一种加热器固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种加热器固定装置，用于将加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，加热器固定装置包括固定板和支撑架，固定板包括第一连接部和通孔；第一连接部用于将固定板连接至热处理腔室的外侧壁，通孔贯穿固定板，且与固定孔的位置对应；支撑架包括第二连接部和支撑双臂，第二连接部用于将支撑架连接在固定板上，支撑双臂与通孔对应设置；加热器设置于固定孔中，加热器的末端从固定孔中伸出并穿过通孔，固定在支撑双臂内，使得加热器的外壁与固定孔的内壁之间设有缝隙。本实用新型专利技术的有益效果在于：加热器固定装置将加热器的末端支撑起，使加热器周围留用空隙，利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。

A heater fixing device

【技术实现步骤摘要】
一种加热器固定装置
本技术涉及加热设备领域，更具体地，涉及一种加热器固定装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，热处理是必要的，常用的热处理设备有立式炉、卧式炉、快速热处理。快速热处理(RapidThermalProcessing，RTP)是指以极快的速度加热晶圆表面，以达到消除应力、退火等目的。为了保持工艺的稳定性需提供气密腔体或真空环境，将晶圆置于其中。气密腔体通过石英管与外界隔离，加热灯管辐射的灯光穿透石英管对气密腔体内的晶圆加热，通常加热灯管直接放置于石英管的底部，因底部没有散热空间，不利于散热，影响加热灯管的使用寿命。因此，期待一种可以改善这种加热方式的结构，以利于散热。
技术实现思路
本技术的目的是提出一种加热器固定装置，将加热器的末端支撑起，使加热器周围留用空隙，利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。为实现上述目的，本技术提出了一种加热器固定装置，用于将所述加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，所述加热器固定装置包括：固定板和支撑架，所述固定板包括第一连接部和通孔；所述第一连接部用于将所述固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器固定装置，用于将所述加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，其特征在于，所述加热器固定装置包括固定板和支撑架，/n所述固定板包括第一连接部和通孔；/n所述第一连接部用于将所述固定板连接至所述热处理腔室的外侧壁，所述通孔贯穿所述固定板，且与所述固定孔的位置对应；/n所述支撑架包括第二连接部和支撑双臂，所述第二连接部用于将所述支撑架连接在所述固定板上，所述支撑双臂与所述通孔对应设置；/n所述加热器设置于所述固定孔中，所述加热器的末端从所述固定孔中伸出并穿过所述通孔，固定在所述支撑双臂内，使得所述加热器的外壁与所述固定孔的内壁之间设有缝隙。/n

【技术特征摘要】
1.一种加热器固定装置，用于将所述加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，其特征在于，所述加热器固定装置包括固定板和支撑架，
所述固定板包括第一连接部和通孔；
所述第一连接部用于将所述固定板连接至所述热处理腔室的外侧壁，所述通孔贯穿所述固定板，且与所述固定孔的位置对应；
所述支撑架包括第二连接部和支撑双臂，所述第二连接部用于将所述支撑架连接在所述固定板上，所述支撑双臂与所述通孔对应设置；
所述加热器设置于所述固定孔中，所述加热器的末端从所述固定孔中伸出并穿过所述通孔，固定在所述支撑双臂内，使得所述加热器的外壁与所述固定孔的内壁之间设有缝隙。


2.根据权利要求1所述的加热器固定装置，其特征在于，所述第一连接部为相互配合的第一螺纹孔和第一螺栓，所述第二连接部为相互配合第二螺纹孔和第二螺栓。


3.根据权利要求1所述的加热器固定装置，其特征在于，所述通孔设有凸出部，所述凸出部与所述支撑双臂相对设置，所述加热器的末端从所述通孔的中间延伸出，并固定在所述凸出部与所述支撑双臂之间。


4.根据权利要求1所述的加热器固定装置，其特征在于，所述支撑架为片状挡板，所述支撑双臂为所述挡板上部的两个凸起，所述两个凸起的底部分离，顶部相互靠拢，形成顶端开口的倒“V”形。


5.根据权利要求4所述的加热器固定装置，其特征在于，所述固定板设有第一表面和与第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：周思源，
申请(专利权)人：量伙半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31