一种真空高低温半导体器件测试探针台制造技术

本发明专利技术提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，涉及半导体器件技术领域。该真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体、防护罩、探针杆和探针头，所述工作台本体顶面的两端均固定连接有移动机构，两个移动机构均包括移动箱，两个移动箱相互远离的一侧面均固定连接有微型电机。该真空高低温半导体器件测试探针台，通过设置夹持机构，具备更换方便和使用方便的优点，解决了现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低的问题，通过设置缓冲机构，有效的避免了在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断的情况。

A kind of test probe platform for vacuum high and low temperature semiconductor devices

【技术实现步骤摘要】
一种真空高低温半导体器件测试探针台
本专利技术涉及半导体器件
，具体为一种真空高低温半导体器件测试探针台。
技术介绍
半导体器件(semiconductordevice)通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波，三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管(又称晶体三极管)。现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低，并且探针在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断，为此，我们提出一种真空高低温半导体器件测试探针台解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，解决了
技术介绍
中提出的问题。技术方案为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体、防护罩、探针杆和探针头，所述工作台本体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体(1)、防护罩(3)、探针杆(7)和探针头(8)，其特征在于：所述工作台本体(1)顶面的两端均固定连接有移动机构(4)，两个移动机构(4)均包括移动箱(401)，两个移动箱(401)相互远离的一侧面均固定连接有微型电机(402)，两个微型电机(402)的输出端均固定连接有移动块(404)，两个移动块(404)的外表面均螺纹连接有螺杆(403)，两个螺杆(403)的顶面均固定连接有夹持机构(5)，两个夹持机构(5)的内部均设有缓冲机构(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体(1)、防护罩(3)、探针杆(7)和探针头(8)，其特征在于：所述工作台本体(1)顶面的两端均固定连接有移动机构(4)，两个移动机构(4)均包括移动箱(401)，两个移动箱(401)相互远离的一侧面均固定连接有微型电机(402)，两个微型电机(402)的输出端均固定连接有移动块(404)，两个移动块(404)的外表面均螺纹连接有螺杆(403)，两个螺杆(403)的顶面均固定连接有夹持机构(5)，两个夹持机构(5)的内部均设有缓冲机构(6)。


2.根据权利要求1所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：所述工作台本体(1)的顶面的中心开设有放置槽(2)，工作台本体(1)与防护罩(3)卡接。


3.根据权利要求1所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：两个所述螺杆(403)的内部均滑动连接有滑动块(405)，两个滑动块(405)的两端分别与两个移动箱(401)的内壁固定连接。


4.根据权利要求1所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：两个所述夹持机构(5)均包括夹持箱(501)，两个夹持箱(501)的顶面均固定镶嵌有螺母(502)，两个螺母(502)的内部均螺纹连接有螺栓(503)，两个夹持箱(501)的内部均开设有第一滑槽(506)，两个第一滑槽(506)的内部均滑动连接有第一滑块(505)，两个第一滑块(505)的顶面均固定镶嵌有轴承(504)，两个轴承(504)的内圈分别与两个螺栓(503)的外表面固定连接。


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【专利技术属性】
技术研发人员：刘家铭，张孝仁，苏华庭，
申请(专利权)人：淮安芯测半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32