模具脱模装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及模具脱模装置，本发明专利技术的模具脱模装置包括：脱模模块，具有导管和多个脱模管，上述多个脱模管以重重包围上述导管外侧的形态形成；外壳，用于收容上述脱模模块，具有使上述多个脱模管向上方突出的开口；以及驱动部，沿着垂直方向驱动上述多个脱模管，上述多个脱模管通过上述驱动部下降后通过多个弹簧向上方突出，在向上述上方突出的上述多个脱模管中，从配置于外侧的脱模管开始依次下降来从上述模具的边缘部分开始分离。

Mold release device

【技术实现步骤摘要】
模具脱模装置
本专利技术涉及模具脱模装置，更详细地，涉及在半导体制备工序中从基板分离模具的模具脱模装置。
技术介绍
通常，半导体器件通过重复进行一连串的制备工序来形成于用作半导体基板的硅晶片。形成有上述多个半导体器件的晶片可通过切割工序分割为多个模具，上述多个模具可通过焊接工序焊接于基板。用于执行上述模具焊接工序的装置可包括：拾取模块，从分割为上述多个模具的晶片拾取上述多个模具并分离；以及焊接模块，用于向基板附着拾取的模具。上述拾取模块可包括：工作台单元，用于支撑附着有上述晶片的晶片环；切割装置，以能够沿着垂直方向移动的方式设置，来从被上述工作台单元支撑的晶片选择性地分离模具；以及拾取单元，从上述晶片拾取上述模具并附着于基板。通常，上述模具脱模装置可包括：切割单元，沿着垂直方向推开上述模具，来从切割胶带分离上述模具；罩，用于收容上述切割单元；驱动部，使上述切割单元沿着垂直方向移动；以及本体，用于收容上述驱动部。与如上所述的模具脱模装置有关的例在韩国授权专利第10-0975500号中揭示。但是，最近，随着形成于晶片的模具的大小多种多样且厚度逐渐变薄，为了应对此，需要新形态的模具切割方法及装置。尤其，在具有数十μm左右的厚度且具有大约15×10mm以上且40×30mm为止的大小的大型模具的情况下，上述模具与上述切割胶带之间的粘结力相对大，因此，在模具切割过程中，可发生上述模具受损或不会被上述拾取单元拾取的拾取不良。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供可在与大型模具有关的模具切割过程中可解决如模具的受损、拾取不良等的问题的新形态的模具脱模装置。用于实现上述目的的本专利技术实施例的模具脱模装置包括：脱模模块，具有导管和多个脱模管，上述多个脱模管以重重包围上述导管外侧的形态形成；外壳，用于收容上述脱模模块，具有使上述多个脱模管向上方突出的开口；以及驱动部，沿着垂直方向驱动上述多个脱模管，上述多个脱模管通过上述驱动部下降后通过多个弹簧向上方突出，在向上述上方突出的上述多个脱模管中，从配置于外侧的脱模管开始依次下降来从上述模具分离，且从边缘部分开始分离。并且，上述脱模模块还包括：引导支撑部件，在上述导管的下端部沿着水平方向弯曲延伸；多个支撑部件，在上述多个脱模管的下端部沿着水平方向弯曲延伸来依次层叠于上述引导支撑部件的上部；上述多个弹簧，配置于各个依次层叠的上述多个支撑部件的下部，分别隔开并支撑依次层叠的上述多个支撑部件；以及高度限制单元，用于限制上述多个支撑部件各自的上升高度，在位于上述多个支撑部件中的配置于最顶端的支撑部件下部的多个支撑部件及上述引导支撑部件形成垂直方向的开口部，在配置于上述最顶端的支撑部件的下部面所形成的驱动部件贯通上述开口部来与上述驱动部相连接。并且，在上述多个弹簧中，越是用于支撑配置于上方的支撑部件的弹簧，弹力可越减少。并且，上述高度限制单元可用于限制多个支撑部件之间的隔开间隔。并且，可在上述外壳的内侧面设置有用于限制上述脱模模块的下方移动的挡止部。本专利技术实施例的模具脱模装置以多级驱动多个脱模管，因此，可从切割胶带以没有损伤的方式分离大型尺寸的模具，可防止不被拾取单元拾取的拾取不良。设置于本专利技术实施例的模具脱模装置的多个脱模管利用具有互不相同的弹力的弹簧突出，从配置于外围的脱模管依次下降，因此，无需设置额外的使脱模管突出且从配置于外围的脱模管开始依次下降的额外的复杂的驱动装置。设置于本专利技术实施例的模具脱模装置的模具脱模模块被弹簧驱动，因此，具有永久性。附图说明图1为用于说明本专利技术一实施例的模具脱模装置的简要结构图。图2为用于说明图1所示的模具脱模装置的剖视图。图3为用于说明图2所示的脱模模块的立体图。图4a至图4b为从互不相同的角度观察的设置于切割模块的高度固定部件的剖视图，图4c至图4d为从互不相同的角度观察的设置于切割模块的弹簧的剖视图。图5a至图5f为用于说明图2所示的脱模模块的动作过程的动作状态图。图6为用于说明根据图5a至图5f所示的脱模模块的动作过程的模具的分离过程的动作状态图。具体实施方式以下，本专利技术参照示出本专利技术实施例的附图进行更加详细的说明。但是，本专利技术并不局限于由在下述内容中说明的实施例来构成，可具体化为与此不同的各种形态。下述实施例并不用于完整地完成本专利技术，而是使本专利技术所属
