一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具。该夹具包括支撑体、拉杆、轴套、端盖、锁紧螺母、夹头和支撑筋，所述支撑体的前端设有端盖，端盖上设有中心孔，所述拉杆通过该中心孔插入支撑体内，拉杆位于支撑体外的一端旋套有锁紧螺母，拉杆位于支撑体内的一端与所述轴套螺纹连接；所述夹头的数量为至少3组，该至少3组夹头均具有圆弧形夹紧面，且沿支撑体的外圆周方向均匀排列；所述支撑体上设有矩形开口，每个矩形开口处均嵌设具有斜面的支撑筋，所述斜面与所述轴套的外圆周面接触，支撑筋与夹头固定连接。本发明专利技术可以一次装夹靶材生坯完成加工，且夹持力均匀，能够解决陶瓷靶材生坯在加工过程中容易出现开裂的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具
本专利技术涉及陶瓷靶材加工设备
，具体涉及一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具。
技术介绍
陶瓷靶材是一类非常重要的真空镀膜材料，包括ZnO、AZO、GZO、IZO、IGZO、ITO、TiO2、Nb2O5等。陶瓷靶材是一种或多种氧化物粉末经过混合、造粒、成型、烧结而成的陶瓷材料。陶瓷材料在成型后由于强度不高，所以很难加工，尤其是在加工过程中因夹具夹持力大，夹持力不均匀导致靶材生坯加工时非常容易开裂，良率降低。若成型后的靶材生坯不加工到规则尺寸，生坯壁厚不够均匀，则会影响烧结的均匀性，并且烧结后靶材变成陶瓷材料，后期加工十分困难，有较大的磨削量，效率低下，造成成本浪费。因此，急需一种适用于管状陶瓷靶材加工的夹具，使管状陶瓷靶材生坯在加工过程中不易出现开裂，且能够一次装夹完成加工，夹持力均匀，加工后尺寸标准。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足之处而提供一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具，该夹具可以一次装夹完成加工，并且夹持力均匀，加工后尺寸标准，能够解决陶瓷靶材生坯在加工过程中容易出现开裂的问题，使其烧结过程更加均匀，且烧结后靶坯加工余量小，大幅度降低生产工时，提高生产效率，提高产品良率，降低成本。为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案如下：一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具，包括支撑体、拉杆、轴套、端盖、锁紧螺母、夹头和支撑筋，所述支撑体的前端设有端盖，端盖上设有中心孔，所述拉杆通过该中心孔插入支撑体内，拉杆位于支撑体外的前端旋套有锁紧螺母，拉杆位于支撑体内的末端与所述轴套螺纹连接；所述夹头的数量为至少3组，优选为3组，该至少3组夹头均具有圆弧形夹紧面，且沿支撑体的外圆周方向均匀排列；所述支撑体上设有矩形开口，每个矩形开口处均嵌设具有斜面的支撑筋，所述斜面与所述轴套的外圆周面接触，支撑筋与夹头固定连接。将靶材生坯套在夹头外，通过转动拉杆，带动轴套在支撑体内沿水平方向移动，轴套的外圆周面与支撑筋上的斜面接触，轴套的移动会推动支撑筋沿支撑体的径向向外运动，进而带动具有圆弧形夹紧面的夹头与靶材生坯的内壁接触并涨紧，通过旋紧锁紧螺母，保持夹头与靶材生坯涨紧的状态。靶材生坯完成后，松动锁紧螺母，转动拉杆在拉杆上沿水平方向移动，使得轴套的移动推动支撑筋沿支撑体的径向向内运动，从而使夹头与靶材生坯处于松开的状态，便于将加工后的靶材生坯从夹具上取下。本专利技术的夹具通过圆周方向至少三个圆弧形夹紧面同时夹紧，夹头与靶材生坯的接触面积大，对于靶材单位面积受力小，并且夹持力均匀，避免靶材生坯夹持开裂，确保靶材生坯加工后尺寸标准。优选地，所述夹具还包括导向机构，所述导向机构包括导向轴、垫块和导向轴套组成，所述支撑体上设有通孔，所述导向轴安装在所述夹头上，并穿过通孔进入支撑体内，所述导向轴位于支撑体和夹头之间的部分还套设有垫块，以及与所述导向轴配套的导向轴套，提高夹具的夹头在径向滑动的精度。优选地，所述导向轴位于支撑体内的部分还套设有弹簧，保证夹具在松开的时候可以主动复位。优选地，所述支撑体上的通孔的表面粗糙度Ra小于1.6μm，减少支撑体与导向轴之间的摩擦，提高夹具的夹头在径向滑动的精度。优选地，所述导向轴与夹头通过螺栓连接固定。所述支撑体与夹头可采用一体式结构或分体式结构，优选地，所述支撑体与夹头为分体式结构，且支撑筋与夹头通过螺栓连接固定，便于更换夹头。优选地，所述支撑体的末端设有顶针孔，当该夹具与靶材生坯置于车床上加工时，车床尾座的顶针顶入该顶针孔，便于在车床上固定该夹具。优选地，所述支撑体的材质为碳钢、不锈钢、铝合金或钛合金，优选为铝合金，选用铝合金能够进一步减轻夹具的重量。优选地，所述轴套为黄铜轴套或石墨轴套，有利于降低轴套表面粗糙度。优选地，所述轴套的两端各设有一固定板，固定板上均设有中心孔，拉杆穿过中心孔，并通过固定螺母压紧。