一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法技术方案

在本发明专利技术提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法，MCU按每一条可编程延迟线所处的电路位置和通过的相应光点信号，可获取每一条可编程延迟线的延时需求；并下达对应的控制指令到每一条可编程延迟线，每一条可编程延迟线根据MCU的控制指令可以适时地改变延迟参数，既可满足光刻的逻辑时序要求，相对传统技术采用FPGA光点错位时序调整，本发明专利技术结构简便，操作简单而且成本更低。

A timing adjustment system and its adjustment method for spot dislocation scanning of lithography machine

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法
本专利技术涉及光点错位扫描时序调整领域，尤指一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法。
技术介绍
滚筒式激光CTP制版机中：滚筒通过转动完成图像的行扫描，激光头由步进直线电机驱动在眼滚筒边线沿着轴线运动，完成图像的场扫描；激光头负责在扫描过程中发射出激光束对图像PS板进行光刻形成图像。因为图像解晰度高所以光点很小，光束很细；为提高出图速度，采用多个像素点(16或32或64)并排同时扫描光刻的方法；成排的激光束是由光纤从对应激光器引导过来排列在一起得到的。但是由于激光束直径比光纤直径小较多，光纤简单排在一起会使光点不能紧靠在一起，导致光点之间漏白，同时图像的解析度也会下降，为解决这个问题，这排光纤不得不以滚筒轴线方向为基准排列后，再在垂直方向依次间距一定的距离，让光纤线错开，然后再在滚筒轴线方向让光纤靠拢，从而缩小光点间距，消除漏白。如此一来，每根光纤的行扫描就不同步了，这就引出了“光点错位扫描”问题，因为从信号源来的光点数据是并行总线同步输出的，如果不做处理，其直接驱动激光光源同步发光，则刻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：包括由多根光纤并排排列而成的光纤阵列、与光纤数目对应的激光器、与激光器数目对应的可编程延迟线、用于发送光点数据源至可编程延迟线的缓冲数据发送单元、用于下达控制指令至可编程延迟线的MCU；其中所述缓冲数据发送单元的输出端分别与多个可编程延迟线的输入端连接，且多个可编程延迟线的输出端分别与多个激光器的输入端对应连接；所述MCU的输出端分别与每个可编程延迟线的控制端口连接，所述多个可编程延迟线的输出端与多个激光器的输入端对应连接，所述多个激光器的输出端与光纤阵列的多个光纤的输入端对应连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：包括由多根光纤并排排列而成的光纤阵列、与光纤数目对应的激光器、与激光器数目对应的可编程延迟线、用于发送光点数据源至可编程延迟线的缓冲数据发送单元、用于下达控制指令至可编程延迟线的MCU；其中所述缓冲数据发送单元的输出端分别与多个可编程延迟线的输入端连接，且多个可编程延迟线的输出端分别与多个激光器的输入端对应连接；所述MCU的输出端分别与每个可编程延迟线的控制端口连接，所述多个可编程延迟线的输出端与多个激光器的输入端对应连接，所述多个激光器的输出端与光纤阵列的多个光纤的输入端对应连接。


2.根据权利要求1所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述MCU的输出端通过I2C控制总线分别与每个可编程延迟线的控制端口连接。


3.根据权利要求1所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述缓冲数据发送单元包括接收芯片、与可编程延迟线数目对应的缓冲器，其中所述接收芯片的输出端分别与多个缓冲器的输入端连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泽明，郑天祥，邓超略，高尊虎，黄文斌，
申请(专利权)人：深圳市印之明科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44