的普通技术人员更完整地理解本专利技术的范围。当说明一个要素配置于另一要素或与另一要素相连接时，上述要素可直接配置于上述另一要素或与上述另一要素直接连接，或者两者之间可具有其他要素或层。与此不同地，当说明一个要素直接配置于另一要素或与另一要素直接连接时，两者之间没有其他要素。为了说明如各种要素、组成、区域、层和/或部分的各种项目，可使用第一、第二、第三等术语，但上述项目并不局限于这些术语。在下述内容中使用的专业术语仅用于说明特定实施例，并不限定本专利技术。并且，除非另行定义，包括技术术语及科学术语的所有术语的含义与本专利技术所属
的普通技术人员所理解的含义相同。如在常规词典中限定的上述术语在相关技术和本专利技术说明的文脉中具有与它们一致的含义，除非明确定义，不应解释为理想或过于形式上的含义。参照本专利技术的理想实施例的简要图解说明本专利技术的实施例。由此，可从上述图解的形状充分预测变化，如制造方法和/或允许误差的变化。因此，本专利技术实施例的并不局限于通过图解说明的区域的特定形状来说明，而是包括形状的偏差，在附图中说明的区域仅为简要的区域，这些形状并不用于说明区域的准确形状，并且，并不限定本专利技术的范围。图1为用于说明本专利技术一实施例的模具脱模装置的简要结构图。参照图1，本专利技术一实施例的模具脱模装置100可优选地用于如下的模具焊接工序，即，从由多个模具20形成的晶片分离上述多个模具20并焊接于如引线框或印刷电路板等的基板。上述晶片10可通过切割工序分割为多个模具20，能够以附着于切割胶带32的状态提供。在此情况下，上述切割胶带32可安装于安装框架30，上述安装框架30的直径大于上述晶片10的直径。上述安装框架30可被配置于工作台40的夹具42把持，上述切割胶带32的边缘部位可被配置于上述工作台40的扩张环44支撑。为扩张上述切割胶带32，上述夹具42可向垂直下方移动上述安装框架30，由此，上述切割胶带32可被上述扩张环44扩张。最终，即可扩张附着于上述切割胶带32的多个模具20之间的间隔。为从上述切割胶带32分离上述多个模具20，可在上述工作台40的下部设置使上述多个模具20选择性地上升的模具脱模装置100，可在上述工作台40的上部设置用于拾取通过上述模具脱模装置100上升的模具20的拾取装置50。上述模具脱模装置100可用于从上述切割胶带32切割上述多个模具20。图2为用于说明图1所示的模具脱模装置的简要剖视图，图3为用于说明图2所示的脱模模块的立体图，图4a至图4b为从互不相同的角度观察设置于切割模块的高本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种模具脱模装置，用于从切割胶带分离模具，其特征在于，/n包括：/n脱模模块，具有导管和多个脱模管，上述多个脱模管以重重包围上述导管外侧的形态形成；/n外壳，用于收容上述脱模模块，具有使上述多个脱模管向上方突出的开口；以及/n驱动部，沿着垂直方向驱动上述多个脱模管，/n上述多个脱模管通过上述驱动部下降后通过多个弹簧向上方突出，在向上述上方突出的上述多个脱模管中，从配置于外侧的脱模管开始依次下降来从上述模具的边缘部分开始分离。/n

【技术特征摘要】
20181015 KR 10-2018-01227921.一种模具脱模装置，用于从切割胶带分离模具，其特征在于，
包括：
脱模模块，具有导管和多个脱模管，上述多个脱模管以重重包围上述导管外侧的形态形成；
外壳，用于收容上述脱模模块，具有使上述多个脱模管向上方突出的开口；以及
驱动部，沿着垂直方向驱动上述多个脱模管，
上述多个脱模管通过上述驱动部下降后通过多个弹簧向上方突出，在向上述上方突出的上述多个脱模管中，从配置于外侧的脱模管开始依次下降来从上述模具的边缘部分开始分离。


2.根据权利要求1所述的模具脱模装置，其特征在于，
上述脱模模块还包括：
引导支撑部件，在上述导管的下端部沿着水平方向弯曲延伸；
多个支撑部件，在上述多个脱模管的下端部沿着水平方向弯曲延伸来依次层叠于上述引...

【专利技术属性】
技术研发人员：李喜澈，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR