一种超高纯气体的钢瓶处理系统技术方案

一种超高纯气体的钢瓶处理系统，包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；置换气源的输出端连通至减压器的输入端；减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；过滤器组的输出端连通至总管的输入端，总管的输出端连通至真空泵的输入端。本实用新型专利技术根据上述内容提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法，使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。

An ultra high purity gas cylinder treatment system

【技术实现步骤摘要】
一种超高纯气体的钢瓶处理系统
本技术涉及钢瓶处理领域，尤其涉及一种超高纯气体的钢瓶处理系统。
技术介绍
半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI(大规模集成电路)级，VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。储存电子气体的钢瓶也是影响电子气体纯度的重要因素之一，因此需要对钢瓶内部进行除杂处理后才能对电子气体进行储存。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统，使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种超高纯气体的钢瓶处理系统，包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；所述置换气源的输出端连通至减压器的输入端；所述减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，所述减压器的输出端还连通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；/n所述置换气源的输出端连通至减压器的输入端；/n所述减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，所述减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；/n所述吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；/n所述钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；/n所述过滤器组的输出端连通至总管的输入端，所述总管的输出端连通至真空泵的输入端。/n

【技术特征摘要】
1.一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；
所述置换气源的输出端连通至减压器的输入端；
所述减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，所述减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；
所述吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；
所述钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；
所述过滤器组的输出端连通至总管的输入端，所述总管的输出端连通至真空泵的输入端。


2.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：所述置换气源的置换气体储存在集装格的气瓶中，所述集装格的数量为二，分别为第一集装格和第二集装格，置换气体为氮气、氩气或者氦气中的一种。


3.根据权利要求2所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：所述过滤器组包括第一级过滤器和第二级过滤器，所述第一级过滤器的输出端连通至第二级过滤器的输入端。


4.根据权利要求3所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：还包括排空管，其一端连通至总管，所述排空管设有排空阀。


5.根据权利要求4所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：还包括气体检测管，所述气体检测管的一端连通至过滤器组的输出端...

【专利技术属性】
技术研发人员：张观海，陈艳珊，廖恒易，
申请(专利权)人：广东华特气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44