一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法技术方案

在本发明专利技术提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法，MCU按每一条可编程延迟线所处的电路位置和通过的相应光点信号，可获取每一条可编程延迟线的延时需求；并下达对应的控制指令到每一条可编程延迟线，每一条可编程延迟线根据MCU的控制指令可以适时地改变延迟参数，既可满足光刻的逻辑时序要求，相对传统技术采用FPGA光点错位时序调整，本发明专利技术结构简便，操作简单而且成本更低。

A timing adjustment system and its adjustment method for spot dislocation scanning of lithography machine

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法
本专利技术涉及光点错位扫描时序调整领域，尤指一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法。
技术介绍
滚筒式激光CTP制版机中：滚筒通过转动完成图像的行扫描，激光头由步进直线电机驱动在眼滚筒边线沿着轴线运动，完成图像的场扫描；激光头负责在扫描过程中发射出激光束对图像PS板进行光刻形成图像。因为图像解晰度高所以光点很小，光束很细；为提高出图速度，采用多个像素点(16或32或64)并排同时扫描光刻的方法；成排的激光束是由光纤从对应激光器引导过来排列在一起得到的。但是由于激光束直径比光纤直径小较多，光纤简单排在一起会使光点不能紧靠在一起，导致光点之间漏白，同时图像的解析度也会下降，为解决这个问题，这排光纤不得不以滚筒轴线方向为基准排列后，再在垂直方向依次间距一定的距离，让光纤线错开，然后再在滚筒轴线方向让光纤靠拢，从而缩小光点间距，消除漏白。如此一来，每根光纤的行扫描就不同步了，这就引出了“光点错位扫描”问题，因为从信号源来的光点数据是并行总线同步输出的，如果不做处理，其直接驱动激光光源同步发光，则刻录成的图像就会在行方向倾斜扭曲失真的，因此必须采取措施对每个光点进行时间上的调整，让其用时序的关系弥补光纤在空间排列上的不足。现技术中采用的解决办法是采用利用FPGA(现场可编程门阵列器件)的大规模时序逻辑电路实现光点错位时序调整，但是上述方法存在以下缺点：1.FPGA芯片价格昂贵，不经济。2.因产品一个局部功能，要加多FPGA专业的工程师，人力资源浪费大，不同专业间沟通协调消耗时间，拉长开发周期。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，用可编程延迟线替代FPGA，用更简单的技术解决实际问题，而且可大大节省成本。为实现上述目的之一，本专利技术采用的技术方案是提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，包括由多根光纤并排排列而成的光纤阵列、与光纤数目对应的激光器、与激光器数目对应的可编程延迟线、用于发送光点数据源至可编程延迟线的缓冲数据发送单元、用于下达控制指令至可编程延迟线的MCU；其中所述缓冲数据发送单元的输出端分别与多个可编程延迟线的输入端连接，且多个可编程延迟线的输出端分别与多个激光器的输入端对应连接；所述MCU的输出端分别与每个可编程延迟线的控制端口连接，所述多个可编程延迟线的输出端与多个激光器的输入端对应连接，所述多个激光器的输出端与光纤阵列的多个光纤的输入端对应连接。进一步，所述MCU的输出端通过I2C控制总线分别与每个可编程延迟线的控制端口连接。进一步，所述缓冲数据发送单元包括接收芯片、与可编程延迟线数目对应的缓冲器，其中所述接收芯片的输出端分别与多个缓冲器的输入端连接，多个缓冲器的输出端与多个可编程延迟线的输入端对应连接。进一步，所述接收芯片的输出端通过并行总线分别与多个缓冲器的输入端连接。进一步，所述缓冲器为双口缓存器。为实现上述目的之二，本专利技术采用的技术方案是提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统的调整方法，包括以下步骤：步骤S1：MCU根据光刻机的实际时序要求下，向每一条可编程延迟线的控制端口发送对应的控制命令；步骤S2：每一条可编程延迟线接收到对应的控制命令，并根据控制命令调整延迟参数；步骤S3：缓冲数据发送单元分别输出多路光点数据源至多个编程延迟线；步骤S4：每一条可编程延迟线接收缓冲数据发送单元发送来的光点数据源，并在延迟参数所设定的时间到达后发送驱动指令到驱动激光器；步骤S5：接收到驱动指令的激光器产生光点激光，光点激光通过光纤阵列输出到被光刻的板材上。本专利技术的有益效果在于：在本专利技术中采用可编程延迟线替代FPGA，MCU按每一条可编程延迟线所处的电路位置和通过的相应光点信号，可获取每一条可编程延迟线的延时需求；并下达对应的控制指令到每一条可编程延迟线，每一条可编程延迟线根据MCU的控制指令可以适时地改变延迟参数，既可满足光刻的逻辑时序要求，相对传统技术采用FPGA光点错位时序调整，本专利技术结构简便，操作简单而且成本更低。