插座探针良率的检测电路及方法技术

本发明专利技术提供了一种插座探针良率的检测电路，包括：产品插座，所述产品插座包含插座探针；金属插座盖，所述金属插座盖接地，所述金属插座盖电连接所述插座探针；电流源，所述电流源用以为所述插座探针供电源；电压表，所述电压表用以测量所述插座探针的电压。并且，根据所述检测电路提供一种检测方法。据此，能够测量得出插座探针的接触电阻，以该接触电阻阻值作为评价指标，从而客观、精确地评价插座探针是否还能够继续使用（是否良好），能够给插座探针更换（使用寿命管理）提供客观科学依据，并且能够达到快速判断的要求。

Test circuit and method of socket probe yield

【技术实现步骤摘要】
插座探针良率的检测电路及方法
本专利技术涉及半导体制造设备
，特别涉及一种半导体产品检测装置的校准装置。本专利技术还涉及半导体制造设备检测校准方法

技术介绍
在半导体器件的制造过程中，需要进行产品的检测。产品检测主要包括晶圆级的晶圆允收测试（WaferAcceptanceTest，WAT）、晶圆测试（ChipProbing，CP），和封装级的终测（FinalTest，FT）。在封装级芯片的终测（FT）测试时，插座（socket）被用来安装待检测的封装级的芯片（待检测器件DUT，deviceundertest），封装级芯片的引脚（pin）与插座的插座探针（socketprobe）连接。因为，插座探针的氧化磨损，导致插座探针与芯片引脚的接触电阻变大从而影响测试的良率；但是，如果频繁更换插座探针则会消耗大量经费。现有技术中，针对某中产品适用的插座探针的使用寿命的管理一般是通过统计接触（touchdown）次数来计算，这样的计算方式依靠总结过往的数据获得的工艺参数经验，因而并不精确，也缺乏说服力。现有技术的问题在于，如何提供一种判断插座探针是否有效的装置，并且如何找到一种客观的技术参数评价指标，能够进行插座探针的使用寿命的科学管理。并且，运用一种检测方法，能够客观的评价插座探针的优良与否。
技术实现思路
为了解决以上技术问题，本专利技术提供一种插座探针良率的检测电路及检测方法，其目的在于：采用量化技术参数作为评价指标，并且能够采用检测电路将该技术参数测量出来，从而客观、精确地评价插座探针是否还能够继续使用（是否良好），能够给插座探针更换（使用寿命管理）提供客观科学依据，并且能够达到快速判断的要求。从而，能够在保证测试良率的情况下，合理更换插座探针。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种插座探针良率的检测电路，包括：产品插座，所述产品插座包含插座探针；金属插座盖，所述金属插座盖接地，所述金属插座盖电连接所述插座探针；电流源，所述电流源用以为所述插座探针供电源；电压表，所述电压表用以测量所述插座探针的电压。优选地，所述插座探针良率的检测电路，还包括：测试机，所述测试机提供所述电流源和所述电压表；测试头和负载板，所述测试头连接所述测试机，所述负载板连接所述测试头；适配插座，所述适配插座连接所述负载板，所述产品插座连接所述适配插座。优选地，所述测试机包括测试机电阻，所述测试头包含测试头电阻，所述负载板包含负载板电阻，所述适配插座包含适配插座电阻，所述产品插座的插座探针包含接触电阻，所述金属插座盖包含金属插座盖电阻；所述电流源连接所述测试机电阻，所述测试机电阻连接所述测试头电阻，所述测试头电阻连接所述负载板电阻，所述负载板电阻连接所述适配插座电阻，所述接触电阻连接所述适配插座电阻，所述金属插座盖电阻连接所述接触电阻，所述金属插座盖电阻接地；所述电压表一端接地，另一端连接所述测试机电阻。优选地，所述电流源为电流可调节电流源，所述电流源包含第一电流和第二电流，在所述电流源为第一电流时，所述电压表测得电压值为第一电压值，在所述电流源为第二电流时，所述电压表测得电压值为第二电压值。优选地，所述第一电流和第二电流的值为0~10mA，精度为0.001mA。优选地，所述电压表的测量精度为0.001mV。优选地，所述金属插座盖与所述产品插座插合连接。优选地，所述适配插座用来配合所述产品插座和所述负载板。优选地，所述产品插座的数量至少为二。优选地，所述插座探针良率的检测电路，还包括：测试机，所述测试机数量为一，所述测试机提供所述电流源和所述电压表；检测电路支路，所述检测电路支路数量等于所述产品插座数量；各所述检测电路支路并联连接至所述测试机上。为了达到上述目的，本专利技术还提供了一种插座探针良率的检测方法，包括：步骤一，测量产品插座的插座探针的接触电阻；步骤二，根据阻值阈值判断是否需要更换产品插座。优选地，采用测试机测量插座探针的接触电阻；所述产品插座连接金属插座盖，金属插座盖连接插座探针，金属插座盖接地；所述测试机提供电流源，并且包含测量电压的装置；电流源为插座探针提供电源；测量电压的装置一端接地，测量插座探针在电流源的电流值下的电压值。优选地，测试机具有测试头，测试头连接有负载板，插座探针与负载板电连接。优选地，产品插座数量至少为二，各个产品插座的插座探针数量至少为二；产品插座与负载板之间通过适配插座连接；每一根插座探针都电连接电流源，也都电连接测量电压的装置，形成一个插座探针检测支路；各个插座探针检测支路都并联连接形成检测电路支路；各个检测电路支路并联连接形成检测电路。优选地，所述电流源为可调节电流源，所述可调节电流源提供至少两次电流，在第一电流的情况下，测量插座探针的第一电压值；在第二电流的情况下，测量插座探针的第二电压值；第二电压值与第一电压值的差值除以第二电流与第一电流的差值，得到接触电阻值。优选地，测试机同时对各个插座探针检测支路施加电流源，并同时测量各个插座探针的电压。优选地，插拔金属插座盖后，重复：为插座探针提供电流源，测量插座探针的电压值。优选地，生成阻值阈值的方法：统计产品插座使用次数——插座探针的接触电阻，存储形成使用次数——接触电阻值数据库；根据经验数据库，使用次数——插座探针良率的关系函数；通过机器学习，得到阻值阈值；再验证阻值阈值在产品检测电路中电学效果，阻值阈值与半导体产品的阻值之间关系，进一步调整阻值阈值。与现有技术相比，本专利技术提供了一种插座探针良率的检测电路，包括：产品插座，所述产品插座包含插座探针；金属插座盖，所述金属插座盖接地，所述金属插座盖电连接所述插座探针；电流源，所述电流源用以为所述插座探针供电源；电压表，所述电压表用以测量所述插座探针的电压。并且，根据所述检测电路提供一种检测方法。据此，能够测量得出插座探针的接触电阻，以该接触电阻阻值作为评价指标，从而客观、精确地评价插座探针是否还能够继续使用（是否良好），能够给插座探针更换（使用寿命管理）提供客观科学依据，并且能够达到快速判断的要求。附图说明图1为本专利技术的插座探针良率的检测电路一实施例的各器件布置示意图。图2A为本专利技术的插座探针良率的检测电路一实施例的示意图。图2B为本专利技术的插座探针良率的检测电路一实施例的示意图。图2C为本专利技术的插座探针良率的检测电路同时测量多个插座探针的示意图。图3为本专利技术的插座探针良率的检测电路的技术原理示意图。图4A和图4B为本专利技术的插座探针良率的检测电路的技术效果示意图。图5A和图5B为本专利技术的插座探针良率的检测电路的技术效果本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种插座探针良率的检测电路，其特征在于，包括：/n产品插座，所述产品插座包含插座探针；/n金属插座盖，所述金属插座盖接地，所述金属插座盖电连接所述插座探针；/n电流源，所述电流源用以为所述插座探针供电源；/n电压表，所述电压表用以测量所述插座探针的电压。/n