本专利技术的夹具的使用方法为：(1)将靶材生坯套在夹头外，通过转动拉杆，带动轴套沿水平方向移动，轴套与支撑筋上的斜面接触，轴套的移动会推动支撑筋沿支撑体的径向运动，进而带动具有圆弧形夹紧面的夹头与靶材生坯的内壁接触并涨紧；(2)将安装好的夹具连同靶材生坯安装在车床上，夹具前端用三抓卡盘夹紧，末端利用车床尾座顶针顶紧；(3)根据加工需求车削靶材生坯的表面及两个端面。(4)加工完成后，将夹具连同靶材生坯同时取下后，松开锁紧螺母，取出靶坯生坯。与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：本专利技术的夹具通过圆周方向至少三个圆弧形夹紧面同时夹紧，夹头与靶材生坯的接触面积大，对于靶材单位面积受力小，使陶瓷靶材生坯在加工过程中不易出现开裂，可以一次装夹完成加工，并且夹持力均匀，加工后尺寸标准，使其烧结过程更加均匀，且烧结后靶坯加工余量小，大幅度降低生产工时，提高生产效率，提高产品良率，降低成本。附图说明图1为本专利技术的管状陶瓷靶材生坯加工夹具的主视图；图2为本专利技术的管状陶瓷靶材生坯加工夹具的剖面图；图3为本专利技术的导向机构的局部放大图；1-支撑体、2-拉杆、3-轴套、4-端盖、5-锁紧螺母、6-夹头、7-支撑筋、8-导向轴、9-垫块、10-导向轴套、11-弹簧、12-螺栓、13-顶针孔、14-固定板。具体实施方式为更好地说明本专利技术的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例对本专利技术进一步说明。本领域技术人员应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。实施例中，所使用的实验方法如无特殊说明，均为常规方法，所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具，如图1-3所示，包括支撑体1、拉杆2、轴套3、端盖4、锁紧螺母5、夹头6和支撑筋7，所述支撑体1的前端设有端盖2，端盖2上设有中心孔，所述拉杆2通过该中心孔插入支撑体1内，拉杆2位于支撑体1外的前端旋套有锁紧螺母5，拉杆2位于支撑体1内的末端与所述轴套3螺纹连接；所述夹头6的数量为至少3组，优选为3组，该至少3组夹头6均具有圆弧形夹紧面，且沿支撑体1的外圆周方向均匀排列；所述支撑体1上设有矩形开口，每个矩形开口处均嵌设具有斜面的支撑筋7，所述斜面与所述轴套3的外圆周面接触，支撑筋7与夹头6固定连接。所述拉杆2的长度不小于矩形开口与端盖4之间的直线距离，支撑筋7通过矩形开口嵌入支撑体1内，使得斜面可与轴套3的外圆周面接触。将靶材生坯套在夹头外，通过转动拉杆，带动轴套沿水平方向移动，使得轴套与支撑筋上的斜面接触，轴套的移动会推动支撑筋沿支撑体的径向向外运动，进而带动具有圆弧形夹紧面的夹头与靶材生坯的内壁接触并涨紧，通过旋紧锁紧螺母，保持夹头与靶材生坯涨紧的状态。靶材生坯完成后，松动锁紧螺母，转动拉杆在拉杆上沿水平方向移动，使得轴套的移动推动支撑筋沿支撑体的径向向内运动，从而使夹头与靶材生坯处于松开的状态。本专利技术的夹具通过圆周方向至少三个圆弧形夹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具，其特征在于，包括支撑体、拉杆、轴套、端盖、锁紧螺母、夹头和支撑筋，所述支撑体的前端设有端盖，端盖上设有中心孔，所述拉杆通过该中心孔插入支撑体内，拉杆位于支撑体外的前端旋套有锁紧螺母，拉杆位于支撑体内的末端与所述轴套螺纹连接；所述夹头的数量为至少3组，该至少3组夹头均具有圆弧形夹紧面，且沿支撑体的外圆周方向均匀排列；所述支撑体上设有矩形开口，每个矩形开口处均嵌设具有斜面的支撑筋，所述斜面与所述轴套的外圆周面接触，支撑筋与夹头固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具，其特征在于，包括支撑体、拉杆、轴套、端盖、锁紧螺母、夹头和支撑筋，所述支撑体的前端设有端盖，端盖上设有中心孔，所述拉杆通过该中心孔插入支撑体内，拉杆位于支撑体外的前端旋套有锁紧螺母，拉杆位于支撑体内的末端与所述轴套螺纹连接；所述夹头的数量为至少3组，该至少3组夹头均具有圆弧形夹紧面，且沿支撑体的外圆周方向均匀排列；所述支撑体上设有矩形开口，每个矩形开口处均嵌设具有斜面的支撑筋，所述斜面与所述轴套的外圆周面接触，支撑筋与夹头固定连接。


2.根据权利要求1所述的管状陶瓷靶材生坯加工夹具，其特征在于，所述夹具还包括导向机构，所述导向机构包括导向轴、垫块和导向轴套组成，所述支撑体上设有通孔，所述导向轴安装在所述夹头上，并穿过通孔进入支撑体内，所述导向轴位于支撑体和夹头之间的部分还套设有垫块，以及与所述导向轴配套的导向轴套。


3.根据权利要求2所述的管状陶瓷靶材生坯加工夹具，其特征在于，所述导向轴位于支撑体内的部分还套设有弹簧。

【专利技术属性】
技术研发人员：雷雨，赵明增，周昭宇，周志宏，肖世洪，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44