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在本发明提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法，MCU按每一条可编程延迟线所处的电路位置和通过的相应光点信号，可获取每一条可编程延迟线的延时需求；并下达对应的控制指令到每一条可编程延迟线，每一条可编程延迟线根据MCU的控制指令可...
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