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本实用新型公开了一种加热器固定装置，用于将加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，加热器固定装置包括固定板和支撑架，固定板包括第一连接部和通孔；第一连接部用于将固定板连接至热处理腔室的外侧壁，通孔贯穿固定板，且与固定孔的位置对应；支撑架包括第...
该专利属于量伙半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过量伙半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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