【技术特征摘要】
1.一种插座探针良率的检测电路，其特征在于，包括：
产品插座，所述产品插座包含插座探针；
金属插座盖，所述金属插座盖接地，所述金属插座盖电连接所述插座探针；
电流源，所述电流源用以为所述插座探针供电源；
电压表，所述电压表用以测量所述插座探针的电压。


2.根据权利要求1所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，还包括：
测试机，所述测试机提供所述电流源和所述电压表；
测试头和负载板，所述测试头连接所述测试机，所述负载板连接所述测试头；
适配插座，所述适配插座连接所述负载板，所述产品插座连接所述适配插座。


3.根据权利要求2所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，所述测试机包括测试机电阻，所述测试头包含测试头电阻，所述负载板包含负载板电阻，所述适配插座包含适配插座电阻，所述产品插座的插座探针包含接触电阻，所述金属插座盖包含金属插座盖电阻；
所述电流源连接所述测试机电阻，所述测试机电阻连接所述测试头电阻，所述测试头电阻连接所述负载板电阻，所述负载板电阻连接所述适配插座电阻，所述接触电阻连接所述适配插座电阻，所述金属插座盖电阻连接所述接触电阻，所述金属插座盖电阻接地；
所述电压表一端接地，另一端连接所述测试机电阻。


4.根据权利要求1-3之一所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，所述电流源为电流可调节电流源，所述电流源包含第一电流和第二电流，
在所述电流源为第一电流时，所述电压表测得电压值为第一电压值，
在所述电流源为第二电流时，所述电压表测得电压值为第二电压值。


5.根据权利要求4所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，所述第一电流和第二电流的值为0~10mA，精度为0.001mA。


6.根据权利要求4所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，所述电压表的测量精度为0.001mV。


7.根据权利要求1所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，所述金属插座盖与所述产品插座插合连接。


8.根据权利要求2所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，所述适配插座用来配合所述产品插座和所述负载板。


9.根据权利要求1所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，所述产品插座的数量至少为二。


10.根据权利要求9所述的插座探针良率的检测电路，其特征在于，还包括：
测试机，所述测试机数量为一，所述测试机提供所述电流源和所述电压表；
检测电路支路，所述检测电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓侠，钟艳，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31