③直至靶材背板达到需求的平面度和硬度。具体的，所述靶材背板的材料为铜合金。具体的，所述靶材背板的需求厚度Y介于2mm～28mm之间。采用上述技术方案，本专利技术技术方案的有益效果是：本专利技术能够让背板的厚度变化控制在0.9％以内，辊压后的硬度达到Hv70以上，平面度可达0.1mm以内。具体实施方式一种用于靶材背板的精密矫直工艺，步骤包括：①准备靶材背板，且加工至需求厚度Y；②让靶材背板的长边垂直于多辊矫直机的入口方向进入，入口辊的高度设定为Y-(Y*4～8％)，出口辊高度参数设定为Y+(Y*4％)；③将第一次辊压后的靶材背板正反面对调，重新从多辊矫直机的入口方向进入；④重复步骤③直至靶材背板达到需求的平面度和硬度。多辊式矫直机是一种利用两排相互错开布置的矫直辊对轧材进行反复弯曲以矫正材料的矫直机。利用多辊式矫直机调整不同辊子之下压量，对工件产生均匀且全面之塑性变型，并在金属背板在塑性变型过程中，将残留应力场进行释放及均匀化，达到减少残留应力，也就是应力释放的效果，并可有效避免金属背板因为残留应力而造成翘曲发生。靶材背板在进行多辊矫直前本身已有残留应力，而此残留应力具有方向性，在后续加工及使用过程中随着时间逐步释放产生不均匀的型变，而多辊矫直利用不同程度及不同方向的塑性变形来均匀化残留应力的方向性，可减少后续使用过程中应力释放造成不同程度的翘曲，而材料在塑性变型的过程同步也会产生应力(差排)的累积，但在多辊矫直后产生的应力是均匀分布且无方向性，而材料组织也因为塑性变型过程中的外加应力而达到应变强化的效果。此应变强化原理同于工业上常使用超声波对焊道进行应力释放，提升焊道质量，在此同时也由于在焊道表面的塑性变形产生压应力，也同时强化了工件表面，对硬度提升产生了贡献。靶材背板的材料为铜合金，这种材料在靶材背板中使用比较普遍，而且能最终满足所需的硬度和平面度要求。下面结合具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。实施例1～3：按照表1所示控制辊压条件，并记录辊压效果：本专利技术能够让背板的厚度变化控制在0.9％以内，辊压后的硬度达到Hv70以上，平面度可达0.1mm以内。以上所述的仅是本专利技术的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于靶材背板的精密矫直工艺，其特征在于步骤包括：/n①准备靶材背板，且加工至需求厚度Y；/n②让靶材背板的长边垂直于多辊矫直机的入口方向进入，入口辊的高度设定为Y-(Y*4～8％)，出口辊高度参数设定为Y+(Y*4％)；/n③将第一次辊压后的靶材背板正反面对调，重新从多辊矫直机的入口方向进入；/n④重复步骤③直至靶材背板达到需求的平面度和硬度。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于靶材背板的精密矫直工艺，其特征在于步骤包括：
①准备靶材背板，且加工至需求厚度Y；
②让靶材背板的长边垂直于多辊矫直机的入口方向进入，入口辊的高度设定为Y-(Y*4～8％)，出口辊高度参数设定为Y+(Y*4％)；
③将第一次辊压后的靶材背板正反面对调，重新从多辊矫直机的入口方向进入...

【专利技术属性】
技术研发人员：林泓成，李栋，苏彦宗，
申请(专利权)人：昆山全亚冠环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32