附图说明图1是本专利技术的结构框图。附图标号说明：1.缓冲器；2.可编程延迟线；3.激光器；4.光纤；5.MCU；6.I2C控制总线；7.并行总线；8.接收芯片。具体实施方式下面结合具体实施例和说明书附图对本专利技术予以详细说明。请参阅图1所示，本专利技术关于一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，包括由多根光纤4并排排列而成的光纤阵列、与光纤4数目对应的激光器3、与激光器3数目对应的可编程延迟线2、用于发送多路光点数据源至多个可编程延迟线2的缓冲数据发送单元、用于下达控制指令至可编程延迟线2的MCU5；其中可编程延迟线2是一种将电信号延迟一段时间发送的元件或器件，延迟的时间称为延迟参数。可编程延迟线2内设有调整延迟参数(将信号延迟发送的时间)的控制单元，其中所述的延迟参数(将信号延迟发送的时间)具体由MCU5控制；所述MCU5是光刻机的中央处理器，MCU5可对获取处于的每一条可编程延迟线2，按其所处的电路位置和通过的相应光点信号的延时需求。其中所述缓冲数据发送单元的输出端分别与多个可编程延迟线2的输入端连接，且多个可编程延迟线2的输出端分别与多个激光器3的输入端对应连接；所述MCU5的输出端分别与每个可编程延迟线2的控制端口连接，所述多个可编程延迟线2的输出端与多个激光器3的输入端对应连接，所述多个激光器3的输出端与光纤阵列的多个光纤4的输入端对应连接。在本专利技术中采用可编程延迟线2替代FPGA，MCU5按每一条可编程延迟线2所处的电路位置和通过的相应光点信号，可获取每一条可编程延迟线2的延时需求；并下达对应的控制指令到每一条可编程延迟线2，每一条可编程延迟线2根据MCU5的控制指令可以适时地改变延迟参数，既可满足光刻的逻辑时序要求，相对传统技术采用FPGA光点错位时序调整，本专利技术结构简便，操作简单而且成本更低。进一步，所述MCU5的输出端通过I2C控制总线6分别与每个可编程延迟线2的控制端口连接。进一步，所述缓冲数据发送单元包括接收芯片8、与光纤4数目对应的缓冲器1，其中所述多个缓冲器1的输入端与芯片的输出端连接，多个缓冲器1的输出端与多个可编程延迟线2的输入端一一对应连接。进一步，所述接收芯片8的输出端通过并行总线7分别与多个缓冲器1的输入端连接。进一步，所述缓冲器1为双口缓存器。双口缓存器的作用是缓存PC发来的数据，然后按CTP制版机打印图像需要的速度，同步协调地输出数据给CTP制版机成像单元(激光器3和滚筒以及激光头组件)其中在本具体实施例中，接收芯片8通过并行总线7输出8路光点数据源到8个缓冲器1内，每一个缓冲器1再将对应的光点数据源发送至每个编程延迟线；所述可编程延迟线2接收缓冲数据发送单元发送来的光点数据源，并将其处理，并在延迟参数(将驱动指令延迟发送到激光器3的时间)后，发送驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：包括由多根光纤并排排列而成的光纤阵列、与光纤数目对应的激光器、与激光器数目对应的可编程延迟线、用于发送光点数据源至可编程延迟线的缓冲数据发送单元、用于下达控制指令至可编程延迟线的MCU；其中所述缓冲数据发送单元的输出端分别与多个可编程延迟线的输入端连接，且多个可编程延迟线的输出端分别与多个激光器的输入端对应连接；所述MCU的输出端分别与每个可编程延迟线的控制端口连接，所述多个可编程延迟线的输出端与多个激光器的输入端对应连接，所述多个激光器的输出端与光纤阵列的多个光纤的输入端对应连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：包括由多根光纤并排排列而成的光纤阵列、与光纤数目对应的激光器、与激光器数目对应的可编程延迟线、用于发送光点数据源至可编程延迟线的缓冲数据发送单元、用于下达控制指令至可编程延迟线的MCU；其中所述缓冲数据发送单元的输出端分别与多个可编程延迟线的输入端连接，且多个可编程延迟线的输出端分别与多个激光器的输入端对应连接；所述MCU的输出端分别与每个可编程延迟线的控制端口连接，所述多个可编程延迟线的输出端与多个激光器的输入端对应连接，所述多个激光器的输出端与光纤阵列的多个光纤的输入端对应连接。


2.根据权利要求1所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述MCU的输出端通过I2C控制总线分别与每个可编程延迟线的控制端口连接。


3.根据权利要求1所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述缓冲数据发送单元包括接收芯片、与可编程延迟线数目对应的缓冲器，其中所述接收芯片的输出端分别与多个缓冲器的输入端连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泽明，郑天祥，邓超略，高尊虎，黄文斌，
申请(专利权)人：深圳市印之明科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44